激光位移傳感器是一種利用光學(xué)三角法原理進(jìn)行測(cè)量的儀器,其主要作用是測(cè)量被測(cè)物體的位移。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測(cè)量速度快、精度高、測(cè)量光斑小 、抗干擾能力強(qiáng)和非接觸式的測(cè)量特點(diǎn)。近年來(lái),隨著現(xiàn)代光電技術(shù)的不斷發(fā)展,激光位移傳感器逐漸成為光電非接觸檢測(cè)產(chǎn)品的...
常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理 :入射的白光光束通過(guò)半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡后,被分光鏡分成兩部分,一個(gè)部分入射到固定的參考鏡,一部分入射到樣品表面,當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過(guò)分光鏡后,再次匯聚發(fā)生干涉,干涉光通過(guò)透鏡后,利用電荷耦合器(CCD)可...
光譜共焦位移傳感器是一種可用于測(cè)量工件形貌的高精度傳感器 。它利用光學(xué)原理和共焦技術(shù),對(duì)工件表面形貌進(jìn)行非接觸式測(cè)量,具有測(cè)量速度快、精度高、適用范圍廣d的優(yōu)點(diǎn)。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測(cè)量工件形貌的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要在測(cè)量前進(jìn)行校準(zhǔn)。...
在實(shí)踐中,光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,如:利用獨(dú)特的光譜共焦測(cè)量原理,憑借一只探頭就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃等透明材料進(jìn)行精確的單向厚度測(cè)量。透明材料上表面及下表面都會(huì)形成不同波長(zhǎng)反射光,通過(guò)計(jì)算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤(pán)以及鋁塑泡罩包裝...
高像素傳感器設(shè)計(jì)方案取決于的光對(duì)焦水平,要求嚴(yán)格圖象室內(nèi)空間NA的眼鏡片。另一方面,光譜共焦位移傳感器的屏幕分辨率通常采用光譜抗壓強(qiáng)度的全半寬來(lái)精確測(cè)量。高NA能夠降低半寬,提高分辨率。因而,在設(shè)計(jì)超色差攝像鏡頭時(shí),NA應(yīng)盡可能高的。高圖象室內(nèi)空間NA能提高傳...
白光光譜法克服了干涉級(jí)次的模糊識(shí)別問(wèn)題 ,具有動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍大,連續(xù)測(cè)量時(shí)波動(dòng)范圍小的特點(diǎn),但在實(shí)際測(cè)量中,由于測(cè)量誤差、儀器誤差、擬合誤差等因素,干涉級(jí)次的測(cè)量精度仍其受影響,會(huì)出現(xiàn)干擾級(jí)次的誤判和干擾級(jí)次的跳變現(xiàn)象。導(dǎo)致公式計(jì)算得到的干擾級(jí)次m值與實(shí)際譜峰干...
激光位移傳感器的分辨率是指它能夠測(cè)量到的小位移量,通常用微米或納米表示。分辨率是激光位移傳感器性能指標(biāo)之一,決定了其測(cè)量精度和可靠性。分辨率的測(cè)試方法一般為將被測(cè)物體移動(dòng)一個(gè)已知的小位移 ,然后測(cè)量激光位移傳感器輸出的信號(hào)變化量,即為分辨率。在測(cè)試分辨率時(shí),需...
在容器玻璃的生產(chǎn)過(guò)程中,瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征。因此,必須檢查這些參數(shù)。任何有缺陷的容器都會(huì)立即被拒絕并返回到玻璃熔體中。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合,需要快速的非接觸式測(cè)量程序。而光譜共焦傳感器適合這項(xiàng)測(cè)量任務(wù)。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量。數(shù)...
第三視覺(jué)定位包括分別布置在多自由度鍵合頭 300和貼裝臺(tái)單元401上的激光位移傳感器360、403,它們相互配合并用于對(duì)鍵合頭所拾取芯片和基板各自相對(duì)于XY平面的傾角進(jìn)行精確測(cè)量及定位;第四視覺(jué)定位系統(tǒng)包括布置在多自由度鍵合頭上并由相機(jī)351和平面鏡352共同...
