高頻光譜共焦應(yīng)用案例

來源: 發(fā)布時間:2023-11-12

光譜共焦傳感器是采用復(fù)色光為光源的傳感器,其測量精度能夠達(dá)到微米量級,可用于對漫反射或鏡反射被測物體的測量。此外,光譜共焦位移傳感器還可以對透明物體進(jìn)行單向厚度測量,光源和接收光鏡為同軸結(jié)構(gòu),有效地避免了光路遮擋,并使傳感器適于測量直徑4.5mm以上的孔及凹槽的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。光譜共焦位移傳感器在測量透明物體的位移時,由于被測物體的上、下兩個表面都會反射,而傳感器接收到的位移信號是通過其上表面計(jì)算出來的,從而會引起一定的誤差。本文基于測量平行平板的位移,對其進(jìn)行了誤差分析。光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用可以提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。高頻光譜共焦應(yīng)用案例

高頻光譜共焦應(yīng)用案例,光譜共焦

光譜共焦測量技術(shù)由于其具有測量精度高、測量速度快、可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量的獨(dú)特優(yōu)勢而被大量應(yīng)用于工業(yè)級測量。讓我們先來看一下光譜共焦技術(shù)的起源和光譜共焦技術(shù)在精密幾何量計(jì)量測試中的成熟典型應(yīng)用。共焦顯微術(shù)的概念首先是由美國的 Minsky 于 1955年提出, 其利用共焦原理搭建臺共焦顯微鏡, 并于1957年申請了專利。自20世紀(jì)90年代,   隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展,   共焦顯微術(shù)成了研究的熱點(diǎn),得到快速的發(fā)展。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描, 直接由波長對應(yīng)軸向距離信息, 從而大幅提高測量速度。   而基于光譜共焦技術(shù)的傳感器是近年來出現(xiàn)的一種高精度、 非接觸式的新型傳感器,   目前精度上可達(dá)nm量級。 共焦測量術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實(shí)時性高、對被測表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢,迅速成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、 表面工程研究、 精密測量等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。青浦區(qū)光譜共焦制造廠家光譜共焦技術(shù)的研究和應(yīng)用將推動中國科技事業(yè)的發(fā)展。

高頻光譜共焦應(yīng)用案例,光譜共焦

光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長建立起一套編碼規(guī)則,是一種高精度、非接觸的光學(xué)測量技術(shù)。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級、快速精確測量的傳感器,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀、厚度測量、位移測量、在線監(jiān)控及過程控制等工業(yè)測量領(lǐng)域。展望其未來,隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子、線寬測量、納米測試、超精密幾何量計(jì)量測試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來,其無需軸向掃描,直接由波長對應(yīng)軸向距離信息,從而大幅提高測量速度。

隨著科技的進(jìn)步和應(yīng)用的深入,光譜共焦在點(diǎn)膠行業(yè)中的未來發(fā)展將更加廣闊。以下是一些可能的趨勢和發(fā)展方向:高速化:為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求,光譜共焦技術(shù)需要更快的光譜分析速度和更短的檢測時間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進(jìn)硬件設(shè)備,以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測效率。智能化:通過引入人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù),光譜共焦可以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的分析和判斷能力,例如自動識別不同種類的點(diǎn)膠、檢測微小的點(diǎn)膠缺陷等。這將有助于提高檢測精度和降低人工成本。多功能化:為了滿足多樣化的生產(chǎn)需求,光譜共焦技術(shù)可以擴(kuò)展到更多的應(yīng)用領(lǐng)域。例如,將光譜共焦技術(shù)與圖像處理技術(shù)相結(jié)合,可以實(shí)現(xiàn)更復(fù)雜的樣品分析和檢測任務(wù)。環(huán)保與可持續(xù)發(fā)展:隨著環(huán)保意識的提高,光譜共焦技術(shù)在點(diǎn)膠行業(yè)中的應(yīng)用也可以從環(huán)保角度出發(fā)。例如,通過光譜分析可以精確地控制點(diǎn)膠的厚度和用量,從而減少材料的浪費(fèi)和減少對環(huán)境的影響。光譜共焦技術(shù)在航空航天領(lǐng)域可以用于航空發(fā)動機(jī)和航天器部件的精度檢測。

高頻光譜共焦應(yīng)用案例,光譜共焦

集成于2D掃描系統(tǒng)上,光譜共焦位移傳感器可以提供針對負(fù)載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù)。創(chuàng)新的光譜共焦原理使本傳感器可以直接透過透明件工件的前后表面測量厚度,整個過程需要使用一個傳感器從工件的一個側(cè)面測量。相對于三角反射原理的激光位移傳感器,本儀器因采用同軸光,從而可以更有效地測量弧工件的厚度。高采樣頻率,小尺寸體積和卡放的數(shù)據(jù)接口,使本儀器非常容易集成至在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中,實(shí)現(xiàn)線上檢測。由于采用超高的采樣頻率和超高精度,光譜共焦傳感器可以對震動物件進(jìn)行測量,傳感器采用的非接觸設(shè)計(jì),避免測量過程中對震動物件造成干擾,同時可以對復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測量和分析。光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用。溫州光譜共焦廠家

該技術(shù)可以采集樣品不同深度處的光譜信息進(jìn)行測量。高頻光譜共焦應(yīng)用案例

由于光譜共焦傳感器對于不同的反射面反射回來的單色光的波長不同,因此對于材料的厚度精密測量具有獨(dú)特的優(yōu)勢。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等,兩個反射面都會反射不同波長的單色光,進(jìn)而只需一個傳感器,即可推算出厚度,測量精度可達(dá)微米量級,且不損傷被測表面。利用光譜共焦位移傳感器測量透明材料厚度的應(yīng)用,計(jì)算了該系統(tǒng)的測量誤差范圍大概為 0.005mm。利用光譜共焦傳感器對平行平板的厚度以及光學(xué)鏡頭的中心厚度進(jìn)行測量的方法,并針對被測物體材料的色散對厚度測量精度的影響做了理論的分析。為了探究由流體跌落方式制備的薄膜厚度與跌落模式、雷諾數(shù)、底板的傾斜角度之間的關(guān)系,采用光譜共焦傳感器實(shí)時監(jiān)控制備后的薄膜厚度,利用對頂安裝的白光共焦傳感器組,實(shí)現(xiàn)了對厚度為 10—100μm 的金屬薄膜厚度及分布的精確測量,并進(jìn)行了測量不確定度分析,得到系統(tǒng)的測量不確定度為 0.12μm 左右。高頻光譜共焦應(yīng)用案例

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