推薦光譜共焦供應(yīng)鏈

來源: 發(fā)布時間:2024-05-07

在硅片柵線的厚度測量過程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運(yùn)動平臺上進(jìn)行掃描測量。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,通過將需要掃描測量的硅片標(biāo)記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量。由于柵線不是平整面,并且有一定的曲率,因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響 。光譜共焦技術(shù)可以解決以往傳感器和測量系統(tǒng)精度與視場不能兼容的問題。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈

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光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的結(jié)合。白色光源和光譜儀可以完成一個相對高度范圍的準(zhǔn)確測量。光譜共焦位移傳感器的準(zhǔn)確測量原理如圖1所示。在光纖和超色差鏡片的幫助下,產(chǎn)生一系列連續(xù)而不重合的可見光聚焦點(diǎn)。當(dāng)待測物體放置在檢測范圍內(nèi)時,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表面并反射回來,產(chǎn)生波峰信號。其他波長將失去對焦 。使用干涉儀的校準(zhǔn)信息可以計算待測物體的位置,并創(chuàng)建對應(yīng)于光譜峰處波長偏移的編碼。超色差鏡片通過提高縱向色差,可以在徑向分離出電子光學(xué)信號的不同光譜成分,因此是傳感器的關(guān)鍵部件,其設(shè)計方案非常重要。光譜共焦市場價格光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對材料的表面形貌進(jìn)行高精度測量,對于研究材料的表面性質(zhì)具有重要意義;

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隨著精密儀器制造業(yè)的發(fā)展,對工業(yè)生產(chǎn)測量的精度和適應(yīng)性要求越來越高,需要具有高精度、適應(yīng)性強(qiáng)和實(shí)時無損檢測等特性的位移傳感器。光譜共焦位移傳感器的問世解決了這個問題,它是一種非接觸式光電位移傳感器,可達(dá)到亞微米級甚至更高的測量精度。傳感器對于雜光等干擾光線并不敏感,具有較強(qiáng)的抵抗能力,適應(yīng)性強(qiáng),且具有小型化的特點(diǎn),應(yīng)用前景廣闊。光學(xué)色散鏡頭是光譜共焦位移傳感器的重要組成部分之一 ,其性能參數(shù)對于位移傳感器的測量精度和分辨率具有決定性作用。

高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求。同時,在光譜共焦位移傳感器中,屏幕分辨率通常采用全半寬來進(jìn)行精確測量。高NA可以降低半寬,提高分辨率。因此,在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率 ,并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜。但是,同時提高NA也會導(dǎo)致球差擴(kuò)大,并增加電子光學(xué)設(shè)計的優(yōu)化難度。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因?yàn)楣庾V儀在各個波長的像素應(yīng)該是一致的,如果縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),這種離散系統(tǒng)也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別,從而損害傳感器的特性。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學(xué)元件(DOE)可以形成足夠強(qiáng)的色差。然而,制造難度和成本相對較高,且在可見光范圍內(nèi)透射損耗也非常高。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量、形變和破壞等參數(shù)的測量。

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共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力,已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細(xì)結(jié)構(gòu)的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型;同時,基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系,建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定位方法 ,實(shí)現(xiàn)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量。用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,其測量結(jié)果與白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率、靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)等因素緊密相關(guān)。激光位移傳感器的應(yīng)用主要是用于非標(biāo)的特定檢測設(shè)備中。高采樣速率光譜共焦安裝操作注意事項(xiàng)

光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的成像和分析。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板,各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性、厚度、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構(gòu)件。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?,F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板,其厚度為0.7 mm及0.5m m,且將要邁進(jìn)特薄厚度之制造。大部分,一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因?yàn)椴AЩ搴穸群鼙?,而厚度?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格,一般在0.01mm的公差,關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,一次測量就可以完成了相對高度值、厚度系數(shù)的收集,再加上與此同時選用多個感應(yīng)器測量,不僅提高了效率,并且防止觸碰測量所造成的二次損害 。推薦光譜共焦供應(yīng)鏈