四氟化碳亦稱全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳，為非腐蝕性氣體，所有通用材料如鋼、不銹鋼、銅、青銅，鋁等金屬材料都可以使用，但是含鎂大于2%的合金不能用。在高溫，一些金屬起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增長(zhǎng)的次序由小到大地排列則如下：因科鎳合金、奧氏體不銹鋼、鎳、鋼、鋁、銅、青銅、黃銅、銀。
四氟化碳一般認(rèn)為是惰性低毒物質(zhì)，在高濃度下是窒息劑，其毒性不及四氯化碳。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量的等離子燭刻氣體，其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。
四氟化碳，又稱為四氟甲烷。上海市節(jié)能四氟化碳推薦企業(yè)
運(yùn)輸成本方面，以林德集團(tuán)為例，作為全球工業(yè)氣體**，林德在國(guó)內(nèi)的空分裝置點(diǎn)有11 個(gè)，相比較之下，特種氣體工廠* 2 個(gè)?？紤]到林德集團(tuán)在國(guó)內(nèi)的特種氣體工廠較少，因此大量的特種氣體需從海外運(yùn)輸，而從歐洲、美國(guó)運(yùn)至國(guó)內(nèi)耗時(shí)約 30 天，運(yùn)輸費(fèi)用預(yù)計(jì)不低于國(guó)內(nèi)的長(zhǎng)途運(yùn)輸，運(yùn)輸成本將更高。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠從華東、華較高的運(yùn)輸和現(xiàn)場(chǎng)維護(hù)成本造就本地化配套優(yōu)勢(shì)。多品少量是電子特氣的特點(diǎn)，因此相比現(xiàn)場(chǎng)制氣的空分氣體，采用零售方式進(jìn)體銷售更為普遍，但零售氣體對(duì)于國(guó)外企業(yè)來講，需要付出更高的運(yùn)輸和維護(hù)成本。上海節(jié)能四氟化碳銷售價(jià)格四氟化碳是現(xiàn)階段電子光學(xué)制造業(yè)中使用量較大的低溫等離子蝕刻工藝汽體。
四氟化碳和氧氣瓶在高溫下不反映，四氟化碳是現(xiàn)階段電子光學(xué)制造業(yè)中使用量較大的低溫等離子蝕刻工藝汽體，其高純度氣及四氟化碳高純度氣配高純氧氣的混合體，可市場(chǎng)應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢塑料薄膜原材料的蝕刻工藝。針對(duì)硅和二氧化硅管理體系，選用CF4-H2反映正離子刻蝕時(shí)，根據(jù)調(diào)整二種汽體的占比，能夠得到45：1的可選擇性，這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅塑料薄膜時(shí)很有效。不良影響簡(jiǎn)述危險(xiǎn)因素類型：GB2.2類不燃?xì)怏w入侵方式：吸進(jìn)身心健康傷害：吸進(jìn)高濃的四氟化碳出現(xiàn)呼吸不暢、嘔吐等室息病癥。
工業(yè)上把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為工業(yè)氣體產(chǎn)品，工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎(chǔ)原材料，在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中有著重要的地位和作用。根據(jù)制備方式和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，可分為大宗氣體和特種氣體，大宗氣體主要包括氧、氮、氬等空分氣體及乙炔、二氧化碳等合成氣體，對(duì)氣體純度要求并不高，主要用于冶金、石化、煤化工、鋼鐵，而特種氣體品種較多，主要包括高純氣體、混合氣體等，主要用于電子、光伏、醫(yī)療等新興領(lǐng)域，制作半導(dǎo)體所用的電子氣體就屬于特種氣體。
與可燃性氣體一起燃燒時(shí)，發(fā)生分解，產(chǎn)生的氧化物。
半導(dǎo)體電子特氣行業(yè)具有較高的技術(shù)壁壘。半導(dǎo)體電子特種氣體在生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測(cè)、氣瓶處理等多項(xiàng)工藝技術(shù)，每一步均有嚴(yán)格的技術(shù)參數(shù)要求和質(zhì)量控制措施。為了保證半導(dǎo)體器件的質(zhì)量與成品率，特種氣體產(chǎn)品要同時(shí)滿足“超純”和“超凈”的要求，“超純”要求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N（N 是 Nine 的簡(jiǎn)寫，幾個(gè) N 就有幾個(gè) 9“超凈”即要求嚴(yán)格控制粒子與金屬雜質(zhì)的含量。作為特種氣體的參數(shù)，純度每提升一個(gè) N，粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，都將帶來工藝復(fù)雜度和難度的提升。 .由碳與氟反應(yīng)，或一氧化碳與氟反應(yīng)，或碳化硅與氟反應(yīng)。無錫優(yōu)良四氟化碳廠家價(jià)格
供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。上海市節(jié)能四氟化碳推薦企業(yè)
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體，也可以廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，鋁合金門窗制造、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。同時(shí)，由于四氟化碳的化學(xué)穩(wěn)定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料行業(yè)；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。上海市節(jié)能四氟化碳推薦企業(yè)