安徽減薄用清洗劑按需定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-20

    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果,通過(guò)所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實(shí)現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的,所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的,所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu),即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳,所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對(duì)應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離,即當(dāng)玻璃通過(guò)兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時(shí),玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運(yùn)動(dòng),玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動(dòng),從而避免所述側(cè)支撐件44長(zhǎng)期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中,所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)發(fā)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點(diǎn)因所述側(cè)支撐件44的長(zhǎng)期接觸造成接觸點(diǎn)無(wú)法被噴淋液噴淋,若接觸點(diǎn)無(wú)法被噴淋,易造成玻璃的減薄缺陷。輕松去除過(guò)厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。安徽減薄用清洗劑按需定制

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    本發(fā)明涉及玻璃減薄技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種玻璃減薄設(shè)備。背景技術(shù):隨著便攜式電子器件的發(fā)展,手機(jī)、平板等便攜式電子器件越來(lái)越纖細(xì)化及薄型化,因此需要制造較薄的玻璃基板。為了制造較薄的玻璃基板,目前的采用的方法是浸泡式減薄法。用浸泡式減薄法減薄玻璃是將玻璃減薄液放入玻璃減薄設(shè)備的反應(yīng)槽中,然后將玻璃放入玻璃減薄液中放置一定時(shí)間,使玻璃減薄液與玻璃反應(yīng),實(shí)現(xiàn)玻璃減薄。目前的浸泡式減薄法中,反應(yīng)產(chǎn)物會(huì)懸浮于玻璃減薄液中,然后再粘附在玻璃上,造成不良品;并且,這種方法容易造成蝕刻不均,導(dǎo)致進(jìn)行減薄后還需要進(jìn)行拋光處理,提高了制備成本。鑒于上述缺陷,本發(fā)明創(chuàng)作者經(jīng)過(guò)長(zhǎng)時(shí)間的研究和實(shí)踐終于獲得了本發(fā)明。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:為解決上述技術(shù)缺陷,本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于,提供一種玻璃減薄設(shè)備,包括蝕刻區(qū),用于對(duì)豎直容納在玻璃加工治具中的多個(gè)玻璃進(jìn)行減薄處理;沖洗區(qū),用于所述玻璃加工治具上的玻璃進(jìn)行減薄前清潔和減薄后清潔;轉(zhuǎn)換區(qū),用于待減薄處理的所述玻璃加工治具加載到所述沖洗區(qū)中,并將減薄處理后的所述玻璃加工治具從所述沖洗區(qū)卸載到外部;制動(dòng)組件。無(wú)錫玻璃用減薄用清洗劑訂做價(jià)格專業(yè)減薄用清洗劑,讓您的生產(chǎn)更高效,成本更低。

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    圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種托盤(pán)和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種磁轉(zhuǎn)子的結(jié)構(gòu)示意圖;圖4為本發(fā)明實(shí)施例提供一種磁轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)方式的示意圖;圖5為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實(shí)施方式以上是本發(fā)明的思想,為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明實(shí)施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對(duì)inp基晶圓等部件進(jìn)行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12,當(dāng)然,本發(fā)明實(shí)施例中的拋光減薄裝置還包括反應(yīng)室13等,托盤(pán)10、噴頭11和磁轉(zhuǎn)子12等在反應(yīng)室13內(nèi)進(jìn)行拋光和減薄反應(yīng)。其中,托盤(pán)10,可選為石英托盤(pán),用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光。

    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng),所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為~4s,來(lái)回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī),所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過(guò)設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x,進(jìn)行檢測(cè)厚度比較,從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí),所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。去除多余涂層,選擇減薄用清洗劑,效果好。

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    即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有一排所述固定板423,從而形成對(duì)應(yīng)設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部?jī)?nèi)放置有一排玻璃,可實(shí)現(xiàn)所述放置部結(jié)構(gòu)的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設(shè)置若干所述放置部以使各所述放置部對(duì)應(yīng)不同尺寸的玻璃。圖4為所述調(diào)節(jié)槽的另一種實(shí)施方式,所述調(diào)節(jié)槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設(shè)置有所述側(cè)支撐件44,同一所述水平槽424可設(shè)置兩個(gè)所述固定卡塊427,即兩所述側(cè)板422之間設(shè)置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對(duì)應(yīng)兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部?jī)?nèi)分割處兩個(gè)放置空間,從而在各所述放置部?jī)?nèi)可放置兩排玻璃,便于節(jié)省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設(shè)置于同一所述放置部?jī)?nèi)。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設(shè)置有至少兩個(gè)定位槽428,所述固定板423兩端設(shè)置有定位孔429,當(dāng)所述固定卡塊427設(shè)置于所述固定槽426內(nèi)時(shí),所述定位槽428和所述定位孔429位置對(duì)應(yīng);通過(guò)將螺釘穿過(guò)所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內(nèi)。安徽減薄用清洗劑按需定制