溫州質(zhì)量光譜共焦位移傳感器

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-06-08

本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭還包括有提示組件,光源耦合器作為單獨(dú)結(jié)構(gòu)與探頭殼體分開(kāi)設(shè)置。提示組件包括在光源耦合器內(nèi),通過(guò)卡扣可拆卸設(shè)置,用于產(chǎn)生提示光的發(fā)光件;發(fā)光件也可直接固定在光源耦合器內(nèi)。發(fā)光件為雙色LED燈,也可為其他可見(jiàn)光光源,當(dāng)探頭操作正常且被測(cè)物體在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出綠色光,提醒使用者操作正常,可以繼續(xù)操作。當(dāng)探頭操作不正?;虮粶y(cè)物體不在有效測(cè)量區(qū)域時(shí),由控制系統(tǒng)發(fā)出控制信號(hào)點(diǎn)亮發(fā)光件,發(fā)光件發(fā)出紅光,提示使用者操作出現(xiàn)問(wèn)題,需要更正。發(fā)光件發(fā)出不同顏色的光便于使用者了解探頭的使用情況,增加便利性。該傳感器利用光路中的光譜信息來(lái)測(cè)量位移。溫州質(zhì)量光譜共焦位移傳感器

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本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,用于對(duì)探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù),易于想到的是,探頭殼體可設(shè)置為方形,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方;半透半反光學(xué)鏡對(duì)通過(guò)入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射,而當(dāng)透射的光線經(jīng)過(guò)被測(cè)物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上,半透半反光學(xué)鏡對(duì)反射光進(jìn)行一半透射,一半反射;通信光譜共焦位移傳感器哪個(gè)品牌好它可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的表面形貌進(jìn)行高精度測(cè)量,對(duì)于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義。

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過(guò)去,針對(duì)測(cè)量待測(cè)物體的高度等,已經(jīng)使用了光譜共焦傳感器的技術(shù)。例如,日本的intenational公開(kāi)2014/141535(以下稱為專利文獻(xiàn)1)公開(kāi)了使用多個(gè)頭部的共焦光學(xué)系統(tǒng)來(lái)進(jìn)行對(duì)測(cè)量對(duì)象的位移的多點(diǎn)測(cè)量的共焦測(cè)量設(shè)備。在該共焦測(cè)量設(shè)備中,在各頭部中設(shè)置有光學(xué)濾波器,并且設(shè)置要用于測(cè)量的波長(zhǎng)帶,以使得這些頭部彼此不同。例如,在No.1頭部中使用具有約400nm~600nm的波長(zhǎng)的光,并且在第二頭部中使用具有約600nm~800nm的波長(zhǎng)的光(專利文獻(xiàn)1的說(shuō)明書中的段落、通過(guò)以這種方式使要在這些頭部中使用的光的波長(zhǎng)帶彼此不同,可以將分光器內(nèi)部所布置的攝像裝置分割成要由各頭部使用的多個(gè)區(qū)域(通道)。結(jié)果,可以針對(duì)多個(gè)光學(xué)頭only使用一個(gè)分光器(攝像裝置)來(lái)進(jìn)行測(cè)量對(duì)象的多點(diǎn)測(cè)量.

光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦,并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光; 光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到感光元件上且量化成光譜曲線。光譜共焦位移傳感器是一種高精度、具有廣泛的應(yīng)用前景。

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被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)物體的位移和光譜波峰位置三者建立對(duì)應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,通過(guò)光譜波峰位置反推出被測(cè)物體的位移,實(shí)現(xiàn)光譜共焦測(cè)量位移的過(guò)程,通過(guò)光譜共焦工作原理,避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式、不受溫度和振動(dòng)等影響。嘉興光譜共焦位移傳感器詳情

該傳感器適用于光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡等高分辨率成像系統(tǒng)中的位移測(cè)量。溫州質(zhì)量光譜共焦位移傳感器

激光位移傳感器的工作原理是利用激光發(fā)射光束投射到被測(cè)物體表面,接收反射光并將光信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,從而獲取被測(cè)物體空間位置信息。根據(jù)激光源發(fā)射光束的不同,激光傳感器可分為點(diǎn)、線兩種。點(diǎn)激光位移傳感器在一個(gè)采樣周期內(nèi)只能獲得被測(cè)量的一維信息,使用時(shí)通常依托于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)機(jī)床等設(shè)備,通過(guò)設(shè)備機(jī)械運(yùn)動(dòng)及傳感器同步掃描來(lái)獲取被測(cè)物體三維信息。因此,激光位移傳感器在精密測(cè)量領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。。。溫州質(zhì)量光譜共焦位移傳感器