蕪湖激光位移傳感器

在一個實(shí)施例中，激光位移傳感器通過調(diào)整成像物鏡6與感光元件7之間的距離，在空間頻率為62.5lp/mm處，MTFS大于10倍的MTFT，其中，MTFS為量程內(nèi)被測點(diǎn)在S方向的MTF值，MTFT為量程內(nèi)被測點(diǎn)在T方向的MTF值，曲線1為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏離的MTFT值，曲線2為物點(diǎn)在子午方向和弧矢方向上都沒有偏移的MTFS值；曲線3為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線4為物點(diǎn)在弧矢方向偏離-2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值；曲線5為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFT值；曲線6為物點(diǎn)在弧矢方向偏離2.1mm、在子午方向無偏離的MTFS值(其中，在弧矢方向內(nèi)，向光軸以里偏離為正，向光軸以外偏離為負(fù))。在一具體實(shí)施例中，在空間頻率為62.5lp/mm處，量程內(nèi)被測點(diǎn)的MTFS≥0.5，MTFT＜0.05。類似地，在采用上述方式1的情況CN10685539 1B6下，同樣可以保證成像物鏡的MTFT和MTFS滿足這些條件。激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置、位移等變化。蕪湖激光位移傳感器

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題，在于提供一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，通過該裝置來提高檢驗(yàn)的精度，減小設(shè)備尺寸節(jié)約空間。本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板；所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端；所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上，且使所述激光位移傳感器的激光發(fā)射端朝向所述微調(diào)裝置；所述激光紅外線接收擋板與所述微調(diào)裝置固接，且使所述激光紅外線接收擋板的接收面朝向所述傳感器夾持裝置。蕪湖激光位移傳感器這種傳感器可以用于測量物體的表面粗糙度，以評估其質(zhì)量。

帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡，設(shè)置于激光器的出射光路上。可選地，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列，該直線的延伸方向?yàn)槎鄠€感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元，面陣感光元件的長邊延伸方向?yàn)槎鄠€感光單元的主要排列方向。此外，上述成像物鏡可以為單一鏡片，且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面；或者，成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。

如權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌、一number one支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關(guān)以及一控制面板；所述number one支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部，所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部；所述滑動輪設(shè)于所述第二支撐件的底部；所述伸縮制動開關(guān)設(shè)于所述第二支撐件的側(cè)面；所述控制面板與所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌電連接。高精度激光位移傳感器采用激光技術(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)非常精確的位移測量。

如權(quán)利要求2所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述微調(diào)裝置包括一蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)、一電子測量儀以及一微調(diào)平臺；所述微調(diào)平臺設(shè)于所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌上端的尾部，所述微調(diào)平臺的末端向上設(shè)有一延伸部；所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)設(shè)于所述微調(diào)平臺的前端；所述電子測量儀的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)。如權(quán)利要求3所述的激光位移傳感器檢驗(yàn)校準(zhǔn)裝置，其特征在于：所述蝸輪蝸桿機(jī)構(gòu)包括一橫向蝸桿、一蝸輪以及一位移調(diào)節(jié)把手；所述橫向蝸桿的一端與所述激光紅外線接收擋板的背面固接，另一端與所述電子測量儀抵接；所述位移調(diào)節(jié)把手與所述蝸輪的中心固接。光譜共焦位移傳感器是一種高精度的光學(xué)測量儀器，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的表面形貌測量。長寧區(qū)激光位移傳感器品牌企業(yè)

激光位移傳感器在精密制造行業(yè)中的應(yīng)用案例。蕪湖激光位移傳感器

加工-測量-再加工-再測量是非球面加工的必要過程。非球面透鏡的高精度檢測不僅包括非球面表面形狀的檢測，還包括非球面中心偏差的測量。要求非球面透鏡的形狀誤差在幾厘米到幾十厘米的范圍內(nèi)小于1μm。受現(xiàn)有冷加工工藝、車床運(yùn)動誤差、磨削力變形及檢測誤差的限制，加工的非球面光學(xué)元件會產(chǎn)生一些質(zhì)量缺陷，無法保證跨尺度的產(chǎn)品滿足高精度要求。為了使非球面透鏡表面形狀誤差、中心偏差等參數(shù)滿足設(shè)計精度要求，往往需要利用被加工非球面工件的中心偏差檢測信息進(jìn)行多誤差校正和補(bǔ)償加工。蕪湖激光位移傳感器