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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng)，所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器；當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的，在所述腔室31內(nèi)，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為～4s，來回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s～8s，往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃～40℃；在上述參數(shù)下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min，可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī)，所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的，通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x，進(jìn)行檢測(cè)厚度比較，從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3，所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。蘇州質(zhì)量好的減薄用清洗劑的公司。上海減薄用清洗劑廠家現(xiàn)貨

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    磁轉(zhuǎn)子12放置在待加工部件20的待加工表面上，用于通過旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件20如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中通過光刻膠鍵合固定待加工部件20和托盤10。當(dāng)然，本發(fā)明并不限于此，在其他實(shí)施例中，待加工部件20和托盤10還可以采用其他膠體進(jìn)行鍵合固定?；诖?，如圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括熱板14，該熱板14設(shè)置在托盤10底部，用于對(duì)托盤10進(jìn)行加熱，以使待加工部件20與托盤10鍵合固定。具體地，將待加工部件20背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，然后在托盤10表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠21，如az4620光刻膠，之后，將托盤10光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板14上，將待加工部件20光刻膠面和托盤10光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件20上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。本發(fā)明實(shí)施例中，采用噴頭11向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110，來對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行拋光。需要說明的是。哪家減薄用清洗劑的的性價(jià)比好？

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