光譜法是以光的干涉效應(yīng)為基礎(chǔ)的一種薄膜厚度測量方法 ,分為反射法和透射法兩類[12]。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射會引起多光束干涉效應(yīng),不同特性的薄膜材料的反射率和透過率曲線是不同的,并且在全光譜范圍內(nèi)與厚度之間是一一對應(yīng)關(guān)系。因此,根據(jù)這一光譜...
風(fēng)洞測試中對機翼翼型的二維測量 ,是眾多空氣動力學(xué)應(yīng)用中模型預(yù)測的關(guān)鍵技術(shù)。這類測試中,一般需要測量翼型在不同的受風(fēng)角度下的受力和俯仰力矩,受風(fēng)角度(攻角)的細微變化能夠造成力和力矩的大幅變動,因此,對攻角的精確測量是這類測試中的主要技術(shù)需求。本研究在風(fēng)洞中采...
一種激光位移傳感器檢驗校準裝置,其特征在于:包括一可伸縮導(dǎo)軌、一微調(diào)裝置、一傳感器夾持裝置、一激光位移傳感器以及一激光紅外線接收擋板;所述微調(diào)裝置和傳感器夾持裝置設(shè)于所述可伸縮導(dǎo)軌的上端;所述激光位移傳感器夾持在所述傳感器夾持裝置上,且使所述激光位移傳感器的激...
由于光譜共焦傳感器對于不同的反射面反射回來的單色光的波長不同,因此對于材料的厚度精密測量具有獨特的優(yōu)勢。光學(xué)玻璃、生物薄膜、平行平板等,兩個反射面都會反射不同波長的單色光,進而只需一個傳感器,即可推算出厚度,測量精度可達微米量級,且不損傷被測表面。利用光譜共焦...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標(biāo)測量機平臺對零件進行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點組合成...
在一個實施例中,上述感光元件7可以為線陣CCD感光芯片,或者也可以是線陣CMOS感光芯片。在線陣CCD感光芯片或線陣CMOS感光芯片中,包括線形排列的多個感光單元,通常為直線排列,該直線的延伸方向為感光單元的主要排列方向,這些感光單元沿著水平方向(弧矢方向)排...
根據(jù)本發(fā)明實施例的激光位移傳感器主要包括激光器(例如,可以是CN1 06855391B5激光二極管)1、聚焦透鏡2、窗口玻璃3、帶通濾光片5、成像物鏡(也可稱為接收物鏡)6、感光元件7以及反光元件8。其中,該激光位移傳感器用于對被測物體4進行測量。在圖1所示的...
本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件,在對成像物鏡和感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,...
綜上所述,激光位移傳感器檢驗校準裝置的優(yōu)點在于:1、通過所述電子千分表221,使得所述激光位移傳感器4的檢驗精度極大提高。2、通過所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11,簡化了檢驗流程、當(dāng)設(shè)備閑置時收縮導(dǎo)軌可節(jié)約占地面積。雖然以上描述了本實用新型的具體實施方式,但是熟悉本...
根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光位移傳感器,其特征在于,在進行解析時,空間頻率為62.5lp/mm,如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFS≥0.5,MTFT<0.05;如果所述多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向,則MTFT≥0.5,MTFS<0.0...
隨著社會的發(fā)展,智能設(shè)備不斷進化,人們對個性化的追求日益增加。復(fù)雜的形狀意味著對點膠設(shè)備提出更高的精度和靈活性要求。當(dāng)前在手機中板和屏幕模組貼合時,需要在中板上面點一圈透明的UV膠,由于其白色反光特性 ,只能使用光譜共焦傳感器進行完美測量。光譜共焦傳感器的復(fù)合...
在點膠工藝中生成的膠水小球目前只能通過視覺系統(tǒng)檢驗。在生產(chǎn)中必須保證點膠路線是連貫和穩(wěn)定的,而通過色散共焦測量傳感器系統(tǒng)就能夠控制許多質(zhì)檢標(biāo)準中的很多參數(shù)。膠水小球相對于其他結(jié)構(gòu)必須安置在正中間。在點膠起始和結(jié)束的異常的材料積聚能被檢測出來。色散共焦測量就連缺...
非接觸式激光平面檢測采用的是集光、機電一體化的測量設(shè)備系統(tǒng),系統(tǒng)中的激光位移傳感器是一種代替?zhèn)鹘y(tǒng)接觸式測量的新型位移檢測裝置,具有分辨率高,線性度高和穩(wěn)定性好等特點,可實現(xiàn)對對象物的高精度、高可靠性的測量。本文中定性檢測試驗較好地反映出對象物平面實際起伏情況,...
通過將反光元件設(shè)置在成像物鏡與感光元件之間,能夠減小激光位移傳感器的設(shè)備體積,便于激光位移傳感器的使用和安裝;通過采用線陣感光元件,能夠降低激光位移傳感器的成本;另外,由于線陣感光元件的多個感光單元沿著直線排列,所以在該直線的延伸方向上的MTF值拉高而將與該直...
