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    所述控制器進行第二次減薄厚度確認操作；具體的，通過設(shè)置于所述第三沖洗區(qū)2的第二輔助厚度測量儀進行厚度檢測，從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作，當(dāng)所述減薄厚度未達到目標(biāo)厚度時，所述玻璃加工治具4可再次進入所述蝕刻區(qū)3內(nèi)進行減薄處理。所述主厚度測量儀32設(shè)置在其中對玻璃施加減薄處理的所述蝕刻區(qū)3中并且實時測量玻璃厚度，使得玻璃可更準(zhǔn)確地具有目標(biāo)厚度；所述輔助厚度測量儀設(shè)置在所述沖洗區(qū)2中，并且再次測量經(jīng)歷過減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在所述蝕刻區(qū)3中的所述主厚度測量儀32是否無法正確工作，并且使減薄玻璃的缺陷率降至；且所述輔助厚度測量儀可提前測量待經(jīng)歷減薄處理的玻璃的厚度，因此可以檢查設(shè)置在蝕刻區(qū)3中的主厚度測量儀32是否無法正確工作；所述第二輔助厚度測量儀設(shè)置在所述第三沖洗區(qū)2，從而在減薄后清洗終完成后，再次進行厚度檢測，從而檢測預(yù)從所述玻璃減薄生產(chǎn)線運出的玻璃是否符合標(biāo)準(zhǔn)，并進一步降低減薄玻璃的缺陷率。以上所述為本發(fā)明的較佳實施例，對本發(fā)明而言是說明性的，而非限制性的。本專業(yè)技術(shù)人員理解，在本發(fā)明權(quán)利要求所限定的精神和范圍內(nèi)可對其進行許多改變，修改，甚至等效，但都將落入本發(fā)明的保護范圍內(nèi)。減薄清洗劑采用獨特配方，提高工作效率。上海好用的減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合，鍵合時間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對待加工表面進行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對待加工表面進行機械研磨，來對待加工表面進行減薄?？蛇x地，本發(fā)明實施例中，s102和s103可以交替進行，也就是說，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力?；葜菪詢r比高的減薄用清洗劑價格減薄用清洗劑，助您實現(xiàn)精密加工，提升產(chǎn)品品質(zhì)。

    較佳的，所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū)，所述第二沖洗區(qū)設(shè)置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間，所述沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉(zhuǎn)換區(qū)之間，所述第三沖洗區(qū)設(shè)置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述沖洗區(qū)設(shè)置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區(qū)設(shè)置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置為可升降的折疊式結(jié)構(gòu)。較佳的，所述轉(zhuǎn)換區(qū)設(shè)置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術(shù)比較本發(fā)明的有益效果在于：1，本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現(xiàn)單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應(yīng)產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復(fù)移動使側(cè)支撐件與玻璃之間接觸點產(chǎn)生變化，從而避免所述側(cè)支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側(cè)支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題；3，本發(fā)明通過所述側(cè)支撐件的固定結(jié)構(gòu)，可實現(xiàn)所述側(cè)支撐件的位置調(diào)節(jié)，從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設(shè)置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。

    降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發(fā)明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定，因此，對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對待加工部件進行清洗；采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕，以將待加工部件與托盤分離。具體地，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例提供的方法，還包括：在磁轉(zhuǎn)子運行一段時間后，更換磁轉(zhuǎn)子。如磁轉(zhuǎn)子12工作1小時后，可以將磁轉(zhuǎn)子12更換為新的磁轉(zhuǎn)子，以使磁轉(zhuǎn)子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉(zhuǎn)子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言，由于其與實施例公開的方法相對應(yīng)，所以描述的比較簡單，相關(guān)之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。減薄清洗劑，輕松解決涂層過厚問題，讓您的產(chǎn)品更好。

    在本發(fā)明的一個實施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個實施例中，如圖3所示，磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨。當(dāng)然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實施例中，可以根據(jù)實際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀?？蛇x地，研磨層121為金屬氧化物層，進一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層。可選地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實施例中，如圖4所示，磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn)，如沿逆時針或順時針方向旋轉(zhuǎn)，并且，磁轉(zhuǎn)子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對整個待加工表面進行研磨。本發(fā)明實施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件?？刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作，以對待加工表面交替進行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作。可選地，控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm～200rpm。選擇減薄用清洗劑，為您的加工過程保駕護航。揚州國產(chǎn)減薄用清洗劑費用

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    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果，通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的，所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的，所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu)，即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳，所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間，兩所述叉腳在一端連接，兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大，兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度，限制玻璃兩對應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離，即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進行支撐限制時，玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙，從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運動，玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進行一定的位置移動，從而避免所述側(cè)支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置，使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運動的過程中，所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點發(fā)生變化，從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側(cè)支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋，若接觸點無法被噴淋，易造成玻璃的減薄缺陷。上海好用的減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