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來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-05-21

在多晶硅制備、半導(dǎo)體刻蝕等工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,除半導(dǎo)體的某些產(chǎn)品需要微粒的工藝外,一般不希望微?;烊氡糜椭?,而希望將微粒排出泵外,干式螺桿真空泵能夠滿足要求。常用真空泵包括干式螺桿真空泵,水環(huán)泵往復(fù)泵,滑閥泵旋片泵,羅茨泵和擴(kuò)散泵等,這些泵是我國國民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過程中必不可少的主力,近年來,伴隨著我國經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭,同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下,我國真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。華中真空定期組織全員培訓(xùn),提高員工的管理、技能水平。內(nèi)蒙古干式螺桿真空泵多少錢

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我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。爪型干式真空泵結(jié)構(gòu)原理-除了使用一對(duì)非等距螺桿以外,內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。干式真空泵有活塞式、羅茨泵、爪式和雙螺桿式等。干式螺桿真空泵具有運(yùn)行效率高、壽命周期長(zhǎng)和成本低的優(yōu)點(diǎn),已逐漸成為應(yīng)用較廣的干式真空泵。由于干式螺桿式真空泵工作腔內(nèi)無任何介質(zhì),可獲得清潔真空。因此,在螺桿泵的排氣端可設(shè)置常壓下的冷凝器,對(duì)真空條件下未能冷凝的溶劑進(jìn)行進(jìn)一步的冷凝回收,使溶劑回收率大幅度提高。內(nèi)蒙古干式螺桿真空泵多少錢淄博華中真空設(shè)備有限公司產(chǎn)品制造精良,配置檔次高,售后服務(wù)及時(shí)。

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自以來真空泵行業(yè)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型趨勢(shì)明顯,干式螺桿真空泵的出現(xiàn)替代了大部分油螺桿真空泵,在制藥、醫(yī)療器械、半導(dǎo)體行業(yè)均有應(yīng)用。半導(dǎo)體制造中主要應(yīng)用的真空泵類型包括干式真空泵以及渦輪分子泵。較早時(shí),油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類,目前干泵成為了半導(dǎo)體行業(yè)主要的真空泵類型。疊式真空泵組合是為了滿足大抽氣速率,干式壓縮,高效節(jié)能需求而設(shè)計(jì)的。正是由于這種組合結(jié)構(gòu),干式真空管系統(tǒng)可調(diào)整無油爪式真空泵的數(shù)量和規(guī)格來適應(yīng)不同的工藝條件。

相比于旋片真空泵,由于真空工藝的不同,干式螺桿泵在運(yùn)作過程中,不會(huì)產(chǎn)生廢氣廢油,且保養(yǎng)維修頻率較低,較大節(jié)約了運(yùn)作成本。冷卻水夾套冷卻是干式螺桿真空泵機(jī)體冷卻的主要方式之一,為了防止長(zhǎng)期使用后冷卻水在干式螺桿真空泵冷卻水夾套中形成水垢,影響流量與散熱,就需要預(yù)防以及定期的清理。在凝汽器原水環(huán)式抽真空設(shè)備并聯(lián)增加一套干式抽真空系統(tǒng),汽輪發(fā)電機(jī)組啟動(dòng)時(shí)用原水環(huán)抽真空泵組,機(jī)組正常運(yùn)行后啟動(dòng)干式抽真空系統(tǒng),與原水環(huán)抽真空泵組同時(shí)備用。華中真空設(shè)備依托先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)、強(qiáng)大的科研隊(duì)伍、健全的銷售網(wǎng)絡(luò)和完善的售后服務(wù)。

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電子、光伏和醫(yī)藥化工等行業(yè),半導(dǎo)體行業(yè)是螺桿真空泵應(yīng)用較多的行業(yè)。干式螺桿真空泵有等螺距和變螺距兩種,又稱外部壓縮螺桿和內(nèi)部壓縮螺桿。變螺距螺桿泵與等螺距螺桿相比,排氣溫度更低,效率更高。這兩種真空泵除了在應(yīng)用領(lǐng)域上有所側(cè)重外,它們的區(qū)別還表現(xiàn)在,羅茨真空泵可抽取少量水蒸氣,而干式螺桿真空泵不只能抽取大量水蒸氣,對(duì)粉塵顆粒物的敏感度也更低。干式螺桿真空泵分為外壓縮和內(nèi)壓縮兩種類型,內(nèi)壓縮的干式螺桿真空泵,螺桿真空泵內(nèi)裝有一對(duì)平行的螺旋狀的轉(zhuǎn)子,兩個(gè)轉(zhuǎn)子在泵體內(nèi)通過一對(duì)高精度的同步齒輪保持同步反向旋轉(zhuǎn)。華中真空?qǐng)?jiān)持高起點(diǎn)、高質(zhì)量的原則,配有專業(yè)的研發(fā)設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)。內(nèi)蒙古干式螺桿真空泵多少錢

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鋰電池真空泵屬非標(biāo)定制,因生產(chǎn)鋰離子電池的時(shí)候,工藝中含有腐蝕性氣體,所以選泵的時(shí)候,應(yīng)選擇耐腐蝕性的真空泵。同時(shí),選型時(shí)需要充分考慮使用需求,如真空度、抽速、所抽介質(zhì)成分等。干式真空泵是相對(duì)液環(huán)泵而言,泵的工作腔內(nèi)不需要密封冷卻液而得名。干式真空泵由于沒有密封液,且排氣壓力大于大氣壓,就可以在排氣側(cè)對(duì)排出的氣體進(jìn)行冷凝。涉及腐蝕性氣體,顆粒、除塵器等,氣體中含不含可凝蒸氣。如果氣體中含有蒸氣了解被抽氣體成分,選擇真空泵時(shí),有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等,如冷凝器,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備。內(nèi)蒙古干式螺桿真空泵多少錢