陜西全自動(dòng)片盒清洗機(jī)哪個(gè)好

來源: 發(fā)布時(shí)間:2023-12-21

FOUP清洗設(shè)備是用于半導(dǎo)體制造中的FOUP(Front Opening Unified Pod)清洗的設(shè)備。FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備,它能夠有效地清洗FOUP,確保晶圓在制造和運(yùn)輸過程中不受到污染。FOUP是用于存儲(chǔ)和運(yùn)輸半導(dǎo)體晶圓的標(biāo)準(zhǔn)化容器。FOSB清洗設(shè)備旨在確保FOUP內(nèi)部的潔凈度,以防止污染影響晶圓生產(chǎn)。該設(shè)備通常包括洗滌、漂洗和干燥功能,能夠有效去除FOUP內(nèi)部的微粒和有機(jī)物。通過使用FOSB清洗設(shè)備,半導(dǎo)體制造廠商可以確保FOUP在使用前達(dá)到所需的潔凈度標(biāo)準(zhǔn),從而減少晶圓生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。江蘇芯夢的設(shè)備的品質(zhì)能讓你放心購買!陜西全自動(dòng)片盒清洗機(jī)哪個(gè)好

5大系統(tǒng)結(jié)構(gòu):

純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風(fēng)烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。

25組清洗:

工藝配方ProcessFormula,不同的Cassette靈活設(shè)定。

EN18822-H14:

高等級空氣過濾系統(tǒng);超純水0.1um過濾,CDA0.03um過濾。

4寸~12寸全尺寸兼容,快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量。

2倉2基地:

蘇州+上海快速響應(yīng)備件及現(xiàn)場技術(shù)服務(wù)壽命管理lifecycleManagement配備RFID數(shù)據(jù)讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng),方便客戶的數(shù)據(jù)管理Cassette使用情況 海南全自動(dòng)花籃清洗機(jī)多少錢選擇芯夢設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加靈活、多樣化!

Foup清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造中不可或缺的設(shè)備,用于清洗和處理晶圓載具(Foup)。我們的Foup清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì),滿足您對生產(chǎn)的多重需求。外觀精美,質(zhì)感上乘,提升生產(chǎn)品質(zhì)。采用品質(zhì)材料,使用壽命長,是您的長久伙伴。具有多種智能功能,助您輕松應(yīng)對生產(chǎn)挑戰(zhàn)。操作簡單,維護(hù)方便,降低使用成本。我們的晶圓盒具有高精度功能,確保生產(chǎn)體驗(yàn)。采用先進(jìn)的自動(dòng)化控制技術(shù),提升使用效率。選擇我們的Foup清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加便捷、舒適!

FOUP清洗機(jī)的清洗通常涉及以下幾個(gè)步驟:預(yù)處理:在FOUP清洗機(jī)中,F(xiàn)OUP首先會(huì)經(jīng)過預(yù)處理步驟,以去除表面的大顆粒和雜質(zhì)。這可能涉及使用噴淋裝置、超聲波清洗器等設(shè)備,以噴射和震動(dòng)的方式清洗FOUP表面。清洗劑噴灑:清洗劑會(huì)被噴灑到FOUP表面,以去除附著在表面的污染物、油脂和有機(jī)物。清洗劑通常是一種化學(xué)溶液,具有去除污染物的特性。機(jī)械攪拌:一些FOUP清洗機(jī)可能具有機(jī)械攪拌功能,通過旋轉(zhuǎn)或攪拌FOUP,在清洗劑的作用下,進(jìn)一步加強(qiáng)清洗效果。機(jī)械攪拌可以幫助清洗劑更好地接觸到FOUP表面的污染物,并將其徹底去除。沖洗:在清洗劑作用一段時(shí)間后,清洗機(jī)會(huì)進(jìn)行沖洗步驟,將清洗劑和被去除的污染物沖洗掉。通常使用清潔的水源進(jìn)行沖洗,以確保殘留的清洗劑和污染物完全被去除。干燥:沖洗后,F(xiàn)OUP會(huì)進(jìn)入干燥步驟,以去除殘留的水分。這可以通過噴氣裝置、熱風(fēng)等方式實(shí)現(xiàn)。干燥是為了確保FOUP表面徹底干燥,避免水分殘留引起的污染或其他問題。檢測和質(zhì)量控制:在清洗過程的不同步驟中,可以使用傳感器、儀器和監(jiān)測設(shè)備對FOUP進(jìn)行檢測和質(zhì)量控制。這可以包括檢測潔凈度、顆粒檢測、殘留物檢測等,以確保清洗效果符合要求。芯夢設(shè)備具有多種智能功能,助你輕松應(yīng)對各種挑戰(zhàn)!

