廣東減薄用清洗劑推薦廠家

    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12，當(dāng)然，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等，托盤10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司。廣東減薄用清洗劑推薦廠家

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    銅清洗劑品牌四輝科技系列清洗系列是否危險(xiǎn)化學(xué)品否是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣東東莞主營(yíng)產(chǎn)品：工業(yè)清洗劑表面處理劑研磨液拋光設(shè)備東莞市四輝表面處理有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)東莞凈徹供應(yīng)銅光亮劑系列鍍銅光亮劑堿銅清洗劑類別銅光亮劑型號(hào)JC-031主要用途除油執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CAS2016主營(yíng)產(chǎn)品：設(shè)備油污清洗劑金屬除油除銹劑除垢除銹劑水處理殺菌滅藻劑￥東莞市凈徹清洗劑科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價(jià)供應(yīng)溫州甌北閥門酸洗清洗光亮劑主營(yíng)產(chǎn)品：其他化學(xué)試劑工業(yè)用清洗劑其他加工助劑生化試劑￥溫州奧洋金屬表面處理有限公司所在地：浙江溫州在線詢價(jià)銅拋光光亮清洗劑是否進(jìn)口否產(chǎn)地液體類別酸性清洗液型號(hào)JPL-809品牌捷普利產(chǎn)品名稱銅光亮清洗劑主營(yíng)產(chǎn)品：五金材料化工產(chǎn)品研發(fā)銷售￥惠州市捷普利電子科技有限公司所在地：廣東惠州在線詢價(jià)【貽順】供應(yīng)多用途的金屬擦亮劑洗銅水銅擦亮劑產(chǎn)品名稱金屬擦亮劑品牌貽順系列工業(yè)清洗劑是否危險(xiǎn)化學(xué)品是是否進(jìn)口否產(chǎn)地廣州主營(yíng)產(chǎn)品：金屬表面處理劑金屬工藝液工業(yè)用清洗劑信息化學(xué)產(chǎn)品￥廣州市貽順化工有限公司所在地：廣東廣州在線詢價(jià)銅清洗光亮工藝銅怎么洗亮類別酸性清洗液型號(hào)OY-54主要用途銅清洗光亮執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)國(guó)。蘇州高質(zhì)量的減薄用清洗劑的公司。

    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，如圖3所示，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實(shí)施例中，可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀。可選地，研磨層121為金屬氧化物層，進(jìn)一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中，如圖4所示，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)，如沿逆時(shí)針或順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)，并且，磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件。控制部件與磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作，以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作。可選地，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm。減薄清洗劑，采用科技，為您帶來好的清潔效果。南通市面上哪家減薄用清洗劑推薦貨源

減薄用清洗劑的類別一般有哪些？廣東減薄用清洗劑推薦廠家

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。廣東減薄用清洗劑推薦廠家