南通清洗效果好的減薄用清洗劑訂做價(jià)格

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-21

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    所述支撐條431和所述第二支撐條432一一平行對(duì)應(yīng)設(shè)置,所述連接部433活動(dòng)連接所述支撐條431和所述第二支撐條432,所述支撐條431固定設(shè)置于所述底座41上,所述接觸部434均勻設(shè)置在所述第二支撐條432上。同時(shí)可通過(guò)設(shè)置所述支撐條431的高度或所述支撐條431的固定位置從而調(diào)節(jié)所述底支撐件43的高度,如通過(guò)將上述支撐條431的兩端固定在兩所述豎直平板421上。較佳的,所述支撐條431和所述第二支撐條432上設(shè)置有磁性組,所述支撐條431和所述第二支撐條432在所述磁性組提供的磁性斥力作用下具有調(diào)節(jié)間隙。所述磁性組包括磁性件435和第二磁性件436,所述磁性件435和所述第二磁性件436分別設(shè)置于所述支撐條431和所述第二支撐條432上,且所述磁性件435和所述第二磁性件436之間具有磁性斥力,從而使所述第二支撐條432懸浮于所述支撐條431的上方。所述連接部433設(shè)置有限位孔437,所述限位孔437設(shè)置為腰型孔,所述支撐條431的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干限位塊438,所述第二支撐條432的水平兩側(cè)均設(shè)置有若干第二限位塊439,所述限位塊438和所述第二限位塊439一一對(duì)應(yīng)設(shè)置,對(duì)應(yīng)設(shè)置的所述限位塊438和所述第二限位塊439均設(shè)置在同一所述連接部433的所述限位孔437內(nèi)。

    在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,拋光液110的主要成分包括:碳化硅顆粒,顆粒直徑為50nm~200nm,體積比為3%~5%;次氯酸鹽,體積比為30%~40%;氫溴酸,體積比為5%~7%,di水,體積比50~60%。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,如圖3所示,磁轉(zhuǎn)子12包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)120和位于柱狀磁性結(jié)構(gòu)120的底部平面的研磨層121,以通過(guò)研磨層121對(duì)待加工部件20的待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。當(dāng)然,本發(fā)明并不僅限于此,在其他實(shí)施例中,可以根據(jù)實(shí)際需求選擇合適的磁轉(zhuǎn)子形狀??蛇x地,研磨層121為金屬氧化物層,進(jìn)一步可選地,金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,研磨層121的厚度為10μm。本發(fā)明實(shí)施例中,如圖4所示,磁轉(zhuǎn)子12沿箭頭所示方向旋轉(zhuǎn),如沿逆時(shí)針或順時(shí)針?lè)较蛐D(zhuǎn),并且,磁轉(zhuǎn)子12的長(zhǎng)度近似等于待加工部件20如inp基晶圓的直徑,以對(duì)整個(gè)待加工表面進(jìn)行研磨。本發(fā)明實(shí)施例中,拋光減薄裝置還包括控制部件??刂撇考c磁轉(zhuǎn)子12和噴頭11相連,用于控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作,以對(duì)待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄。其中,控制部件通過(guò)脈沖方式控制噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12交替工作??蛇x地,控制部件控制磁轉(zhuǎn)子12的轉(zhuǎn)速為80rpm~200rpm。質(zhì)量比較好的減薄用清洗劑的公司找誰(shuí)?

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