輪廓儀對精密加工的意義
現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對加工的成品進(jìn)行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 隔振系統(tǒng):集成氣浮隔振 + 大理石基石。自動測量輪廓儀美元價
1.3. 培訓(xùn)計劃
在完成系統(tǒng)布線并開始設(shè)備安裝后,即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點(diǎn)、設(shè)備布置情況和相互之間的關(guān)系等,讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認(rèn)識。
在整個系統(tǒng)驗收前后,安排有關(guān)人員在進(jìn)行培訓(xùn)。
1.4. 培訓(xùn)形式
公司指派技術(shù)人員向相關(guān)人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點(diǎn);
向受訓(xùn)學(xué)員提供和解釋有關(guān)設(shè)計文件及圖紙等資料,使學(xué)員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握;
針對系統(tǒng)的具體操作一一指導(dǎo),使相關(guān)人員掌握技術(shù)要領(lǐng);
對學(xué)員提出的問題進(jìn)行詳細(xì)解答;
CSI輪廓儀實(shí)際價格NanoX-8000 的XY 平臺比較大移動速度:200mm/s 。
輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求?
答:輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測量范圍比較大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較小(以10X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測量大尺寸的樣品時,全檢的方式需要進(jìn)行拼接測量,檢測效率會比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測,以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個面的粗糙度參數(shù);
4.測量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測到更小的尺寸?
如果需要了解更多,請訪問官網(wǎng)。
輪廓儀產(chǎn)品概述:
NanoX-2000/3000
系列 3D 光學(xué)干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光
垂直掃描干涉測量(CSI)等技術(shù)的基礎(chǔ)上,以其納米級測量準(zhǔn)確度和重復(fù)性(穩(wěn)定性)定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關(guān)鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應(yīng)用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術(shù)、材料、太陽能電池技術(shù)等領(lǐng)域。
想要了解更多的信息,請聯(lián)系我們岱美儀器。 輪廓儀可用于Oled 特征結(jié)構(gòu)測量,表面粗糙度,外延片表面缺 陷檢測,硅片外延表面缺 陷檢測。
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺階高度,錐角等)
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)
白光干涉系統(tǒng)基于無限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。
不同的鏡頭價格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對應(yīng)的鏡頭哦。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:
晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測,檢測相應(yīng)的輪廓尺寸。 200到400個共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲,之后軟件從共焦圖像的堆棧重建精確的三維高度圖像。三維輪廓儀高性價比選擇
粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。自動測量輪廓儀美元價
輪廓儀的自動拼接功能:
條件: 被測區(qū)域明顯大于視場的區(qū)域,使用自動圖片拼接。
需要點(diǎn)擊自動拼接, 輪廓儀會把移動路徑上的拍圖自動拼接起來。
軟件會自適應(yīng)計算路徑上移動的偏差,自動消除移動中偏差,減小誤差。
但是誤差是一定存在的。
白光輪廓儀的典型應(yīng)用:
對各種產(chǎn)品,不見和材料表面的平面度,粗糙度,波溫度,面型輪廓,表面缺 陷,磨損情況,腐蝕情況,孔隙間隙,臺階高度,完全變形情況,加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
自動測量輪廓儀美元價