杭州新能源四氟化碳質(zhì)量代理商

來源: 發(fā)布時間:2022-05-11

     四氟化碳有以下用途:用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體,用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑;是微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用;用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)。 只有適當(dāng)?shù)臈l件下,四氟化碳才能與氧化劑和還原劑進(jìn)行反應(yīng)。杭州新能源四氟化碳質(zhì)量代理商

四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機(jī)化合物。所以在電子行業(yè)中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進(jìn)行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),四氟化碳還可以用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。杭州新能源四氟化碳廠家價格四氟化碳對肝臟、腦神經(jīng)系統(tǒng)有損害。

    四氟化碳在常溫下,四氟化碳是無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發(fā)性較高,是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一,不易溶于水。四氟化碳無毒,但是燃燒后會產(chǎn)生有毒物質(zhì)。四氟化碳是不燃燒的無色、無味的壓縮氣體,充裝于四氟化碳鋼瓶中,飽和蒸汽壓約壓力2000psig。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子蝕刻氣體,可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產(chǎn),激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài),印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

    四氟化碳的合成方法:由碳與氟反應(yīng),或一氧化碳與氟反應(yīng),或碳化硅與氟反應(yīng),或氟石與石油焦在電爐里反應(yīng),或二氟二氯甲烷與氟化氫反應(yīng),或四氯化碳與氟化銀反應(yīng),或四氯化碳與氟化氫反應(yīng),都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應(yīng)在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進(jìn)行,反應(yīng)后的氣體經(jīng)水洗、堿洗除去酸性氣體,再通過冷凍,用硅膠除去氣體中的水分,經(jīng)精餾而得成品;預(yù)先稱取5~10g的碳化硅粉末和,置于鎳盤中,使硅和碳化硅充分接觸后,將鎳盤放入蒙乃爾合金反應(yīng)管中,向反應(yīng)管內(nèi)通入氟氣,氟氣先和單質(zhì)硅反應(yīng),反應(yīng)放熱后,氟開始和碳化硅進(jìn)行反應(yīng),通入等體積的干燥氮氣以稀釋氟氣,使反應(yīng)繼續(xù)進(jìn)行,生成氣體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化后,將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅,隨后通過硅膠和五氧化二磷干燥塔得到產(chǎn)品;以活性炭與氟為原料經(jīng)氟化反應(yīng)制備。在裝有活性炭的反應(yīng)爐中,緩緩?fù)ㄈ敫邼夥鷼猓⑼ㄟ^加熱器加熱、供氟速率和反應(yīng)爐冷卻控制反應(yīng)溫度。產(chǎn)品經(jīng)除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質(zhì)、再經(jīng)脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進(jìn)行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。 通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發(fā)生作用。

在實驗室內(nèi),四氟化碳可以由二氧化碳、一氧化碳或光氣與四氟化硫的氟化作用來獲取。商業(yè)上可由氟與二氯二氟甲烷或氯三氟甲烷的反應(yīng)制備。另一個方法是用碳電極電解氟化物MF、MF2。四氟化碳,像其他氟代烴一樣,是十分穩(wěn)定的,這是因為C-F鍵很強(qiáng),鍵能為515kJ.mol-1(參見環(huán)境影響)。因此不與酸及氫氧化物反應(yīng),但是會跟堿金屬發(fā)生危險反應(yīng)。熱分解會產(chǎn)生劇毒的氣體(碳酰氟、一氧化碳,如果有水存在,還會產(chǎn)生腐蝕性的氟化氫)。四氟化碳微溶于水(約20mg.l-1),但可與乙醇及石油醚混溶。四氟化碳是穩(wěn)定的有機(jī)化合物之一。江浙滬直銷四氟化碳廠家價格

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四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量比較大的等離子體蝕刻氣體,廣用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應(yīng)用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),CF4還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點和發(fā)展趨勢是超純、超凈、多品種、多規(guī)格,各國為推動本國微電子工業(yè)發(fā)展,越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前而言,CF4以其相對低廉的價格長期占據(jù)著蝕刻氣體場,因此具有廣闊的發(fā)展?jié)摿Α:贾菪履茉此姆假|(zhì)量代理商