四氟化碳是可作為氟和自由基氟化碳的來(lái)源，用于各種晶片蝕刻工藝。四氟化碳和氧結(jié)合用以蝕刻多晶硅、二氧化硅和氮化硅。四氟化碳在通常環(huán)境下是相對(duì)惰性的，在不通風(fēng)的地方會(huì)引起窒息。在射頻等離子體環(huán)境中，氟自由基表現(xiàn)為典型的三氟化碳或二氟化碳的形式。高純度的四氟化碳能很好的控制加工過(guò)程，使尺寸和形狀得到更好的控制，這不同于其他的鹵烴遇到空氣或氧氣時(shí)不利于各種特殊的控制（如半導(dǎo)體各項(xiàng)異性控制）。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純陽(yáng)氧氣的混合體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。 它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳，也可以被視為一種無(wú)機(jī)化合物。江浙滬新能源四氟化碳價(jià)格走勢(shì)
四氟化碳是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定，可以長(zhǎng)時(shí)間停留在大氣層中，是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年，全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500（二氧化碳的系數(shù)是1）。雖然結(jié)構(gòu)與氟氯烴相似，但四氟化碳不會(huì)破壞臭氧層。這是因?yàn)閷?dǎo)致臭氧層破壞的是氟氯烴中的氯原子，它被紫外線輻射擊中時(shí)會(huì)分離。碳-氟鍵比較強(qiáng)，因此分離的可能性比較低。吸入四氟化碳的后果與濃度有關(guān)，包括頭疼、惡心、頭昏眼花及心血管系統(tǒng)的破壞（主要是心臟）。長(zhǎng)時(shí)間接觸會(huì)導(dǎo)致嚴(yán)重的心臟破壞。四氟化碳的密度比較高，可以塡滿地面空間范圍，在不通風(fēng)的地方會(huì)導(dǎo)致窒息。無(wú)錫口碑好四氟化碳價(jià)格走勢(shì)四氟化碳沒(méi)有腐蝕性。
在常溫常壓下四氟化碳為無(wú)色無(wú)臭有輕微醚味的氣體，在空氣中不燃燒，具有可壓縮性，揮發(fā)性較高，是一種比較穩(wěn)定的無(wú)毒有機(jī)化合物。但是在高溫時(shí)，或與可燃?xì)怏w一同燃燒時(shí)，會(huì)分解出有毒的氟化物。對(duì)于硅和二氧化硅體系，采用CF4-O2反應(yīng)離子刻蝕時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時(shí)很有用。在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。
在實(shí)驗(yàn)室內(nèi)，四氟化碳可以由二氧化碳、一氧化碳或光氣與四氟化硫的氟化作用來(lái)獲取。商業(yè)上可由氟與二氯二氟甲烷或氯三氟甲烷的反應(yīng)制備。另一個(gè)方法是用碳電極電解氟化物MF、MF2。四氟化碳，像其他氟代烴一樣，是十分穩(wěn)定的，這是因?yàn)镃-F鍵很強(qiáng)，鍵能為515kJ.mol-1（參見(jiàn)環(huán)境影響）。因此不與酸及氫氧化物反應(yīng)，但是會(huì)跟堿金屬發(fā)生危險(xiǎn)反應(yīng)。熱分解會(huì)產(chǎn)生劇毒的氣體（碳酰氟、一氧化碳，如果有水存在，還會(huì)產(chǎn)生腐蝕性的氟化氫）。四氟化碳微溶于水（約20mg.l-1），但可與乙醇及石油醚混溶。四氟化碳對(duì)肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。
四氟化碳（CF4）是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體，廣用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)是超純、超凈、多品種、多規(guī)模，各國(guó)為推動(dòng)本國(guó)微電子工業(yè)的發(fā)展，越來(lái)越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言，CF4以其相對(duì)低廉的價(jià)格長(zhǎng)期占據(jù)著蝕刻氣體的市場(chǎng)，因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α?R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等。上海市直銷四氟化碳推薦企業(yè)
四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行。江浙滬新能源四氟化碳價(jià)格走勢(shì)
四氟化碳在常溫下，四氟化碳是無(wú)色、無(wú)臭、不燃的易壓縮性氣體，揮發(fā)性較高，是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一，不易溶于水。四氟化碳無(wú)毒，但是燃燒后會(huì)產(chǎn)生有毒物質(zhì)。四氟化碳是不燃燒的無(wú)色、無(wú)味的壓縮氣體，充裝于四氟化碳鋼瓶中，飽和蒸汽壓約壓力2000psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 江浙滬新能源四氟化碳價(jià)格走勢(shì)