隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn),以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個(gè)芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機(jī)械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點(diǎn)膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進(jìn)行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點(diǎn)膠質(zhì)量的同時(shí)可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。大氣射流等離子清洗機(jī)?分為大氣射流直噴式等離子清洗機(jī)和大氣射流旋轉(zhuǎn)式等離子清洗機(jī)。天津sindin等離子清洗機(jī)推薦廠家
等離子清洗機(jī)在IC封裝中的應(yīng)用:塑封固化前:IC封裝的注環(huán)氧樹脂過程中,污染物的存在還會(huì)導(dǎo)致氣泡的形成,氣泡會(huì)使芯片容易在溫度變化中損壞,降低芯片的使用壽命。所以,避免塑封過程中形成氣泡同樣是需解決的問題。芯片與基板在等離子清洗后會(huì)更加緊密地和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將減少,同時(shí)也可以顯著提高元件的特性,引線鍵合前:芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫固化,如果這時(shí)上面存在污染物,這些氧化物會(huì)使引線與芯片及基板之間焊接效果不完全或黏附性差,影響鍵合強(qiáng)度。等離子清洗運(yùn)用在引線鍵合前,會(huì)顯著提高其表面活性,從而提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。在IC封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會(huì)降低產(chǎn)品質(zhì)量,如果在封裝工藝過程中的裝片前引線鍵合前及塑封固化前進(jìn)行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。山西晟鼎等離子清洗機(jī)生產(chǎn)企業(yè)等離子體可以實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
大氣等離子清洗機(jī)為什么在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候不會(huì)噴火?工作環(huán)境與條件的影響:在旋轉(zhuǎn)過程中,大氣等離子清洗機(jī)與周圍的氣體環(huán)境會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)烈的相互作用。盡管等離子體能夠達(dá)到較高的溫度,但其形成和維持需要特定的條件。當(dāng)設(shè)備旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體流動(dòng)速度加快,使得氣體變得更為稀薄,進(jìn)而降低了等離子體的密度。同時(shí),氣流的干擾也會(huì)對(duì)等離子體的穩(wěn)定性造成影響,因此無法產(chǎn)生肉眼可見的火焰。能量釋放與熱量管控:火焰的形成通常是可燃物與氧氣迅速反應(yīng)的產(chǎn)物。在大氣等離子清洗機(jī)的工作過程中,盡管等離子體中存在一些高能的自由電子和離子,但它們并不具備形成火焰的條件。等離子體的高溫是在局部區(qū)域顯現(xiàn),其能量釋放發(fā)生在微觀層面,并不會(huì)表現(xiàn)為可見的火焰。并且,設(shè)備的設(shè)計(jì)通常會(huì)充分考慮熱量的管理問題,以確保在運(yùn)行過程中不會(huì)產(chǎn)生過多的熱量,從而有效地控制了火焰的產(chǎn)生。設(shè)計(jì)工藝與材料的精心挑選:大氣等離子清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和材料選擇至關(guān)重要?,F(xiàn)代清洗機(jī)一般會(huì)選用耐高溫和耐腐蝕的材料,以確保在高能環(huán)境下能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,而不會(huì)燃燒或者釋放有害物質(zhì)。此外,設(shè)備內(nèi)部的流體動(dòng)力學(xué)設(shè)計(jì)能夠有效地引導(dǎo)等離子體的生成,避免局部溫度過高,進(jìn)而降低了火焰產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。
