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    圖1為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖；圖5為本發(fā)明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發(fā)明的思想，為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。本發(fā)明實施例提供了一種拋光減薄裝置，用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄，如圖1所示，包括托盤10、噴頭11和磁轉子12，當然，本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等，托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中，托盤10，可選為石英托盤，用于固定待加工部件20，待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，以對待加工表面進行拋光。哪家公司的減薄用清洗劑的品質比較好？合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠

    用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預定部分并因此瞬時去除噴淋液，從而可得到更準確地玻璃厚度測量數據。一般的，所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值，所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產線還包括輔助厚度測量儀，所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區(qū)2中并用于再次測量經減薄處理后的玻璃厚度，所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發(fā)送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區(qū)3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷，所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區(qū)3中是否正常執(zhí)行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的，從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標厚度的公差范圍，則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區(qū)3中沒有正常執(zhí)行減薄處理。在這種情況下，所述控制器發(fā)出警報來通知管理者，所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區(qū)3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區(qū)3中的減薄處理異?？赡苁菚簳r的。廣東顯示面板用減薄用清洗劑什么價格專業(yè)減薄用清洗劑，為您解決生產中的涂層難題。

    在本發(fā)明的一個實施例中，拋光液110的主要成分包括：碳化硅顆粒，顆粒直徑為50nm～200nm，體積比為3％～5％；次氯酸鹽，體積比為30％～40％；氫溴酸，體積比為5％～7％，di水，體積比50～60％。本發(fā)明的一個實施例中，如圖3所示，磁轉子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結構120和位于柱狀磁性結構120的底部平面的研磨層121，以通過研磨層121對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨。當然，本發(fā)明并不僅限于此，在其他實施例中，可以根據實際需求選擇合適的磁轉子形狀?？蛇x地，研磨層121為金屬氧化物層，進一步可選地，金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實施例中，如圖4所示，磁轉子12沿箭頭所示方向旋轉，如沿逆時針或順時針方向旋轉，并且，磁轉子12的長度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑，以對整個待加工表面進行研磨。本發(fā)明實施例中，拋光減薄裝置還包括控制部件?？刂撇考c磁轉子12和噴頭11相連，用于控制噴頭11和磁轉子12交替工作，以對待加工表面交替進行拋光和減薄。其中，控制部件通過脈沖方式控制噴頭11和磁轉子12交替工作?？蛇x地，控制部件控制磁轉子12的轉速為80rpm～200rpm。

    若干所述側支撐件44固定設置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設置有至少兩個固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設置為矩形橫截面結構，便于所述固定板423端面的朝向定位；對應的，所述調節(jié)槽內設置有固定槽426，當所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設置于對應的所述固定槽426內時，設置有所述側支撐件44的端面對應所述豎直平板421上的所述側支撐件44，且設置所述側支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設置在所述底支撐件43的兩側，從而實現(xiàn)對所述盛放部內玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側板422上所述調節(jié)槽的一種實施方式為，所述調節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對應所述固定卡塊427設置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對應所述固定卡塊427的尺寸設置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內自由移動。在本實施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設置有所述側支撐件44，同一所述水平槽424多只設置一個所述固定卡塊427。減薄用清洗劑的適用人群有哪些？

    用于實現(xiàn)將所述玻璃加工治具從所述轉換區(qū)經所述沖洗區(qū)向所述蝕刻區(qū)的減薄前移動，以及從所述蝕刻區(qū)經所述沖洗區(qū)向所述轉換區(qū)的減薄后移動；所述沖洗區(qū)設置于所述轉換區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的，所述蝕刻區(qū)包括腔室、主厚度測量儀、噴淋組件和控制器；所述主厚度測量儀、所述噴淋組件設置于所述腔室上，所述噴淋組件在所述腔室中對設置于所述玻璃加工治具上的玻璃施加減薄處理，所述主厚度測量儀實時測量在所述腔室內經歷減薄處理的玻璃厚度；所述控制器與所述噴淋組件、所述主厚度測量儀、所述傳輸組件連接。較佳的，所述噴淋組件包括設置于所述腔室頂部的噴淋頭、設置于所述腔室底部的收集槽、以及與所述噴淋頭、所述收集槽均連通的外部噴淋液管路，通過所述噴淋頭對所述玻璃加工治具上的玻璃噴淋噴淋液從而實現(xiàn)玻璃的減薄處理，所述收集槽收集減薄處理后的噴淋液并傳輸至所述噴淋液管路從所述腔室內排出。較佳的，所述主厚度測量儀包括用于發(fā)射激光束的發(fā)射器、用于接收被玻璃反射光束的接收器以及用于分析所述接收器中接收光束并且計算玻璃厚度的分析器。較佳的，所述主厚度測量儀還包括空氣噴射器，用于將空氣噴射到玻璃表面，將被檢測部位暴露于所述發(fā)射器對應位置。選擇減薄用清洗劑，輕松應對各種涂層問題，提升工作效率。合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠

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    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應設置，所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432，所述支撐條431固定設置于所述底座41上，所述接觸部434均勻設置在所述第二支撐條432上。同時可通過設置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調節(jié)所述底支撐件43的高度，如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的，所述支撐條431和所述第二支撐條432上設置有磁性組，所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436，所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上，且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力，從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設置有限位孔437，所述限位孔437設置為腰型孔，所述支撐條431的水平兩側均設置有若干限位塊438，所述第二支撐條432的水平兩側均設置有若干第二限位塊439，所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應設置，對應設置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設置在同一所述連接部433的所述限位孔437內。合肥哪家減薄用清洗劑銷售廠