高精度光譜共焦產(chǎn)品原理

來源: 發(fā)布時間:2024-07-06

光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因?yàn)槠錅y量精度高,對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn),應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析,設(shè)計了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補(bǔ)償法該鏡,在486, ..._,656nm波長范圍內(nèi),色散范圍約為焦量與波長之間通過線性擬合所得其線性性達(dá)到0.9976,很好的平衡了傳感器各個聚焦位置的靈敏度,配以合適的光譜儀,傳感器的分辨率可達(dá)到5nm的測量精度。符合設(shè)計要求產(chǎn)生了較大的線性軸向色散,在保證大色散范圍的同時軸向色散與波長之間也存在著好的線性。激光位移傳感器在微位移測量領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用。高精度光譜共焦產(chǎn)品原理

高精度光譜共焦產(chǎn)品原理,光譜共焦

光譜共焦傳感器專為需要高精度的測量任務(wù)而設(shè)計,通常是研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療、半導(dǎo)體制造、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對高反射、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測量外 ,這些傳感器還可用于測量深色、漫射材料,以及透明薄膜、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá) 100 毫米),從而為用戶在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性。此外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,這在測量變化的表面特征時提供了更好的性能。國產(chǎn)光譜共焦市場線性色散設(shè)計的光譜共焦測量技術(shù)是一種新型的測量方法。

高精度光譜共焦產(chǎn)品原理,光譜共焦

隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ,對精密測量技術(shù)的要求越來越高,位移測量技術(shù)作為幾何量精密測量的基礎(chǔ),不僅需要超高測量精度,而且需要對環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性,并且逐步趨于實(shí)時、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比,光譜共焦位移傳感器具有高速度,高精度,高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢。本文通過對光譜共焦傳感器應(yīng)用場景的分析,有助于廣大讀者進(jìn)一步加深對光譜共焦傳感器技術(shù)的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性,光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進(jìn)行高精度測量。相對于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀,光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓,并且對產(chǎn)品表面無任何損傷。

硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運(yùn)動平臺上進(jìn)行掃描測量 。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進(jìn)行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運(yùn)動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機(jī)性影響較大)光譜共焦技術(shù)主要來自共焦顯微術(shù),早期由美國學(xué)者M(jìn)insky提出。

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靶丸內(nèi)表面輪廓是激光核聚變靶丸的關(guān)鍵參數(shù),需要精密檢測。本文首先分析了基于白光共焦光譜和精密氣浮軸系的靶丸內(nèi)表面輪廓測量基本原理,建立了靶丸內(nèi)表面輪廓的白光共焦光譜測量方法。此外,搭建了靶丸內(nèi)表面輪廓測量實(shí)驗(yàn)裝置,建立了基于靶丸光學(xué)圖像的輔助調(diào)心方法,實(shí)現(xiàn)了靶丸內(nèi)表面輪廓的精密測量,獲得了準(zhǔn)確的靶丸內(nèi)表面輪廓曲線;?對測量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和不確定度分析,結(jié)果表明 ,白光共焦光譜能實(shí)現(xiàn)靶丸內(nèi)表面低階輪廓的精密測量.光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計和優(yōu)化,以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究。新品光譜共焦招商加盟

光譜共焦能夠提高研究和制造的精度和效率,為科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)提供了有力的技術(shù)支持。高精度光譜共焦產(chǎn)品原理

譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器,主要應(yīng)用于工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究和質(zhì)量控制等領(lǐng)域。特別是在工業(yè)制造中,比如汽車工業(yè)的發(fā)動機(jī)制造領(lǐng)域,氣缸內(nèi)壁的精度對發(fā)動機(jī)的性能和可靠性有著直接的影響。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,提供高精度和高分辨率的數(shù)據(jù),制造商得以更好地掌握產(chǎn)品質(zhì)量并提高生產(chǎn)效率。它利用激光共焦成像原理,能夠準(zhǔn)確測量金屬內(nèi)壁表面形貌,包括凹凸、微觀結(jié)構(gòu)和表面粗糙度等參數(shù)。這些數(shù)據(jù)對保證發(fā)動機(jī)氣缸內(nèi)壁的精密性和一致性非常重要 ,從而保障發(fā)動機(jī)性能和長期可靠性。此外,在科學(xué)研究領(lǐng)域,光譜共焦位移傳感器也扮演關(guān)鍵角色,幫助研究者進(jìn)一步了解各種材料的微觀特性和表面形態(tài),推動材料科學(xué)、工程技術(shù)進(jìn)步和開發(fā)創(chuàng)新應(yīng)用。高精度光譜共焦產(chǎn)品原理