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    來對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉子運行一段時間后，更換所述磁轉子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上。可選地，對所述待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后，還包括：對所述待加工部件進行清洗；采用特定溶液對所述光刻膠進行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明所提供的技術方案具有以下優(yōu)點：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光，采用磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨，來對所述待加工表面進行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉，因此，可以降低拋光減薄過程中對待加工部件如inp基晶圓的擠壓應力，降低待加工部件如inp基晶圓的機械加工損傷。附圖說明為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術中的技術方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。哪里可以買到玻璃清洗劑；無錫市面上哪家減薄用清洗劑費用

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    并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s，也就是說，控制磁轉子旋轉10s，控制磁轉子停止旋轉后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉子旋轉10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉子12，如磁轉子12工作1小時后，將磁轉子12更換為新的磁轉子，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。

    較佳的，所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū)，所述第二沖洗區(qū)設置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間，所述沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉換區(qū)之間，所述第三沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述沖洗區(qū)設置有輔助厚度測量儀。較佳的，所述第三沖洗區(qū)設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的，所述轉換區(qū)設置為可升降的折疊式結構。較佳的，所述轉換區(qū)設置有裝卸臂。與現(xiàn)有技術比較本發(fā)明的有益效果在于：1，本發(fā)明中所述玻璃減薄生產(chǎn)線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理，可實現(xiàn)單次多片玻璃減薄，同時避免浸泡式減薄法中反應產(chǎn)物粘附在玻璃上造成不良品的問題；2，本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產(chǎn)生變化，從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產(chǎn)生的不良次品問題；3，本發(fā)明通過所述側支撐件的固定結構，可實現(xiàn)所述側支撐件的位置調節(jié)，從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。好的減薄用清洗劑公司的標準是什么。

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