常用白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理:入射的白光光束通過半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡后,被分光鏡分成兩部分,一個(gè)部分入射到固定參考鏡,一部分入射到樣品表面,當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光通過分光鏡后,再次匯聚發(fā)生干涉,干涉光通過透鏡后,利用電荷耦合器(CCD)可探測...
激光位移傳感器是一種應(yīng)用的非接觸式測量設(shè)備,其主要用于非標(biāo)檢測設(shè)備中。國內(nèi)所使用的激光測量儀器幾乎完全依賴于國外進(jìn)口。該傳感器具有同步功能,可用于差動(dòng)測厚、測長等 ,特別適用于工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)。激光位移傳感器具有的測量性能,可用于在線測量位移、三維尺寸、厚度、表...
白光干涉測量技術(shù),也稱為光學(xué)低相干干涉測量技術(shù),使用的是低相干的寬譜光源,如超輻射發(fā)光二極管、發(fā)光二極管等。與所有光學(xué)干涉原理一樣,白光干涉也是通過觀察干涉圖案變化來分析干涉光程差變化,并通過各種解調(diào)方案實(shí)現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點(diǎn)是,由于白光光...
光譜共焦位移傳感器是一種高精度 、高靈敏度的測量工件表面缺陷的先進(jìn)技術(shù)。它利用光學(xué)原理和共焦原理,通過測量光譜信號的位移來實(shí)現(xiàn)對工件表面缺陷的精確檢測和定位。本文將介紹光譜共焦位移傳感器測量工件表面缺陷的具體方法。首先,光譜共焦位移傳感器需要與光源和檢測系統(tǒng)配...
光具有相互疊加的特性,發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動(dòng)加強(qiáng),而在另一些地方振動(dòng)減弱,并產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化。干涉測量需要滿足三個(gè)相干條件:頻率一致、振動(dòng)方向一致、相位差穩(wěn)定一致。與激光光源相比,白光光源的相干長度較短,通常在幾微米到幾十微米內(nèi)。白光干涉的條紋有...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測三個(gè)步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進(jìn)行成像,并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過算法對圖像進(jìn)行位置確認(rèn),以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實(shí)現(xiàn)對其成分的檢測。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測點(diǎn)膠的...
對同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng),從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,顯然,當(dāng)一束平行光穿過靶丸后,偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光...
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內(nèi)空間NA和0.991的線形相關(guān)系數(shù)R2。這個(gè)構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求,表現(xiàn)出了光學(xué)性能。在實(shí)現(xiàn)線性散射方面,有一些關(guān)鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優(yōu)化方法來完善設(shè)計(jì)。首先,線性散射的完成條件是確...
具有1 mm縱向色差的超色差攝像鏡頭,擁有0.4436的圖象室內(nèi)空間NA和0.991的線形相關(guān)系數(shù)R2。這個(gè)構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求,表現(xiàn)出了光學(xué)性能。在實(shí)現(xiàn)線性散射方面,有一些關(guān)鍵條件需要考慮,并且可以采用不同的優(yōu)化方法來完善設(shè)計(jì)。首先,線性散射的完成條件是確...
光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快、實(shí)時(shí)性高、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點(diǎn),已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造、表面工程研究、精密測量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS...
客戶一直使用安裝在潔凈室的激光測量設(shè)備來檢查對齊情況,每個(gè)組件大約需要十分鐘才能完成必要的對齊檢查,耗時(shí)太久。因此,客戶要求我們開發(fā)一種特殊用途的測試和組裝機(jī)器,以減少校準(zhǔn)檢查所需的時(shí)間?,F(xiàn)在,我們使用機(jī)器人搬運(yùn)系統(tǒng)將閥門、閥瓣和銷組件轉(zhuǎn)移到專門的自動(dòng)裝配機(jī)中...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優(yōu)勢。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次...
光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理,采用復(fù)色光作為光源的傳感器,其測量精度可達(dá)到納米級,適用于測量物體表面漫反射或反射的情況。此外,光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性,因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位...
隨著機(jī)械加工水平的不斷發(fā)展,各種的微小的復(fù)雜工件都需要進(jìn)行精密尺寸測量與輪廓測量,例如:小工件內(nèi)壁溝槽尺寸、小圓倒角等的測量,對于某些精密光學(xué)元件可以進(jìn)行非接觸的輪廓形貌測量,避免在接觸測量時(shí)劃傷光學(xué)表面,解決了傳統(tǒng)傳感器很難解決的測量難題。一些精密光學(xué)元件也...
光譜共焦位移傳感器作為一種新型位移傳感器,因?yàn)槠錅y量精度高,對于雜光等干擾光線傳感器不敏感具有較強(qiáng)的抵抗能力等特點(diǎn),應(yīng)用前景十分大量。文章通過對原理的分析,設(shè)計(jì)了一款色散鏡頭使用H-K9L和H-ZF4A玻璃,采用正負(fù)透鏡組分離結(jié)構(gòu)組合形成鏡頭組,使用凹凸透鏡補(bǔ)...
高精度光譜共焦位移傳感器具有非常高的測量精度 。它能夠?qū)崿F(xiàn)納米級的位移測量,對于晶圓表面微小變化的檢測具有極大的優(yōu)勢。在半導(dǎo)體行業(yè)中,晶圓的表面質(zhì)量對于芯片的制造具有至關(guān)重要的影響,因此需要一種能夠jing'q精確測量晶圓表面位移的傳感器來保證芯片的質(zhì)量。其次...
