南通半導(dǎo)體用超純水硼的去除

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-07

預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級(jí)反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥17MΩ.CM)(工藝)。4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(工藝)。5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水對(duì)象(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)。(二)純水設(shè)備的工藝流程為:1、采用離子交換方式原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點(diǎn)超純水主要用于半導(dǎo)體行業(yè)。南通半導(dǎo)體用超純水硼的去除

南通半導(dǎo)體用超純水硼的去除,超純水

超純水這個(gè)詞是隨著半導(dǎo)體的發(fā)展而出現(xiàn)的.半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所要求的超純水是100%的理論純水,不含溶解在水中的離子類、有機(jī)物、活菌、微粒等。然而,不可能獲得理論純水。因?yàn)槔碚摷兯粌H本身很難制造,而且理論純水溶解其他物質(zhì)的能力也很強(qiáng)。因?yàn)闀?huì)變的。這是因?yàn)?,即使能夠制造出理論純水,也不能忽視設(shè)備的附著物和材料的污染,而且如果將制造水采集到容器中,容器會(huì)產(chǎn)生污漬和溶出,因此無法維持純度。因此,“超純水”是指與現(xiàn)實(shí)中能夠制造的理論純水接近的水。浙江超聲波清洗用超純水品牌超純水設(shè)備可以用于實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)療和工業(yè)領(lǐng)域。

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泵增壓小,泵失壓。泵增壓小,一般出現(xiàn)于使用壽命超過兩年的設(shè)備,或是長(zhǎng)期處于工作狀態(tài)的設(shè)備。泵失壓,一般不易發(fā)現(xiàn)。直接表現(xiàn)是膜出水少或是膜不出水,經(jīng)常被誤認(rèn)為是膜堵了。水質(zhì)下降超純水機(jī)產(chǎn)出的超純水儲(chǔ)存在水箱時(shí)隨著時(shí)間的延長(zhǎng)水質(zhì)會(huì)下降。那么,導(dǎo)致水質(zhì)下降的原因有哪些呢?水箱材質(zhì)。由于超純水純度很高,幾乎無雜質(zhì),因此超純水容易從外界環(huán)境吸收污染物造成污染。如果我們用的儲(chǔ)水箱是低級(jí)塑料,就更容易溶部分有機(jī)物,從而增加水的電導(dǎo)率,導(dǎo)致水質(zhì)下降。

◆半導(dǎo)體制造需要接近理論純水的水理論上純水在25°C下的電阻率為18.24MΩ·cm,電導(dǎo)率為0.05482μS/cm。該電導(dǎo)率的值為H20+OH-(公式為2H20=H3O+OH-)即,除了氫離子和氫氧根離子以外,沒有任何電解質(zhì),這是因?yàn)樗旧淼慕怆x。對(duì)超純水的要求是,電阻率至少與理論純水的電阻率非常接近。實(shí)際上,高集成度半導(dǎo)體制造工藝所要求的水質(zhì)電阻率高達(dá)18MΩ·cm以上。例如,在水中溶解1mg/L的Fe離子,其電阻率就會(huì)下降到約17MΩ·cm,所以溶解物質(zhì)的濃度在μgg/L(ppb)的超純水中也會(huì)出現(xiàn)問題,隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,水質(zhì)要求是越來越嚴(yán)格。超純水設(shè)備可以提供低總鉻的水供應(yīng)。

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模塊更換方便模塊的一般壽命高于3-5年;備用模塊儲(chǔ)存方便。的鋁板能良好的保護(hù)模塊、管道和食品不受損壞。更換超純水設(shè)備模塊簡(jiǎn)單、快捷。5產(chǎn)水純度更高在進(jìn)水低于40us/cm時(shí),產(chǎn)水一般超過10~15MΩ.cm(25℃),不受產(chǎn)水量波動(dòng)的影響。6回收率更高如果水的硬度以CaCo3計(jì)小于1ppm時(shí),回收率可達(dá)到90-95%;C室廢水的濃度約為300-400us/cm,排出時(shí)接近中性。該部分水可進(jìn)入前級(jí)RO系統(tǒng)再使用;如果水的硬度超過1ppm的CaCo3會(huì)在C室產(chǎn)生結(jié)垢,從而影響工作。在這種情況下,進(jìn)入EDI超純水設(shè)備之前的工藝要進(jìn)行調(diào)整以降低硬度。硬度較高的水源建議采用軟化器。超純水設(shè)備可以提供低氨氮的水源。山東電子行業(yè)用超純水設(shè)備

超純水設(shè)備的使用年限。南通半導(dǎo)體用超純水硼的去除

原水:可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。機(jī)械過濾:通過砂芯濾板和纖維柱濾除機(jī)械雜質(zhì),如鐵銹和其他懸浮物等?;钚蕴窟^濾:活性炭是廣譜吸附劑,可吸附氣體成分,如水中的余氯等,吸附細(xì)菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜,因此應(yīng)力求除盡。反滲透膜過濾:可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物,包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除,使離子交換柱的使用壽命延長(zhǎng)。蘇州道盛禾環(huán)保科技有限公司歡迎您的咨詢!南通半導(dǎo)體用超純水硼的去除