強大的輪廓儀光電一體軟件 美國硅谷研發(fā)、中英文自由切換 光機電一體化軟硬件集成 三維分析處理迅速,結(jié)果實時更新 縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理 自主設(shè)定測量閾值,三維處理自動標(biāo)注 測量模式可根據(jù)需求自由切換 三維圖像支持高清打印 菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機界面?zhèn)€性直觀 個性化軟件應(yīng)用支持 可進行軟件在線升級和遠(yuǎn)程支持服務(wù) 10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical Instrument) 光學(xué)...
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢 世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù) 合理的產(chǎn)品價格 24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù) 無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持 個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持 合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù) 更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案 非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。山東輪廓儀美元價格 輪廓儀的自動拼接功能: ...
輪廓儀的**團隊 夏勇博士,江蘇省雙創(chuàng)人才 15年ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)、項目管理經(jīng)驗 SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人,太陽能在線檢測設(shè)備 唐壽鴻博士,國家千人**** 25年 ADE,KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗 KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān),***圖像處理、算法** 許衡博士,軟件系統(tǒng)研發(fā) 10 年硅谷世界500強研發(fā)經(jīng)驗(BD Medical Instrument) 光學(xué)測量、軟件系統(tǒng) 岱美儀器與...
輪廓儀產(chǎn)品概述: NanoX-2000/3000 系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光 垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。 想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。 輪廓儀可用于藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)。3D輪廓儀可以免稅嗎 表面三維輪廓...
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC ? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um) ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm ? XY運動速度 **快 表面三維微觀形貌測量的意義 在生產(chǎn)中,表面三維微觀形貌對工程零件的許多...
輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表...
滿足您需求的輪廓儀 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀 耐用性更強, 使用無損 可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便 智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù) 個性化: 定制化客戶報告模式 更好用戶體驗: 迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持 1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點,達(dá)到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) NanoX-2000/3000 ...
NanoX-8000 系統(tǒng)主要性能 ? 菜單式系統(tǒng)設(shè)置,一鍵式操作,自動數(shù)據(jù)存儲 ? 一鍵式系統(tǒng)校準(zhǔn) ? 支持連接MES系統(tǒng),數(shù)據(jù)可導(dǎo)入SPC ? 具備異常報警,急停等功能,報警信息可儲存 ? MTBF ≥ 1500 hrs ? 產(chǎn)能 : 45s/點 (移動 + 聚焦 + 測量)(掃描范圍 50um) ? 具備 Global alignment & Unit alignment ? 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm ? XY運動速度 **快 如果需要了解更多詳細(xì)參數(shù),請聯(lián)系我們岱美儀器技術(shù)服務(wù)有限公司。 我們主要...
輪廓儀的自動拼接功能: 條件: 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。 需要點擊自動拼接, 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。 軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。 但是誤差是一定存在的。 白光輪廓儀的典型應(yīng)用: 對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 擯棄傳統(tǒng)檢測方法耗時耗力,精確度低的缺點,**提高加工效率。二維輪廓儀聯(lián)系電話 輪廓儀在晶圓的IC封...
NanoX-系列輪廓儀**性客戶 ? 集成電路相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 集成電路先進封裝和材料:華天科技,通富微電子,江蘇納佩斯 半導(dǎo)體,華潤安盛等 ? MEMS相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 中科院蘇州納米所,中科電子46所,華東光電集成器件等 ? 高 效太陽能電池相關(guān)產(chǎn)業(yè) – 常州億晶光電,中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等 ? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè) – 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等 具備 Global alignment & Unit alignment 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm XY運動速度 **快 ...
輪廓儀、粗糙度儀、三坐標(biāo)的區(qū)別: 關(guān)于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品,輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀,比如:汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角(包括倒角位置、倒角尺寸、角度等),圓柱表面素線的直線度等參數(shù)??傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量,通俗地講,就是零件表面加工得光不光(粗糙度老國標(biāo)叫光潔度),即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 但是,輪廓儀和粗糙度儀關(guān)系其實挺密切,現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機,就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊,這樣既可以測量輪廓尺...
關(guān)于三坐標(biāo)測量輪廓度及粗糙度 三坐標(biāo)測量機是不能測量粗糙度的,至于測量零件的表面輪廓 ,要視三坐標(biāo)的測量精度及零件表面輪廓度的要求了,如果你的三坐標(biāo)測量機精度比較高,但零件輪廓度要求不可,是可以用三坐標(biāo)來代替的。一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右,而輪廓儀都在2um以內(nèi),還有就是三坐標(biāo)可以測量大尺寸零件的輪廓,因為它有龍門式三坐標(biāo)和關(guān)節(jié)臂三坐標(biāo),而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的,加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。Bruker輪廓儀當(dāng)?shù)貎r格 輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉...
