高精度光譜共焦位移傳感器24小時(shí)服務(wù)

過(guò)去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開(kāi)2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開(kāi)了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專利文獻(xiàn)1的說(shuō)明書(shū)中的段落、通過(guò)以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來(lái)進(jìn)行測(cè)量對(duì)象的多點(diǎn)測(cè)量.該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測(cè)量的準(zhǔn)確性。高精度光譜共焦位移傳感器24小時(shí)服務(wù)

根據(jù)權(quán)利要求2所述的光譜共焦傳感器,其中，所述預(yù)定基準(zhǔn)軸與在使所述測(cè)量光從所述分光器的虛擬光入射口入射至所述光學(xué)系統(tǒng)的情況下的光軸相對(duì)應(yīng)。根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口被設(shè)置成從所述多個(gè)光入射口入射的所述多個(gè)測(cè)量光束各自的光軸變得與所述預(yù)定基準(zhǔn)軸大致平行。根據(jù)權(quán)利要求2至4中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述預(yù)定基準(zhǔn)軸相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求3所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口設(shè)置在相對(duì)于所述虛擬光入射口相互對(duì)稱的位置處。根據(jù)權(quán)利要求2至6中任一項(xiàng)所述的光譜共焦傳感器,其中，所述多個(gè)光入射口沿著與所述線傳感器的線方向相對(duì)應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。鄭州光譜共焦位移傳感器價(jià)格走勢(shì)它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測(cè)量，對(duì)于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。

本實(shí)施例中在探頭殼體的內(nèi)壁上一體成型設(shè)置有鏡座，反光鏡粘接固定設(shè)置在所述鏡座上，所述反光鏡的反光面與探頭殼體的軸向呈45°設(shè)置。通過(guò)鏡座對(duì)反光鏡形成穩(wěn)定支撐，使反光鏡的反光面與所述探頭殼體的軸向呈45°，便于對(duì)光線進(jìn)行反射，使被測(cè)物體反射的光線經(jīng)半透半反光學(xué)鏡后轉(zhuǎn)折90°，到達(dá)反光鏡，反光鏡對(duì)其轉(zhuǎn)折90°，使光線順利進(jìn)入接收光纖的入光端。探頭殼體的末端固定設(shè)置有用于對(duì)光線進(jìn)行色散聚焦的色散鏡頭，色散鏡頭包括有準(zhǔn)直鏡組和色散聚焦鏡組，準(zhǔn)直鏡組固定設(shè)置在靠近多色光光源的一側(cè)，用于多色光的準(zhǔn)直；色散聚焦鏡組設(shè)置在被測(cè)物體的一側(cè)，用于將多色光分別色散和聚焦，使不同波長(zhǎng)的光的焦點(diǎn)沿軸向分布在不同高度。從半透半反光學(xué)鏡射出的光線到達(dá)色散鏡頭，先通過(guò)準(zhǔn)直鏡組對(duì)多色光進(jìn)行準(zhǔn)直，使出射光線變成為軸向平行光，軸向平行光到達(dá)色散聚焦鏡組，從色散聚焦鏡組射出的各色光由于波長(zhǎng)的不同而聚焦在不同的高度，各焦點(diǎn)高度按照波長(zhǎng)的順序，沿軸向依次排列。

白色光中所包括的多個(gè)可見(jiàn)光束彼此分離,并且從殼體部向著待測(cè)物體的測(cè)量點(diǎn)射出。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個(gè)顏色的光表示由物鏡分離的多個(gè)可見(jiàn)光束。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長(zhǎng))的光。 圖1所示的波長(zhǎng)和聚焦位置P,表示多個(gè)可見(jiàn)光束中的具有shortest波長(zhǎng)的可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)入和聚焦位置P表示多個(gè)可見(jiàn)光數(shù)中的具有longest波長(zhǎng)的可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對(duì)應(yīng)。波長(zhǎng)和聚焦位置P表示多個(gè)可見(jiàn)光束中的任意可見(jiàn)光的波長(zhǎng)和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量，對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義。

本發(fā)明提供一種光譜共焦傳感器和測(cè)量方法。該光譜共焦傳感器包括:光源部,用于射出具有不同波長(zhǎng)的多個(gè)光束;多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會(huì)聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測(cè)量點(diǎn)反射的測(cè)量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測(cè)量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過(guò)所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測(cè)量光束:以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來(lái)計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測(cè)量對(duì)象的多個(gè)測(cè)量點(diǎn)的位置該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。高精度光譜共焦位移傳感器24小時(shí)服務(wù)

光譜共焦位移傳感器可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)材料的變化情況，對(duì)于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義。高精度光譜共焦位移傳感器24小時(shí)服務(wù)

本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件，光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開(kāi)設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi)，通過(guò)卡扣可拆卸設(shè)置，用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件；發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈，也可為其他可見(jiàn)光光源，當(dāng)探頭操作正常且被測(cè)物體在有效測(cè)量區(qū)域時(shí)，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出綠色光，提醒使用者操作正常，可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正?；虮粶y(cè)物體不在有效測(cè)量區(qū)域時(shí)，由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件，發(fā)光件發(fā)出紅光，提示使用者操作出現(xiàn)問(wèn)題，需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況，增加便利性。高精度光譜共焦位移傳感器24小時(shí)服務(wù)