光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,其成本約占IC制造工藝的20-30%,光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,去膠效果太強容易造成基底損傷,影響整個產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,成本低效率高,但隨著技術不斷選代更新,越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,它不需要浸泡化學溶劑,也不用烘干,去膠過程更容易控制,避免過多算上基底,提高產(chǎn)品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠,其原理同等離子清洗類似,主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應來去除光刻膠,由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學反應,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的,主要的氣體為氧氣、氬氣等,通過射頻產(chǎn)生氧離子,轟擊清洗物件,以獲得表面光滑的較大化,并且結果是親水性增**氣等離子適用于各種平面材料的表面清洗活化,可搭配直噴或旋轉(zhuǎn)噴頭。重慶低溫等離子清洗機廠商
在材料科學領域,聚丙烯(PP)是一種普遍使用的工程塑料,提升其性能一直是研究的重點。由于PP具有優(yōu)異的物理和機械特性以及良好的加工性能,因此在包裝、汽車、家電等多個行業(yè)得到了廣泛應用。然而,PP的表面能較低,使其在粘附、潤濕和涂覆性能方面表現(xiàn)不佳,限制了其應用領域。為了解決這一問題研究人員采用了等離子清洗機明顯提升了PP材料的活性。等離子清洗機增強PP材料聚丙烯材料的活性特性主要通過以下幾個關鍵途徑:改變表面結構:等離子體中的高能粒子轟擊PP材料表面,使其表面微觀結構發(fā)生變化,增加表面粗糙度和比表面積,有利于后續(xù)的加工處理中與其他物質(zhì)更好地結合,例如在粘接工藝中,粗糙表面能提供更多的機械嵌合位點,增強粘接強度。例如,表面粗糙度可能從原來的微觀平滑狀態(tài)提升數(shù)倍甚至更高,具體數(shù)值因處理條件而異。天津plasma等離子清洗機技術參數(shù)等離子體處理可以解決TPE噴漆附著困難的問題。
大氣射流等離子清洗機結構簡單,安裝方便,可對塑料、橡膠、金屬、玻璃、陶瓷、紙質(zhì)等材料進行表面處理,已經(jīng)廣泛應用于印刷、包裝、電子、汽車等行業(yè)。大氣射流等離子清洗機分為大氣射流直噴式等離子清洗機和大氣射流旋轉(zhuǎn)式等離子清洗機。大氣射流直噴式等離子清洗機射出的等離子體能量集中,溫度偏高,比較適合處理點狀和線狀,對溫度不是非常敏感的材料表面,根據(jù)其噴頭大小可以處理的寬度為2-15mm。大氣射流旋轉(zhuǎn)式等離子清洗機射出的等離子體比較分散,溫度適中,比較適合處理面狀,對溫度有點敏感的材料表面,根據(jù)其旋轉(zhuǎn)噴頭大小可以處理的寬度為20-90mm。
等離子清洗機(plasmacleaner)是高科技的一款表面處理設備,通過等離子體來達到表面處理的作用;獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應用,解決各種行業(yè)的表面處理難題。1、等離子清洗機原理密閉的反應腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個標準大氣壓下降到設定的壓力值并維持真空度;通入氬、氫、氮氣等工藝氣體,啟動等離子發(fā)生器,讓反應腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場,使得自由電子能量加速,去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體,具有高反應活性或高能量的等離子體,會與有機污染物及微顆粒污染物反應、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì),這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去,從而達到被處理對象表面清潔、活化等目的。等離子清洗機對所處理的材料無嚴格要求,無論是金屬、半導體、氧化物,都能進行良好的處理。
等離子體作為物質(zhì)的第四種形態(tài),立于固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外。當氣體被加熱至高溫狀態(tài)時,分子會裂解為陽離子和游離的電子,進而形成一種帶電的氣體狀態(tài)。等離子體具備極高的能量與反應活性,能夠在相對較低的溫度下與物質(zhì)發(fā)生化學反應,正因如此,它在眾多工業(yè)領域中得以廣泛應用。清洗原理大氣等離子清洗機主要是通過將氣體(通常為空氣或者氮氣)引入高頻電場來促使等離子體的生成。這種等離子體能夠產(chǎn)生大量的活性物質(zhì),例如活性氧、氫原子以及其他自由基等。這些活性物質(zhì)能夠切實有效地處理材料表面的污染物,像油脂、灰塵以及有機物等。整個清洗過程無需借助化學溶劑,既實現(xiàn)了對環(huán)境的保護,又規(guī)避了化學藥劑可能對物品造成的損害。等離子清洗機用于汽車、芯片制造、顯示等行業(yè)。遼寧真空等離子清洗機服務電話
封裝過程中的污染物,可以通過等離子清洗機處理。重慶低溫等離子清洗機廠商
等離子清洗是一種環(huán)保工藝,由于采用電能催化反應,同時利用低溫等離子體的特性,可以提供一個低溫環(huán)境,排除了濕式化學清洗所產(chǎn)生的危險和廢液,安全、可靠、環(huán)保。與傳統(tǒng)的溶劑清洗不同,等離子清洗無需水及溶劑添加,依靠等離子體的“活化作用”達到清洗材料表面的目的,清洗效果徹底并保證材料的表面及本體特性不受影響。等離子清洗技術容易實現(xiàn)智能化控制,可裝配高精度的控制裝置,控制時間,及等離子強度。更重要的是,等離子清洗技術不分處理對象的材料類型,對半導體、金屬和大多數(shù)高分子材料均有很好的處理效果,可實現(xiàn)整體和局部以及復雜結構的精密清洗。重慶低溫等離子清洗機廠商