2、與傳統(tǒng)激光位移傳感器相比,本發(fā)明所涉及的激光位移傳感器在光學(xué)系統(tǒng)中,S方向的成像質(zhì)量更高,進(jìn)而從理論上可提高其測量精度;3、通過增加像散使線陣感光元件上的光斑信號(hào)呈現(xiàn)長條狀態(tài),增大光斑信號(hào)與像元之間的接觸面積,進(jìn)而降低機(jī)械件變形對信噪比的影響。在以上描述的實(shí)施例中,感光元件的感光單元沿著水平方向(將弧矢方向定義為水平方向)排列,將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在子午方向上的MTF值降低,而將弧矢方向上的MTF值拉高。在其他實(shí)施例中,感光元件的感光單元沿著豎直方向(將子午方向定義為豎直方向)排列,此時(shí),可以將成像物鏡6和感光元件7所組成的成像系統(tǒng)在弧矢方向上的MTF值降低,而將子午方向上的MTF值拉高。這樣,同樣能夠達(dá)到上述類似的技術(shù)效果。以上所述only為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi),所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。激光位移傳感器在3C電子行業(yè)中的應(yīng)用案例。常州激光位移傳感器哪個(gè)品牌好
從理論分析和實(shí)際狀況來看,不管是哪種被測的道路表面,也無論其材料、顏色、反射率、表面粗糙度等是否均勻,它對檢測結(jié)果造成的影響主要表現(xiàn)在:表面激光散射點(diǎn)經(jīng)過光學(xué)成像鏡頭成像后,其像點(diǎn)的大小、形狀、光強(qiáng)嚴(yán)格來講是隨機(jī)變化的,成像的光斑并不均勻?qū)ΨQ。在激光位移傳感器中,像面上像點(diǎn)光斑的不對稱分布是影響激光位移傳感器精度的主要因素。此外,影響傳統(tǒng)類型激光位移傳感器檢測精度的另一個(gè)重要因素是該傳感器中的光電接收芯片的光電特性。當(dāng)激光位移傳感器的接收芯片采用CCD(光電耦合器件)芯片時(shí),由于常用的CCD芯片在光照很強(qiáng)時(shí),會(huì)產(chǎn)生飽和拖尾現(xiàn)象,并由此直接造成像點(diǎn)光斑的極大不對稱,這對檢測結(jié)果會(huì)產(chǎn)生極大影響,嚴(yán)重降低檢測精度。南昌激光位移傳感器按需定制高精度激光位移傳感器具有較高的分辨率,能夠測量微小的位移變化。
通過所述控制面板14設(shè)置所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11伸縮至特定的距離,打開所述激光位移傳感器4,使得所述激光位移傳感器4的激光照射在所述激光紅外線接收擋板5的接收面上,記錄所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離;旋轉(zhuǎn)所述位移調(diào)節(jié)把手212使得所述橫向蝸桿211橫向位移,記錄所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù),記錄此時(shí)所述激光位移傳感器4至所述激光紅外線接收擋板5的距離,通過比較所述激光位移傳感器4前后兩次測量的距離差與所述電子千分表221的位移數(shù)據(jù),計(jì)算所述激光位移傳感器4的誤差;調(diào)節(jié)所述電動(dòng)伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離,重復(fù)以上測量,以減少測量誤差。
本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,能夠利用像散,讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)變窄,而在豎直方向(即,子午方向,T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)變寬,而在豎直方向(即,子午方向,T方向)變窄),有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置,從而提高測量的準(zhǔn)確度;由于激光位移傳感器中感光元件的多個(gè)感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形,將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低,也不會(huì)影響測量精度;不僅如此,由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄,而在MTF值被降低的方向上光斑變寬,所以光斑與像元之間的接觸面積增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能夠更好地應(yīng)對使用中因?yàn)檎駝?dòng)或機(jī)械變形等隨帶來的不良影響;此外,由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值,所以能夠降低物鏡的設(shè)計(jì)難度,節(jié)省制造和維護(hù)成本;它還可以用于測量材料的膨脹和收縮,以研究其熱學(xué)性質(zhì)。
通過將空間頻率為62.5lp/mm時(shí)的MTF解析結(jié)果保持在MTFS>MTFT×10或MTFT>MTFS×10,尤其是讓解析結(jié)果滿足:MTFS≥0.5且MTFT<0.05、或者M(jìn)TFT≥0.5且MTFS<0.05,能夠讓光斑在感光元件的感光單元的主要排列方向上的延伸更加明顯,進(jìn)一步降低成像物鏡的設(shè)計(jì)難度、以及制造和維護(hù)成本;對于弧矢方向和子午方向MTF值差距不大的成像物鏡,通過在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃等),配合微調(diào)成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離來使得成像物鏡和感光元件所組成整體的MTF值滿足上述要求,能夠很容易地讓光斑被拉長,更加容易被感光元件所接收;這種傳感器可以用于測量物體的表面粗糙度,以評估其質(zhì)量。常州激光位移傳感器哪個(gè)品牌好
激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化。常州激光位移傳感器哪個(gè)品牌好
在采用方式2的情況下,可以在成像物鏡前或成像物鏡6后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件(如平板玻璃),配合調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離時(shí),可以在微米量級(jí)進(jìn)行調(diào)整。每次調(diào)整后,可以進(jìn)行MTF解析,在判斷解析結(jié)果滿足上述條件時(shí),停止調(diào)節(jié)。如果調(diào)整后發(fā)現(xiàn)解析結(jié)果不滿足上述條件,則繼續(xù)進(jìn)行調(diào)整。此外,在圖1所示的實(shí)施例中,反光元件8設(shè)置在接收物鏡6和感光元件7之間,從而可以提高所述激光位移傳感器的內(nèi)部空間利用率,減小其外形尺寸。在所述激光位移傳感器外形尺寸允許的情況下,反光元件8可省略。在測量光斑和成像物鏡6之間的帶通濾光片5被用來濾除或降低雜散光對測量系統(tǒng)的影響。常州激光位移傳感器哪個(gè)品牌好