非球面中心偏差的測量手段主要包括接觸式(百分表)和非接觸式(光學(xué)傳感器)。文章基于自準(zhǔn)直定心原理和光譜共焦位移傳感技術(shù),對高階非球面的中心偏差進行了非接觸精密測量。光學(xué)加工人員根據(jù)測量出的校正量和位置方向?qū)η蛎孢M行拋光,使非球面透鏡的中心偏差滿足光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計的要求。由于非球面已加工到一定精度要求,因此對球面的拋光和磨削是糾正非球面透鏡中心偏差的主要方法。利用軸對稱高階非球面曲線的數(shù)學(xué)模型計算被測環(huán)D帶的旋轉(zhuǎn)角度θ,即光譜共焦位移傳感器的工作角。光譜共焦透鏡組設(shè)計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。新型光譜共焦成本價
硅片柵線的厚度測量方法我們還用創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器,TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02% of F.S.的線性精度,10kHz的測量速度,以及±60°的測量角度,能夠適應(yīng)鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,支持485、USB、以太網(wǎng)、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。。我們主要測量太陽能光伏板硅片刪線的厚度,所以我們這次用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量。柵線測量方法:首先我們將需要掃描測量的硅片選擇三個區(qū)域進行標(biāo)記如圖1,用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量,柵線厚度是柵線高度-基底的高度差。二維運動平臺掃描測量(由于柵線不是一個平整面,自身有一定的曲率,對測量區(qū)域的選擇隨機性影響較大)福建光譜共焦安裝操作注意事項光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能。
對光譜共焦位移傳感器原理進行理解與分析得出,想得到的理想鏡頭應(yīng)該具備以下性能:首先需要其產(chǎn)生較大的軸向色差,通常需要對鏡頭進行消色差措施,而對于此傳感器需要利用其色差進行測量,并且還需將其擴大化,其次產(chǎn)生軸向色差后在軸上的焦點會由于單色光球差的問題導(dǎo)致光譜曲線響應(yīng)FWHM(Full Width at Half Maximum)變大,影響分辨率,同時為確保單色光在軸上匯聚點單一,需要對其球差進行控制, 為使此位移傳感器從原理上保證傳感器的線性度,平衡傳感器各個聚焦位置的靈敏度,應(yīng)盡量使焦點位置與波長成線性關(guān)系。
客戶一直在使用安裝在潔凈室的較好的激光測量設(shè)備檢查對齊情況,每個組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,這太長了?!耙虼?,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時間?,F(xiàn)在,我們使用機器人搬運系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動裝配機中。為了避免由于移動機器人的振動引起的任何測量干擾,我們將光譜共焦位移傳感器安裝在單獨的框架和支架上,盡管仍然靠近要測量的部件。該機器現(xiàn)已經(jīng)過測試和驗證。光譜共焦技術(shù)是一種基于共焦顯微鏡原理的成像和分析技術(shù)。
為了提高加工檢測效率,實現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量,提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標(biāo)測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境,建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標(biāo)準(zhǔn)臺階、表面粗糙度標(biāo)準(zhǔn)樣塊和曲面輪廓樣品進行了測量,實驗結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)具有較高的測量精度和重復(fù)性,粗糙度參數(shù)Ra的測量重復(fù)性為0.0026μm,在優(yōu)化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應(yīng)用前景。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進行實時監(jiān)測,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。順義區(qū)光譜共焦廠家直銷價格
光譜共焦技術(shù)的應(yīng)用將有助于推動中國科技創(chuàng)新的發(fā)展。新型光譜共焦成本價
共焦測量方法由于具有高精度的三維成像能力,已經(jīng)大量用于表面輪廓與三維精細結(jié)構(gòu)的精密測量。本文通過分析白光共焦光譜的基本原理,建立了透明靶丸內(nèi)表面圓周輪廓測量校準(zhǔn)模型;同時,基于白光共焦光譜并結(jié)合精密旋轉(zhuǎn)軸系,建立了靶丸內(nèi)表面圓周輪廓精密測量系統(tǒng)和靶丸圓心精密定位方法,實現(xiàn)了透明靶丸內(nèi)、外表面圓周輪廓的納米級精度測量。用白光共焦光譜測量靶丸殼層內(nèi)表面輪廓數(shù)據(jù)時,其測量結(jié)果與白光共焦光譜傳感器光線的入射角、靶丸殼層厚度、殼層材料折射率、靶丸內(nèi)外表面輪廓的直接測量數(shù)據(jù)等因素緊密相關(guān)。新型光譜共焦成本價
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