弘信新材生產(chǎn)的半導(dǎo)體外延片生長(zhǎng)的CVD石墨托盤采用德國(guó)進(jìn)口石墨,具有更好的穩(wěn)定性、更長(zhǎng)的使用壽命。還可根據(jù)客戶的要求定制,更好的為半導(dǎo)體廠商服務(wù)。
我司的石墨加工應(yīng)用:
1)用于LED外延片加工石墨頂板;
2)擋板結(jié)構(gòu)內(nèi)部晶片邊緣休息;
3)擋板與晶片襯底到兩個(gè)層次之間的互補(bǔ)關(guān)系;
4)保持擋板晶片襯底邊緣重合邊構(gòu)成充分循環(huán)。
功能:
1)較低的熱膨脹系數(shù)
2)thermak導(dǎo)電性更好
3)穩(wěn)定的化學(xué)perfermance
4)更好的耐蝕性
5)較強(qiáng)的導(dǎo)電性