惠州哪里減薄用清洗劑主要作用

來源: 發(fā)布時間:2024-03-29

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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對待加工部件20的待加工表面進行機械研磨,對待加工表面進行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn),因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力,降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷??蛇x地,本發(fā)明實施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然,本發(fā)明并不限于此,在其他實施例中,待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進行鍵合固定?;诖?,如圖2所示,本發(fā)明實施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14,該熱板14設(shè)置在托盤10底部,用于對托盤10進行加熱,以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地,將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21,如az4620光刻膠,之后,將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上,將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件20上進行鍵合,鍵合時間20min。本發(fā)明實施例中,采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,來對待加工部件20的待加工表面進行拋光。需要說明的是。

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖;圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖;圖5為圖3中的局部放大圖;圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖;圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖;圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示:1-轉(zhuǎn)換區(qū);2-沖洗區(qū);3-蝕刻區(qū);4-玻璃加工治具;31-腔室;32-主厚度測量儀;33-噴淋組件;41-底座;42-支撐架;43-底支撐件;44-側(cè)支撐件;421-豎直平板;422-側(cè)板;423-固定板;424-水平槽;425-豎直槽;426-固定槽;427-固定卡塊;428-定位槽;429-定位孔;431-支撐條;432-第二支撐條;433-連接部;434-接觸部;435-磁性件;436-第二磁性件;437-限位孔;438-限位塊;439-第二限位塊。具體實施方式以下結(jié)合附圖,對本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示,圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖;本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3,所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間,豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中,在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。減薄清洗劑,讓您的產(chǎn)品更加精致,提升市場競爭力。

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    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對應(yīng)設(shè)置,所述連接部433活動連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時可通過設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度,如通過將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對應(yīng)設(shè)置,對應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)?;葜菽睦餃p薄用清洗劑主要作用