隨著汽車行業(yè)的迅速發(fā)展 ,汽車零部件的加工質(zhì)量和精度要求也越來越高。為了滿足這一需求,高精度光譜共焦傳感器成為了一種可靠的解決方案。本文將探討高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工方面的應(yīng)用,并提出相應(yīng)的解決方案。首先,高精度光譜共焦傳感器在汽車零部件加工中的應(yīng)...
這篇文章介紹了一種具有1毫米縱向色差的超色差攝像鏡頭,它具有0.4436的圖像室內(nèi)空間NA和0.991的線性相關(guān)系數(shù)R2,其構(gòu)造達(dá)到了原始設(shè)計(jì)要求并顯示出了良好的光學(xué)性能。實(shí)現(xiàn)線性散射需要考慮一些關(guān)鍵條件,并可以采用不同的優(yōu)化方法來改進(jìn)設(shè)計(jì)。首先,線性散射的實(shí)...
差動(dòng)共焦拉曼光譜測試方法是一種通過激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號,并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號的非接觸式拉曼光譜測試方法。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對樣品進(jìn)行局部激發(fā),產(chǎn)生拉曼散...
膜厚儀是一種可以用于精確測量光學(xué)薄膜厚度的儀器,是光學(xué)薄膜制備和表征中不可或缺的工具。在光學(xué)薄膜領(lǐng)域,薄膜的厚度直接影響到薄膜的光學(xué)性能和應(yīng)用效果。因此,準(zhǔn)確測量薄膜厚度對于研究和生產(chǎn)具有重要意義。膜厚儀測量光學(xué)薄膜的具體方法通常包括以下幾個(gè)步驟:樣品準(zhǔn)備:首...
光學(xué)測厚方法結(jié)合了光學(xué)、機(jī)械、電子和計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù),以光波長為測量基準(zhǔn),從原理上保證了納米級的測量精度。由于光學(xué)測厚是非接觸式的測量方法,因此被用于精密元件表面形貌及厚度的無損測量。針對薄膜厚度的光學(xué)測量方法,可以按照光吸收、透反射、偏振和干涉等不同光學(xué)原...
風(fēng)洞測試是空氣動(dòng)力學(xué)領(lǐng)域的一項(xiàng)重要技術(shù),被廣泛應(yīng)用于飛行器、汽車和建筑等領(lǐng)域的設(shè)計(jì)和優(yōu)化中。在風(fēng)洞測試中,機(jī)翼翼型的二維測量是非常重要的,因?yàn)樗梢灶A(yù)測模型的受力和俯仰力矩,從而指導(dǎo)設(shè)計(jì)和優(yōu)化。攻角是指氣動(dòng)模型相對于風(fēng)向的角度,攻角的微小變化會導(dǎo)致力和力矩的大...
白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測量的局限性。白光掃描干涉法采用白光作為光源,白光作為一種寬光譜的光源,相干長度較短,因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時(shí),有一個(gè)確切的零點(diǎn)位置。當(dāng)測量光和參考光的光程相等時(shí),所有波段的光都會發(fā)生相長干涉...
光譜共焦傳感器是一種高精度位移傳感器,綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù),廣泛應(yīng)用于3C(計(jì)算機(jī)、通信和消費(fèi)電子)電子行業(yè)。在智能手機(jī)中,光譜共焦傳感器可用于線性馬達(dá)的位移測量,通過實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線性馬達(dá)的位移,可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度。同時(shí),還...
光譜共焦技術(shù)主要包括成像、位置確認(rèn)和檢測三個(gè)步驟。首先,使用顯微鏡對樣品進(jìn)行成像,并將圖像傳遞給計(jì)算機(jī)處理。然后通過算法對圖像進(jìn)行位置確認(rèn),以確定樣品的空間位置。之后,通過對樣品的光譜信息分析,實(shí)現(xiàn)對其成分的檢測。在點(diǎn)膠行業(yè)中,光譜共焦技術(shù)可以準(zhǔn)確地檢測點(diǎn)膠的...
三坐標(biāo)測量機(jī)是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備,其具有通用性強(qiáng),精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測量的方法,利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標(biāo)測量機(jī)平臺執(zhí)行輪...
表面粗糙度是指零件表面在加工過程中由于不同的加工方法、機(jī)床與刀具的精度、振動(dòng)及磨損等因素形成的微觀水平狀況,其間距和峰谷較小。表面粗糙度是表面質(zhì)量的一個(gè)重要衡量指標(biāo),關(guān)系到零件的磨損、密封、潤滑、疲勞等機(jī)械性能。表面粗糙度的測量可以通過接觸式測量和非接觸式測量...
本文提出了一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線測量方法,適用于一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求。該方法利用三坐標(biāo)測量機(jī)平臺對零件進(jìn)行輪廓掃描,并記錄測量掃描位置的空間橫坐標(biāo),然后根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,將微觀高度信息和采樣點(diǎn)組合成...
由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,因而多種測量方法各有優(yōu)缺,難以一概而論。按照薄膜厚度的增加,適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,白光干涉輪廓儀的測量精度較低,分光光度法和橢圓偏振...
激光位移傳感器是一種利用光學(xué)三角法原理進(jìn)行非接觸式測量的傳感器。它通過將激光發(fā)射光束投射到被測物體表面,接收反射光并將光信號轉(zhuǎn)換為電信號輸出,從而獲取被測物體空間位置信息。激光位移傳感器具有結(jié)構(gòu)小巧、測量速度快、精度高、測量光斑小、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn),并***應(yīng)...