道路是交通運輸?shù)闹匾M成部分,其平整度和幾何形狀對行車安全、行車舒適性、車輛燃油經(jīng)濟性等方面都有著重要影響。為了確保道路的安全和舒適,需要對道路的平整度和幾何形狀進行定期檢測和維護。而激光位移傳感器在道路檢測領(lǐng)域中的應(yīng)用,為道路的檢測和維護提供了更加準確和高效...
在精密幾何量計量測試中,光譜共焦技術(shù)是非常重要的應(yīng)用,可以提高測量效率和精度。在使用光譜共焦技術(shù)進行測量之前,需要對其原理進行分析,并對應(yīng)用的傳感器進行綜合應(yīng)用,以獲得更準確的測量數(shù)據(jù)。光譜共焦位移傳感器的工作原理是使用寬譜光源照射被測物體表面,然后通過光譜儀...
光譜共焦位移傳感器包括光源、透鏡組和控制箱等組成部分 。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組 ,每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點范圍內(nèi)時,樣品表面會聚焦后的光反射回去,這些反...
進一步地,所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關(guān)以及一控制面板;所述No.1支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部,所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部;所述滑動輪設(shè)于所述第...
帶通濾光片,設(shè)置于成像物鏡的入射光路上。聚焦透鏡,設(shè)置于激光器的出射光路上。可選地,上述感光元件為線陣感光元件,線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列,該直線的延伸方向為多個感光單元的主要排列方向。上述也可以是感光元件為面陣感光元件,面陣感光元件包括以矩形排列的...
在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下,成像物鏡本身的MTFS>MTFT、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下,成像物鏡本身的MTFT>MTFS,使得解析結(jié)果滿足條件;和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像...
進一步地,所述可伸縮導(dǎo)軌包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌、一No.1支撐件、一第二支撐件、一滑動輪、一伸縮制動開關(guān)以及一控制面板;所述No.1支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌固定端的底部,所述第二支撐件安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌可伸縮端的底部;所述滑動輪設(shè)于所述第...
從圖2的鏡頭圖可以看出,第二塊透鏡的半徑很小,主要是為了保證系統(tǒng)在整個工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小,maximum為0.4mm,在靠近透鏡的一邊,minimun為0.08mm,在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光...
本實用新型涉及一種檢驗校準裝置,特別指一種激光位移傳感器檢驗校準裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進行測量的傳感器,它由激光器、激光檢測器、測量電路組成。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表,能夠非接觸測量被測物體的位移變化,并且測量精度高。在激光位移傳感器...
激光位移傳感器可以幫助制造商在生產(chǎn)過程中及時發(fā)現(xiàn)和解決問題,提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量。例如,在半導(dǎo)體制造中,激光位移傳感器可以用于檢測芯片的厚度和變形,確保芯片的質(zhì)量和性能。在制藥行業(yè)中,激光位移傳感器可以用于檢測藥品的質(zhì)量和成分,確保藥品的有效性和安全性。激光...
本發(fā)明公開了一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,激光器用于射出激光束,由成像物鏡接收并出射的光入射到感光元件,在對成像物鏡和感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為弧矢方向的情況下,...
一種激光位移傳感器,包括激光器、成像物鏡以及感光元件,所述激光器用于射出激光束,由所述成像物鏡接收并出射的光入射到所述感光元件,其特征在于,在對所述成像物鏡和所述感光元件進行調(diào)制傳遞函數(shù)MTF解析時,解析結(jié)果滿足以下條件:在所述感光元件的多個感光單元的主要排列...
在激光位移傳感器中,激光束通過調(diào)整音叉透過高速上下移動的物鏡,在受測對象物上聚集為一焦點,同時反射光也會在小孔位置合集為一點,并使受光元件受光,通過測定物鏡的具體的位置,從而準確地測定目標(biāo)物離參考位置的距離,并不受材質(zhì)、顏色或傾斜度的影響。圖4為感測頭的焦點分...
從圖2的鏡頭圖可以看出,第二塊透鏡的半徑很小,主要是為了保證系統(tǒng)在整個工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小,maximum為0.4mm,在靠近透鏡的一邊,minimun為0.08mm,在55mm處。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光...
光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實現(xiàn)對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統(tǒng)配...
針對相關(guān)技術(shù)中的問題,本發(fā)明提出一種激光位移傳感器,能夠在不影響測量精度的情況下,降低成像物鏡的設(shè)計難度,同時讓測量系統(tǒng)能夠更有效地應(yīng)對振動、機械變形等不良影響。根據(jù)本發(fā)明,提供了一種激光位移傳感器。根據(jù)本發(fā)明的激光位移傳感器包括激光器、成像物鏡以及感光元件,...