直銷光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)

分光器包括線傳感器和光學系統(tǒng)。光學系統(tǒng)包括用于使從所述多個光學頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個測量光束中的各個測量光束。 所述位置計算部基于所述線傳感器的所述多個受光區(qū)域各自的受光位置來計算作為所述多個光學頭的測量對象的多個測量點各自的位置。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進行測量的多個光學頭。從光學頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個受光區(qū)域射出。因此,可以基于線傳感器的多個受光區(qū)域的各受光位置來計算多個測量點各自的位置。結果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點測量光譜共焦位移傳感器需要專門的光譜共焦顯微鏡來實現(xiàn)測量。直銷光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)

根據權利要求7所述的光譜共焦傳感器,其中，所述分光器包括設置有所述多個光入射口的光入射面，以及所述多個光入射口設置在包括所述線方向和所述預定基準軸的方向的平面與所述光入射面相交的直線上。根據權利要求1至8中任一項所述的光譜共焦傳感器,其中，在針對所述多個光學頭中的各光學頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,所述多個受光區(qū)域與分別對應于所述多個光學頭的多個測量對象區(qū)域相對應,其中,該區(qū)域是所述線傳感器的從在射出所述多個光束中的具有shortest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為所述測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域。高速光譜共焦位移傳感器生產商該傳感器的應用將有助于提高微納制造、半導體制造和生物醫(yī)學等領域中的精密測量的準確性。

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測物體表面，接收反射光并將光信號轉換為電信號輸出，從而獲取被測物體空間位置信息。根據激光源發(fā)射光束的不同，激光傳感器可分為點、線兩種。點激光位移傳感器在一個采樣周期內只能獲得被測量的一維信息，使用時通常依托于三坐標測量機或三坐標機床等設備，通過設備機械運動及傳感器同步掃描來獲取被測物體三維信息。因此，激光位移傳感器在精密測量領域有著廣泛的應用。。。

過去,針對測量待測物體的高度等,已經使用了光譜共焦傳感器的技術。例如,日本的intenational公開2014/141535(以下稱為專利文獻1)公開了使用多個頭部的共焦光學系統(tǒng)來進行對測量對象的位移的多點測量的共焦測量設備。在該共焦測量設備中,在各頭部中設置有光學濾波器,并且設置要用于測量的波長帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長的光(專利文獻1的說明書中的段落、通過以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長帶彼此不同,可以將分光器內部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個區(qū)域(通道)。結果,可以針對多個光學頭only使用一個分光器(攝像裝置)來進行測量對象的多點測量.該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移。

準直鏡組與色散聚焦鏡組同軸設置，且準直鏡組和色散聚焦鏡組共焦點。這樣，使準直鏡組與色散聚焦鏡組形成4F光學系統(tǒng)，進一步減小雜散光。準直鏡組與色散聚焦鏡組結構簡單，易于加工裝配和調整，同時實現(xiàn)準直鏡組與色散聚焦鏡組的軸向色散與波長有較好的函數(shù)關系的優(yōu)點；例如，軸向色散與波長產生三次函數(shù)關系，有利于加快后續(xù)處理數(shù)據的運算速度。本實用新型的光譜儀包括有機殼，在機殼中固定設置有棱鏡組，棱鏡組位于接收光纖出光端的軸向上，棱鏡組用于對反射光進行色散，在機殼內固定設置有聚焦透鏡組，聚焦透鏡組用于對色散后的光進行聚焦，位于機殼內的所述感光元件設置在聚焦透鏡組的出光端并用于接收聚焦后的多色光。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量，包括金屬、陶瓷、塑料等。光電光譜共焦位移傳感器按需定制

該傳感器可應用于微納制造、生物醫(yī)學和半導體制造等領域中的精密測量。直銷光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)

套筒限位在限位槽內,且與限位槽相匹配,套筒上設置有用于光纖連接的螺紋孔進一步,兩個雙凸球面鏡的凸面?zhèn)瘸瘍葘ΨQ設置。進一步,兩個雙凸球面鏡之間的間距為2.5~5.5mm。進一步,位于中間的雙凸球面鏡與彎月透鏡之間的間距為3.5~6.0mm。進一步,鹵素燈光源的光譜波段范圍為360nm~2500nm。光譜共焦位移傳感器是一種具有超高精度和超高穩(wěn)定性的非接觸式位移傳感器與激光三角法相比,光譜共焦具有更高的分辨率,并且由于光發(fā)射和接收同光路,不會出現(xiàn)激光三角法光路容易被遮擋或被測目標表面過于光滑而接收不到目標反射光的情況,對被測物體適應性強,適用于手機玻璃的檢測,凹坑、小孔的測量以及表面形貌的掃描恢復。光譜共焦傳感器是一種基于光學色散原理的非接觸式位移傳感器,目的是建立距離與波長間的對應關系。傳統(tǒng)的激光三角法測量技術已經比較成熟,運用也比較widely,但由于CCD相機接收反射光范圍的限制,不能用于可以透光的透明材料和表面有凹坑缺陷玻璃的測量。光譜共焦位移傳感器由于其運用同光路的光纖,只要光能照射的區(qū)域就能夠沿原路返回,可以解決傳統(tǒng)的激光三角法測量不了的領域,對一些高反射、高深寬比、陡峭內壁表面有缺陷的玻璃間隙進行測量,且測量精度能夠達到亞微米級別。直銷光譜共焦位移傳感器量大從優(yōu)