輪廓儀對精密加工的意義 現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。自動測量輪廓儀美元價 1.3. 培訓(xùn)計劃 ...
輪廓儀的培訓(xùn) 一、 培訓(xùn)承諾 系統(tǒng)建成后,我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓(xùn)和技術(shù)資詢;培訓(xùn)地點可以在我公司,亦或在工程現(xiàn)場; 系統(tǒng)操作及管理人員的培訓(xùn)人數(shù)為10人,由業(yè)主指定,我公司將確保相關(guān)人員正確使用該系統(tǒng); 1.1. 培訓(xùn)對象 系統(tǒng)操作及管理人員(培訓(xùn)對象須具有專業(yè)技術(shù)的技術(shù)人員或?qū)嶋H值班操作人員); 其他業(yè)主指定的相關(guān)人員。 1.2. 培訓(xùn)內(nèi)容 系統(tǒng)操作使用說明書。 培訓(xùn)課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關(guān)參數(shù)設(shè)定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等,具體內(nèi)容...
輪廓儀的性能 測量模式 : 移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI) 樣 品 臺 : 150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配) XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5° 可選手動/電動樣品臺 CCD 相機像素: 標(biāo)配:1280×960 視場范圍: 560×750um(10×物鏡) 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 光學(xué)系統(tǒng): 同軸照明無限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng) 光 源: 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動...
NanoX-8000輪廓儀的自動化系統(tǒng)主要配置 : ? XY比較大行程650*650mm ? 支持415*510mm/510*610mm兩種尺寸 ? XY光柵分辨率 0.1um,定位精度 5um,重復(fù)精度 1um ? XY 平臺比較大移動速度:200mm/s ? Z 軸聚焦:100mm行程自動聚焦,0.1um移動步進 ? 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石 ? 配置真空臺面 ? 配置Barcode 掃描板邊二維碼,可自動識別產(chǎn)品信息 ? 主設(shè)備尺寸:1290(W)x1390(D)x2190(H) mm 如果想要了...
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢 世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù) 合理的產(chǎn)品價格 24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù) 無償產(chǎn)品技術(shù)培訓(xùn)和應(yīng)用技術(shù)支持 個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持 合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù) 更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案 非接觸式輪廓儀(光學(xué)輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) 一般三坐標(biāo)精度都在2-3um左右。NanoScopy輪廓儀服務(wù)為先 新型光學(xué)輪廓儀!film3D使得光學(xué)輪廓測...
輪廓儀是用容易理解的機械技術(shù)測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜,包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關(guān)我們的低成本光學(xué)輪廓儀的資訊,請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先,樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度,而小坎通常無法很標(biāo)準(zhǔn)(見圖)。這樣,標(biāo)定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比,光譜反射儀使用非接觸技術(shù),不需要任何樣本準(zhǔn)備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表...
如何正確使用輪廓儀 準(zhǔn)備工作 1.測量前準(zhǔn)備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。 5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 輪廓的角度處理: 角度處理:兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角點線處理:兩直線...
我們應(yīng)該如何正確使用輪廓儀? 一、準(zhǔn)備工作 1.測量前準(zhǔn)備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關(guān)、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 二、測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認(rèn)工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導(dǎo)致測針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設(shè)置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。 5.測量完畢,根據(jù)圖紙對結(jié)果進行分析,標(biāo)出結(jié)果,并保存、打印。 在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺式的。中科院輪...
NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術(shù)參數(shù) 3D測量主要技術(shù)指標(biāo)(1): 測量模式: PSI + VSI + CSI Z軸測量范圍: 大行程PZT 掃描 (300um 標(biāo)配/500um選配) 10mm 精密電機拓展掃描 CCD相機: 1920x1200 高速相機(標(biāo)配) 干涉物鏡: 2.5X, 5X, 10X(標(biāo)配), 20X, 50X, 100X(NIKON ) 物鏡切換: 5孔電動鼻切換 FOV: 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡) Z軸聚焦: 高精密直線平臺自動聚焦 照明系統(tǒng): 高 效長壽白...
輪廓儀的技術(shù)原理 被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差(高度差)形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重復(fù)性: 0.01nm 垂直掃描法 (VSI+CSI) 精度: ?/1000 干涉信號~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉測量技術(shù):快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響 以下來自網(wǎng)絡(luò): 輪廓儀,能描繪工件表面波度與粗糙度,并給出其數(shù)值的儀器,采用精密氣浮導(dǎo)軌為...
輪廓儀的主要客戶群體 300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測 集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 國家重點實驗室 高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化 新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化 超高精密表面工程技術(shù) 輪廓儀是一種兩坐標(biāo)測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種...