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來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-04-04

    本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù):隨著便攜式電子器件的發(fā)展,手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來(lái)越纖細(xì)化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間,使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng),實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:為解決上述技術(shù)缺陷,本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于,提供一種玻璃減薄設(shè)備,包括蝕刻區(qū),用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理;沖洗區(qū),用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔;轉(zhuǎn)換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部;制動(dòng)組件。減薄清洗劑,助您輕松打造高精度產(chǎn)品,滿足客戶需求。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源

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    來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄。可選地,還包括:在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后,更換所述磁轉(zhuǎn)子??蛇x地,將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上??蛇x地,對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后,還包括:對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗;采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕,以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn):本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法,采用托盤固定待加工部件,采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光,采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄,由于減薄過(guò)程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過(guò)程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源減薄清洗劑,采用科技,為您帶來(lái)好的清潔效果。

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。

    金屬電子塑膠廠清洗劑是否進(jìn)口否型號(hào)3#級(jí)別化妝級(jí)品牌長(zhǎng)城廠家(產(chǎn)地)茂名石化規(guī)格170kg主營(yíng)產(chǎn)品:白油基礎(chǔ)油溶劑油化工原料東莞分公司所在地:廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)長(zhǎng)城Y6556水基清洗劑品牌長(zhǎng)城型號(hào)Y6556主營(yíng)產(chǎn)品:其他工業(yè)潤(rùn)滑油其他車用潤(rùn)滑油尾氣處理裝置壓縮機(jī)油南通倍力石化有限公司所在地:江蘇南通在線詢價(jià)湘潭株洲永州空壓機(jī)積碳清洗劑,積碳除垢劑供應(yīng)商UC-V205型號(hào)UC-V205品牌長(zhǎng)城比重1:閃點(diǎn)26240℃運(yùn)動(dòng)粘度60粘度等級(jí)32主營(yíng)產(chǎn)品:空壓機(jī)配件空壓機(jī)油空壓機(jī)維修保養(yǎng)空壓機(jī)主機(jī)大修¥長(zhǎng)沙泰絡(luò)機(jī)械設(shè)備有限公司所在地:湖南長(zhǎng)沙在線詢價(jià)SEALWELD清洗劑S-VAP-SGC型號(hào)SEALWELD潤(rùn)滑脂S-EQ-HGC品牌長(zhǎng)城類別通用脂比重SEALWELD潤(rùn)滑脂S-EQ-HGC閃點(diǎn)SEALWELD潤(rùn)滑脂S-EQ-HGC40℃運(yùn)動(dòng)粘度SEALWELD潤(rùn)滑脂S-EQ-HGC主營(yíng)產(chǎn)品:勝凡¥泉州致泰機(jī)械科技貿(mào)易有限公司所在地:福建泉州在線詢價(jià)SEALWELD西維爾清洗劑S-VAP-SGC型號(hào)SEALWELD西維爾清洗劑VCPLUS品牌長(zhǎng)城類別滾動(dòng)軸承潤(rùn)滑脂比重11閃點(diǎn)1140℃運(yùn)動(dòng)粘度1主營(yíng)產(chǎn)品:勝凡¥泉州致泰機(jī)械能源貿(mào)易有限公司所在地:福建泉州在線詢價(jià)清洗劑智能自動(dòng)灌裝機(jī)品牌長(zhǎng)城型號(hào)FKG60加工定制是包裝類型桶工作原理常壓適用對(duì)象清潔、洗滌用品。好的減薄用清洗劑公司的標(biāo)準(zhǔn)是什么。

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    經(jīng)減薄處理后的玻璃可再次進(jìn)入所述沖洗區(qū)2以經(jīng)歷減薄后清潔并且通過(guò)所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被卸載到外部;所述玻璃減薄設(shè)備還設(shè)置有制動(dòng)組件,通過(guò)所述制動(dòng)組件實(shí)現(xiàn)所述玻璃加工治具4從所述轉(zhuǎn)換區(qū)1經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述蝕刻區(qū)3的減薄前移動(dòng),以及從所述蝕刻區(qū)3經(jīng)所述沖洗區(qū)2向所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的減薄后移動(dòng)。在本實(shí)施例中,圖1內(nèi)并排設(shè)置有2個(gè)所述玻璃減薄設(shè)備,所述沖洗區(qū)2包括沖洗區(qū)2、第二沖洗區(qū)2和第三沖洗區(qū)2,所述第二沖洗區(qū)2設(shè)置于所述沖洗區(qū)2和所述第三沖洗區(qū)2之間,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述轉(zhuǎn)換區(qū)1之間,所述第三沖洗區(qū)2設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)2和所述蝕刻區(qū)3之間。所述轉(zhuǎn)換區(qū)1可升降的折疊式結(jié)構(gòu),從而便于所述玻璃加工治具4在所述轉(zhuǎn)換區(qū)1的放置或卸下。較佳的,所述轉(zhuǎn)換區(qū)1還設(shè)置有裝卸臂,通過(guò)所述裝卸臂可實(shí)現(xiàn)對(duì)所述玻璃加工治具4的上下料,以及單片玻璃的拿取檢測(cè)。實(shí)施例二如圖2所示,圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;所述蝕刻區(qū)3包括腔室31、主厚度測(cè)量?jī)x32、噴淋組件33和控制器;所述噴淋組件33在所述腔室31中對(duì)設(shè)置于所述玻璃加工治具4上的玻璃施加減薄處理,所述主厚度測(cè)量?jī)x32實(shí)時(shí)測(cè)量在所述腔室31內(nèi)經(jīng)歷減薄處理的玻璃厚度。輕松去除過(guò)厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。南通哪家減薄用清洗劑銷售電話

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    且所述限位塊438和所述第二限位塊439均可在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng),通過(guò)所述連接部433的限位效果,避免所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力作用下產(chǎn)生脫離,從而使所述支撐條431和所述第二支撐條432在磁力和所述連接部433的限位力作用下保持平衡。一般的,所述位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置為圓柱型,從而便于所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述限位孔437內(nèi)的移動(dòng)。當(dāng)放置于所述底支撐件43上的玻璃受到?jīng)_擊或振動(dòng)時(shí),所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作水平方向的偏移移動(dòng),或所述限位塊438和所述第二限位塊439均在所述限位孔437內(nèi)移動(dòng),使所述支撐條431可相對(duì)于所述第二支撐條432作豎直方向的移動(dòng),從而可實(shí)現(xiàn)對(duì)各個(gè)方向上沖擊力或振動(dòng)的吸收緩沖效果,提高玻璃的安全性。較佳的,所述限位塊438和所述第二限位塊439可設(shè)置為螺釘,所述限位孔437寬度配合所述螺釘?shù)穆菁y直徑設(shè)置,在所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置螺紋孔,通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439與所述螺紋孔螺紋連接,從而實(shí)現(xiàn)所述限位塊438和所述第二限位塊439在所述支撐條431和所述第二支撐條432上的固定。通過(guò)將所述限位塊438和所述第二限位塊439設(shè)置為螺釘。杭州哪家公司減薄用清洗劑推薦貨源