功能配置說(shuō)明:
1.管路配置:壓力檢測(cè)系統(tǒng)、流量檢測(cè)系統(tǒng)、溫度檢測(cè)系、漏液檢測(cè)系統(tǒng);
2.加熱系統(tǒng):閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)、超溫切斷系統(tǒng),微曲線加熱算法、系統(tǒng)宕機(jī)應(yīng)急閉環(huán)系統(tǒng);
3.真空與N2平衡系統(tǒng):真空度檢測(cè)監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N2平衡配比凈化系統(tǒng);
4.N2Purge系統(tǒng):溫濕度高速檢測(cè)系統(tǒng)、平衡FOUP壓力與溫濕度算法;
5.Robot安全控制系統(tǒng):設(shè)置空間安全虛擬圍欄,曲線算法路徑;
6.空FOUP檢測(cè)系統(tǒng):FOUP物料感知系統(tǒng),檢測(cè)FOUP進(jìn)料狀態(tài);
7.RFID數(shù)據(jù)系統(tǒng):FOUP實(shí)時(shí)狀態(tài)檢測(cè)。 選擇芯夢(mèng)設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加靈活、多樣化!江蘇FOUP清洗機(jī)報(bào)價(jià)行情
提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無(wú)死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。
我們的晶圓盒清洗機(jī)采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù),能夠自動(dòng)完成清洗和干燥的過(guò)程,無(wú)需人工干預(yù)。具有高效的清洗和干燥功能,確保晶圓盒表面干凈無(wú)塵、干燥無(wú)水痕。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡(jiǎn)單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、自動(dòng)化! 北京半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)芯夢(mèng)產(chǎn)品是市場(chǎng)上性價(jià)比的選擇,您不會(huì)失望的!
全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)
特征和優(yōu)點(diǎn):
可應(yīng)用不同化學(xué)品(稀釋劑)來(lái)清洗;
泵傳輸清洗液;
計(jì)量調(diào)整可通過(guò)軟件設(shè)置控制操作;
熱水噴淋裝置;
熱水一般由廠務(wù)供應(yīng)一標(biāo)準(zhǔn)化;
或有一個(gè)體積約100升的熱水預(yù)備槽(循環(huán)泵和加熱棒用于熱水預(yù)備槽選項(xiàng))
圖形化的界面:
易于操作和控制;
10“觸摸屏PLC控制器;
SECSIIGEM接口一選項(xiàng)>授權(quán)訪問(wèn)的密碼保護(hù);
可以編輯40多個(gè)菜單,每個(gè)菜單可有50步;
可變量數(shù)據(jù)輸入(時(shí)間、溫度、速度等);
設(shè)備背面安裝第二個(gè)觸摸屏一選項(xiàng);
產(chǎn)品介紹:
全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金屬離子清洗。
設(shè)備配備多級(jí)精密過(guò)濾系統(tǒng),有效保證潔凈等級(jí),滿足制程需求class10/100。
配置多種噴淋清洗工藝,可實(shí)現(xiàn)360°清洗,
保證制程的高精度清洗需求。
配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率,滿足低濕度要求,濕度實(shí)時(shí)監(jiān)控。
1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議,SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對(duì)接。
3.符合SEMIS2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。
應(yīng)用范圍:該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
不試試怎么知道江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體的設(shè)備有多好呢?
FOUP清洗機(jī)是一種清洗foup的設(shè)備,用于清洗和處理FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)。FOUP是半導(dǎo)體制造過(guò)程中存放晶圓的封閉式容器。FOUP清洗機(jī)通過(guò)自動(dòng)化的清洗過(guò)程,去除FOUP內(nèi)外的污染物,確保晶圓的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能和處理能力。它能夠去除FOUP內(nèi)的油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。清洗機(jī)采用不同的清洗方法和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以適應(yīng)不同類型的污染物,并確保清洗效果。清洗機(jī)具有高效、快速的特點(diǎn)。它能夠在短時(shí)間內(nèi)完成清洗過(guò)程,提高生產(chǎn)效率。自動(dòng)化控制系統(tǒng)確保清洗過(guò)程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差。FOUP清洗機(jī)注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過(guò)程中不會(huì)對(duì)FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報(bào)警裝置保障操作人員的安全。清洗機(jī)還配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測(cè)清洗過(guò)程。清洗機(jī)還具備數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對(duì)清洗過(guò)程進(jìn)行監(jiān)控和分析。它可記錄清洗參數(shù)、時(shí)間和結(jié)果等信息,為質(zhì)量控制江蘇芯夢(mèng)期待與您共同解決晶圓盒清洗問(wèn)題!安徽全自動(dòng)花籃清洗機(jī)按需定制
芯夢(mèng)設(shè)備采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù),提升生產(chǎn)效率!江蘇FOUP清洗機(jī)報(bào)價(jià)行情
從FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模發(fā)展現(xiàn)狀來(lái)看,2022年中國(guó)FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)億元(人民幣)。針對(duì)全球FOUP清洗機(jī)市場(chǎng),貝哲斯咨詢預(yù)測(cè),2022-2028年FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模將從億元增長(zhǎng)至億元,CAGR大約為%。報(bào)告通過(guò)分析涵蓋市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)因素、障礙因素、機(jī)遇、威脅以及市場(chǎng)各細(xì)分領(lǐng)域發(fā)展情況等各方面市場(chǎng)信息,旨在提供深入的FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)評(píng)估與策略建議。就產(chǎn)品類型來(lái)看,F(xiàn)OUP清洗機(jī)行業(yè)可細(xì)分為全自動(dòng)FOUP清潔機(jī),手動(dòng)FOUP清潔機(jī)。其中是收入市場(chǎng),2022年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)億元,市場(chǎng)份額達(dá)%,預(yù)計(jì)到2028年市場(chǎng)份額將會(huì)達(dá)到%。從終端應(yīng)用來(lái)看,F(xiàn)OUP清洗機(jī)可應(yīng)用于IDM廠商,Foundry鑄造廠等領(lǐng)域。目前領(lǐng)域需求量,2022年占據(jù)%的市場(chǎng)份額。預(yù)計(jì)領(lǐng)域在未來(lái)幾年內(nèi)需求會(huì)逐步上升。江蘇FOUP清洗機(jī)報(bào)價(jià)行情
芯夢(mèng)擁有近12000平米的研發(fā)生產(chǎn)基地,包括超過(guò)3000平米的千級(jí)潔凈室和萬(wàn)級(jí)裝配車間,配備有精密的研發(fā)檢測(cè)儀器設(shè)備。芯夢(mèng)的創(chuàng)始團(tuán)隊(duì)成員均為半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域從業(yè)數(shù)十年的專業(yè)人才,目前芯夢(mèng)已經(jīng)建立了一支多學(xué)科交叉、實(shí)力雄厚的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì),目前公司擁有員工總數(shù)290余人,其中技術(shù)研發(fā)人員90余人,售后服務(wù)人員近40人。我們高度重視知識(shí)產(chǎn)權(quán)保護(hù),主營(yíng)產(chǎn)品已獲得數(shù)十項(xiàng)授權(quán)專利,包括近20件授權(quán)發(fā)明專利,并通過(guò)了知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理體系認(rèn)證。