產(chǎn)品介紹:半導(dǎo)體清洗機(jī)請認(rèn)準(zhǔn)江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司,經(jīng)營各類半導(dǎo)體清洗機(jī),為半導(dǎo)體清洗機(jī)專業(yè)供應(yīng)商,其中就包含F(xiàn)OUP清洗機(jī)。FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī),適用于所有類型的晶圓料盒SmifFoup、Fosb、Cassette,可以實(shí)現(xiàn)無與比的清洗和干燥效果裝載有待清洗的foup在Chambe的中轉(zhuǎn)安裝和固定在封的清洗室內(nèi)36正反轉(zhuǎn)動(dòng)。由D1Wlate的表面張力、機(jī)械力進(jìn)Patcdle清洗離心+熱風(fēng)進(jìn)行供干等工藝組成,高效率、高質(zhì)量完成foup的Particle清洗。設(shè)備特點(diǎn):五大系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、純水加熱PWH、高壓噴淋HPS(噴頭位置/形狀,可以根據(jù)客戶料盒形態(tài)針對性調(diào)整)、熱風(fēng)烘干HAD(可選配CDA吹干和紅外模式)、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。配備強(qiáng)大的兼容性:4寸~12寸全尺寸兼容,晶圓盒/光罩盒/彈匣/FOUP/FOSB等;30~60分鐘完成1次清洗工藝,快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出;四工位/六工位選擇,依不同產(chǎn)品適配裝載量;配備可靠的過濾系統(tǒng);EN18822-H14高等級空氣過濾系統(tǒng);0.1um超純水過濾;0.003umCDA過濾。芯夢半導(dǎo)體專注品質(zhì),從不將就!重慶半自動(dòng)花籃清洗機(jī)

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產(chǎn)品說明 

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺(tái),適用于先進(jìn)封裝制程的particle、有機(jī)、無機(jī)、助焊劑等污染物清洗??蛇x配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 、Hot water及蒸氣等清洗方式,清洗工藝窗口寬,清洗能力強(qiáng),占地面積小,性價(jià)比高等特點(diǎn)。

功能說明

制程均勻度可用 recipe 調(diào)控。

良率優(yōu)于 wet bench type。

單片模式之機(jī)況可控制可追溯。

制程個(gè)別參數(shù)易于調(diào)整。

可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境。

潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

Footprint 較小。

適用于 wafer dry in / dry out制程。

機(jī)臺(tái)之安全性優(yōu)于 bench type。

為未來濕式高階設(shè)備之主流機(jī)臺(tái)。 陜西全自動(dòng)片盒清洗機(jī)哪個(gè)好

芯夢圍繞公司價(jià)值觀,服務(wù)、創(chuàng)新、奮斗、分享、團(tuán)結(jié),始終堅(jiān)持為客戶提供技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量過硬的自主可控的半導(dǎo)體設(shè)備,不斷追求質(zhì)量精益求精和環(huán)境友好,先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和ISO140001環(huán)境管理體系認(rèn)證。我們的全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動(dòng)/半自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)等產(chǎn)品均通過了SEMIS2、S8等國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。近年來,芯夢蓬勃發(fā)展,榮獲了國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省潛在獨(dú)角獸企業(yè)、蘇錫常首臺(tái)套重大裝備、江蘇省企業(yè)工程技術(shù)研究中心、江蘇省三星級上云企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。