非接觸式光譜共焦測距

來源: 發(fā)布時間:2024-05-10

在工業(yè)領域 ,光譜共焦傳感器的應用可以幫助企業(yè)實現(xiàn)更高精度的加工,提高產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。首先,高精度光譜共焦傳感器可以實現(xiàn)對加工表面形貌的j精確測量。在精加工過程中,產(chǎn)品的表面形貌對產(chǎn)品的質(zhì)量有著至關重要的影響。傳統(tǒng)的測量方法往往需要接觸式測量,不僅測量精度受限,而且容易對產(chǎn)品表面造成損傷。而光譜共焦傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸式的高精度測量,不僅可以實現(xiàn)對產(chǎn)品表面形貌的整體測量,而且對產(chǎn)品表面不會造成任何損傷,極大地提高了測量的精度和可靠性。傳統(tǒng)的檢測方法往往需要取樣送檢,耗時耗力,而且無法實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測。而光譜共焦傳感器能夠通過對反射光的分析,準確地獲取產(chǎn)品表面的顏色和成分信息,實現(xiàn)對加工過程的實時監(jiān)測和反饋,為企業(yè)提供了更加可靠的質(zhì)量保證。高精度光譜共焦傳感器在精加工領域的應用還可以幫助企業(yè)實現(xiàn)對加工工藝的優(yōu)化和提升。通過對產(chǎn)品表面形貌、顏色以及成分等信息的完整獲取,企業(yè)可以更加深入地了解產(chǎn)品的加工特性,發(fā)現(xiàn)潛在的加工問題,并針對性地進行工藝優(yōu)化和改進,提高產(chǎn)品的加工精度和一致性,降低生產(chǎn)成本,提高企業(yè)的競爭力 。國內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術的研究成果發(fā)表。非接觸式光譜共焦測距

非接觸式光譜共焦測距,光譜共焦

隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,人們對于工業(yè)生產(chǎn)測量的要求越來越高,希望能夠生產(chǎn)出具有精度高、適應性強、實時無損檢測等特性的位移傳感器,光譜共焦位移傳感器的出現(xiàn),使問題得到了解決,它是一種非接觸式光電位移傳感器,測量精度可達亞微米級甚至于更高,對于雜光等干擾光線,傳感器并不敏感 ,具有較強的抵抗力,適應性強,且其在體積方面具有小型化的特點,因此應用前景十分大量。光學色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一,鏡頭組性能參數(shù)對位移傳感器的測量精度與分辨率起著決定性的作用。平面度測量 光譜共焦供應光譜共焦技術具有很大的市場潛力。

非接觸式光譜共焦測距,光譜共焦

采用對比測試方法,首先對基于白光共焦光譜技術的靶丸外表面輪廓測量精度進行了考核,圖5(a)是靶丸外表面輪廓的原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀的測量曲線。為了便于比較,將原子力顯微鏡輪廓儀的測量數(shù)據(jù)進行了偏移。從圖中可以看出,二者的低階輪廓整體相似,局部的輪廓信息存在一定的偏差 ,原因在于二者在靶丸赤道附近的精確測量圓周輪廓結(jié)果不一致;此外,白光共焦光譜的信噪比較原子力低,這表明白光共焦光譜適用于靶丸表面低階的輪廓誤差的測量。圖5(b)是靶丸外表面輪廓原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,從圖中可以看出,在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi),兩種方法的測量結(jié)果一致性較好,當模數(shù)大于100時,白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),這也反應了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于光譜傳感器Z向分辨率比原子力低一個量級,同時,受環(huán)境振動、光譜儀采樣率及樣品表面散射光等因素的影響,共焦光譜檢測數(shù)據(jù)高頻隨機噪聲可達100nm左右。

光譜共焦傳感器是一種高精度位移傳感器,綜合了光學成像和光譜分析技術,廣泛應用于3C(計算機、通信和消費電子)電子行業(yè)。在智能手機中,光譜共焦傳感器可用于線性馬達的位移測量,通過實時監(jiān)控和控制線性馬達的位移,可大幅提高智能手機的定位功能和相機的成像精度。同時,還可以測量手機屏幕的曲面角度和厚度等參數(shù) 。在生產(chǎn)平板電腦過程中,光譜共焦傳感器還可用于各種移動結(jié)構(gòu)部件的位移和振動檢測。通過對平板電腦內(nèi)的各種移動機構(gòu)、控制元件進行精密位移、振動、形變和應力等參數(shù)的測量,實現(xiàn)對其制造精度和運行狀態(tài)的實時監(jiān)控。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,對于研究材料的力學性能具有重要意義;

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光譜共焦傳感器如何工作?共焦色度測量原理通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差(像差)將白光分散成單色光。工廠校準為每個波長分配了一定的偏差(特定距離)。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。從目標表面反射的這種光通過共焦孔徑到達光譜儀,該光譜儀檢測并處理光譜變化。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸 ,通常 <10 μm。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面,以及測量窄孔、小間隙和空腔。光譜共焦技術是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術。品牌光譜共焦排名

光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測量。非接觸式光譜共焦測距

因為共焦測量方法具有高精度的三維成像能力,所以它已被用于表面輪廓和三維結(jié)構(gòu)的精密測量。本文分析了白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準模型,并基于白光共焦光譜和精密旋轉(zhuǎn)軸系,開發(fā)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密位置確定方法,使用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,其測量精度受到多個因素的影響,如白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率和靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)。非接觸式光譜共焦測距