等離子清洗機(jī)的工作原理基于等離子體技術(shù),即在真空室內(nèi)通過放電產(chǎn)生等離子體,利用等離子體中的高能粒子和自由基等活性物質(zhì)對(duì)樣品表面進(jìn)行清洗和改性。等離子體是由氣體分子在高能電場(chǎng)下電離而形成的一種帶電粒子云體系,包含了大量的自由基、離子、電子等活性物質(zhì)。當(dāng)樣品置于等離子體中時(shí),這些活性物質(zhì)會(huì)與樣品表面發(fā)生反應(yīng),從而清理表面污垢和有機(jī)物,并在表面形成一層新的化學(xué)官能團(tuán),實(shí)現(xiàn)表面改性。相比傳統(tǒng)的化學(xué)清洗方法,等離子清洗機(jī)具有干式清洗、無需化學(xué)溶劑、綠色環(huán)保、溫度低避免熱損傷等優(yōu)勢(shì),能夠在不損傷樣品表面的前提下,實(shí)現(xiàn)高效、徹底的清洗和改性。等離子清洗機(jī)處理后的時(shí)效性會(huì)因處理時(shí)間、氣體反應(yīng)類型、處理功率大小以及材料材質(zhì)的不同而有所差異。
塑料是以高分子聚合物為主要成分,添加不同輔料,如增塑劑、穩(wěn)定劑、潤(rùn)滑劑及色素等的材料,滿足塑料是以高分子聚合物為主要成分,人們?nèi)粘I畹亩鄻踊透黝I(lǐng)域的需求。因此需要對(duì)塑料表面的性質(zhì)如親水疏水性、導(dǎo)電性以及生物相容性等進(jìn)行改進(jìn),對(duì)塑料表面進(jìn)行改性處理。等離子體是物質(zhì)的第四態(tài),是由克魯克斯在1879年發(fā)現(xiàn),并在1928年由Langmuir將“plasma”一詞引入物理學(xué)中,用于表示放電管中存在的物質(zhì)。根據(jù)其溫度分布不同,等離子體通??煞譃楦邷氐入x子體和低溫等離子體(LTP),低溫等離子體的氣體溫度要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于電子溫度,使其在材料表面處理領(lǐng)域具有極大的競(jìng)爭(zhēng)力。低溫等離子體等離子體的一種,主要成分為電中性氣體分子或原子,含有高能電子、正、負(fù)離子及活性自由基等,可用于破壞化學(xué)鍵并形成新鍵,實(shí)現(xiàn)材料的改性處理。并且,其電子溫度較高,而氣體溫度則可低至室溫,在實(shí)現(xiàn)對(duì)等離子體表面處理要求的同時(shí),不會(huì)影響材料基底的性質(zhì),適合于要求在低溫條件下處理的生物醫(yī)用材料。低溫等離子體可在常溫常壓下產(chǎn)生,實(shí)現(xiàn)條件簡(jiǎn)單、消耗能量小、對(duì)環(huán)境和儀器系統(tǒng)要求低,易于實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)及應(yīng)用。通過等離子體里面的各類活性粒子撞擊材料表面,從而提高材料表面的性能。江西plasma等離子清洗機(jī)答疑解惑
真空等離子清洗機(jī)是一種應(yīng)用于表面處理領(lǐng)域的高級(jí)清洗設(shè)備。天津sindin等離子清洗機(jī)推薦廠家
Plasma封裝等離子清洗機(jī),顧名思義,其主要在于利用等離子體(Plasma)這一高能態(tài)物質(zhì)對(duì)材料表面進(jìn)行深度清潔與改性。在真空環(huán)境下,通過高頻電場(chǎng)激發(fā)工藝氣體,使其電離形成等離子體。這些等離子體中的高能粒子、自由基等活性物質(zhì),能夠迅速與材料表面的污染物發(fā)生反應(yīng),將其分解為揮發(fā)性物質(zhì)并被真空泵抽走,從而實(shí)現(xiàn)表面的深度清潔。同時(shí),等離子體還能與材料表面分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng),引入新的官能團(tuán),實(shí)現(xiàn)表面改性。相比傳統(tǒng)清洗方法,Plasma封裝等離子清洗機(jī)具有無需化學(xué)溶劑、無廢水排放、環(huán)保節(jié)能、處理速度快、效果明顯等優(yōu)勢(shì)。天津sindin等離子清洗機(jī)推薦廠家