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    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。

    月)1品牌祺度主營產(chǎn)品：銅光亮清洗劑鋁合金清洗劑金屬表面處理劑清洗劑設(shè)備￥寧波祺度環(huán)?？萍加邢薰舅诘兀赫憬瓕幉ㄔ诰€詢價銅超聲波清洗劑經(jīng)濟耐用有效去污精密清洗多美多廠家直銷產(chǎn)品名稱銅超聲波清洗劑品牌多美多系列銅超聲波清洗劑是否危險化學(xué)品否是否進口否產(chǎn)地廣州主營產(chǎn)品：化學(xué)原料化學(xué)制品制造業(yè)￥廣州市多美多新材料有限公司所在地：廣東廣州在線詢價東莞鑫陽環(huán)保牌金屬清洗劑廠家品牌鑫陽環(huán)保系列XY58分類金屬清洗劑功能清洗劑用途范圍產(chǎn)品貨號XY58主營產(chǎn)品：除垢劑殺菌滅藻劑不銹鋼清洗劑環(huán)保水基清洗劑￥東莞市鑫陽水處理科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價銅清洗劑環(huán)保洗銅水銅金屬表面油污處理劑，深圳哪里有洗銅水賣品牌潔泉系列清洗劑PH值8功能銅材油污清洗劑用途范圍銅材油污清洗劑特色服務(wù)銅材油污清洗劑主營產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑除油劑除銹劑防銹劑￥東莞市潔泉清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價銅光亮清洗劑東莞清木光亮劑可試樣是否進口否產(chǎn)地中國大陸類別超聲波清洗液型號銅光亮劑品牌清木主要用途適用于紫銅、H62以上黃銅、錳黃銅、磷銅、白銅、鋅磷青銅等的氧化皮及表面光亮處理。減薄清洗劑，輕松應(yīng)對各種涂層挑戰(zhàn)，讓您的工作更輕松。

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