激光位移傳感器是一種應(yīng)用的非接觸式測(cè)量設(shè)備,其主要用于非標(biāo)檢測(cè)設(shè)備中。國(guó)內(nèi)所使用的激光測(cè)量?jī)x器幾乎完全依賴于國(guó)外進(jìn)口。該傳感器具有同步功能,可用于差動(dòng)測(cè)厚、測(cè)長(zhǎng)等 ,特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有的測(cè)量性能,可用于在線測(cè)量位移、三維尺寸、厚度、表...
白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出 ,隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實(shí)現(xiàn)。1983年,BrianCulshaw的研究小組報(bào)道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,報(bào)道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng)。該研究成果證明了白...
采用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時(shí) ,被測(cè)光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長(zhǎng)信息即可得出光程差,不必關(guān)心此波長(zhǎng)處的光強(qiáng)大小,從而降低數(shù)據(jù)處理的難度。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)來(lái)分別求出光程差,然后再求平均值...
薄膜作為改善器件性能的重要途徑,被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué) 、電子 、醫(yī)療、能源、建材等技術(shù)領(lǐng)域。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響,成品薄膜存在厚度分布不均、表面粗糙度大等問(wèn)題,導(dǎo)致其光學(xué)及物理性能達(dá)不到設(shè)計(jì)要求,嚴(yán)重影響成品的性能及應(yīng)用。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展,...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測(cè)三個(gè)步驟。首先,使用顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過(guò)算法對(duì)圖像進(jìn)行位置確認(rèn),以確定樣品的空間位置。之后,通過(guò)對(duì)樣品的光譜信息分析,實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè)。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)點(diǎn)膠的...
在容器玻璃生產(chǎn)過(guò)程中,圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量,并確保不損壞瓶子,需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù),光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并...
隨著科技的進(jìn)步和應(yīng)用的深入,光譜共焦在點(diǎn)膠行業(yè)中的未來(lái)發(fā)展前景非常廣闊。以下是一些可能的趨勢(shì)和發(fā)展方向:高速化方向,為了滿足不斷提高的生產(chǎn)效率要求,光譜共焦技術(shù)需要更快的光譜分析速度和更短的檢測(cè)時(shí)間。這需要不斷優(yōu)化算法和改進(jìn)硬件設(shè)備,以提高數(shù)據(jù)處理速度和檢測(cè)效...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2,其構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求并顯示出了良好的光學(xué)性能。實(shí)現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件 ,并可以采用不同的優(yōu)化方法來(lái)改進(jìn)設(shè)計(jì)。首先,線性散射的...
光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量、3C電子等領(lǐng)域得到大量應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景使用的...
在硅片柵線的厚度測(cè)量過(guò)程中,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,±0.02%的線性精度,10kHz的測(cè)量速度和±60°的測(cè)量角度。它適用于鏡面、透明、半透明、膜層、金屬粗糙面和多...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、定位和檢測(cè)三個(gè)步驟。首先,通過(guò)顯微鏡對(duì)樣品進(jìn)行成像,然后將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)進(jìn)行處理。接著,利用算法對(duì)圖像進(jìn)行定位,以確定樣品的空間位置。通過(guò)分析樣品的光譜信息,實(shí)現(xiàn)對(duì)其成分的檢測(cè)。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測(cè)出點(diǎn)膠的位置和...
激光位移傳感器在新能源光伏等行業(yè)應(yīng)用。在太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)太陽(yáng)能電池板進(jìn)行高精度的位移測(cè)量,以確保電池板的穩(wěn)定性和可靠性。在風(fēng)能發(fā)電領(lǐng)域中,激光位移傳感器可以用于對(duì)風(fēng)力發(fā)電機(jī)葉片的位移進(jìn)行測(cè)量,以確定葉片的形變和振動(dòng)情況,從而提高發(fā)電效...
光譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角、測(cè)量速度快、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn),已成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測(cè)量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測(cè)量場(chǎng)景采用了創(chuàng)視智能TS...
光學(xué)測(cè)厚方法集光學(xué) 、機(jī)械、電子、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)為一體,以其光波長(zhǎng)為測(cè)量基準(zhǔn),從原理上保證了納米級(jí)的測(cè)量精度。同時(shí),光學(xué)測(cè)厚作為非接觸式的測(cè)量方法,被廣泛應(yīng)用于精密元件表面形貌及厚度的無(wú)損測(cè)量。其中,薄膜厚度光學(xué)測(cè)量方法按光吸收、透反射、偏振和干涉等光學(xué)原...
本文通過(guò)對(duì)比測(cè)試方法,考核了基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測(cè)量精度。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測(cè)量曲線 ,二者低階輪廓整體相似性高,但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測(cè)量上存在一定的偏差。此外,白光共焦光譜的信噪比也相對(duì)較低,只適合...
在軟件算法方面,除了前面提到的圖像處理技術(shù)和自適應(yīng)光學(xué)控制算法外,還需要開(kāi)發(fā)一套完整的數(shù)據(jù)處理和分析系統(tǒng)。該系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)接收傳感器采集的數(shù)據(jù),進(jìn)行濾波、去噪、校準(zhǔn)等預(yù)處理操作,然后運(yùn)用先進(jìn)的數(shù)學(xué)模型和算法對(duì)位移信息進(jìn)行精確計(jì)算。同時(shí),系統(tǒng)還應(yīng)具備自我學(xué)習(xí)和優(yōu)化...
光譜共焦位移傳感探頭,光譜共焦位移傳感探頭固定連接在入射光纖的出光端,光譜共焦位移傳感探頭用于對(duì)入射光纖傳導(dǎo)的多色光進(jìn)行軸向色散后將不同波長(zhǎng)的光分別聚焦,并對(duì)被測(cè)物體的反射光進(jìn)行傳導(dǎo)。接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收...
被測(cè)物體表面反射的反射光通過(guò)探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,光譜儀對(duì)反射光進(jìn)行聚焦并通過(guò)設(shè)置在光譜儀中的感光元件對(duì)反射光進(jìn)行量化處理,量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個(gè)光譜波峰,光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測(cè)物體表面的波長(zhǎng)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)關(guān)系;光譜儀將波長(zhǎng)、被測(cè)...
隨著科技的不斷進(jìn)步和市場(chǎng)需求的不斷增長(zhǎng),光譜共焦位移傳感器的未來(lái)前景十分廣闊。在技術(shù)方面,未來(lái)的光譜共焦位移傳感器將朝著更高的測(cè)量精度、更快的測(cè)量速度、更強(qiáng)的環(huán)境適應(yīng)性和更低的成本方向發(fā)展。例如,通過(guò)采用新的光學(xué)材料和制造工藝,進(jìn)一步提高傳感器的測(cè)量精度;利用...
接收光纖,所述接收光纖的入光端固定設(shè)置在所述光譜共焦位移傳感探頭內(nèi),所述接收光纖的入光端用于選擇性的接收所述光譜共焦位移傳感探頭傳導(dǎo)的被測(cè)物體的反射光;光譜儀,所述光譜儀固定連接所述接收光纖的出光端,所述光譜儀帶有感光元件并用于把被測(cè)物體的反射光進(jìn)行色散聚焦到...
本實(shí)用新型由于采用了上述技術(shù)方案,具有以下有益效果:1、該系統(tǒng)采用價(jià)格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀來(lái)對(duì)采集的光波進(jìn)行采集分析2、該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于產(chǎn)業(yè)化,測(cè)量...