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    若干所述側(cè)支撐件44固定設(shè)置在所述固定板423的端面上；所述固定板423兩端均設(shè)置有至少兩個(gè)固定卡塊427，所述固定卡塊427一般設(shè)置為矩形橫截面結(jié)構(gòu)，便于所述固定板423端面的朝向定位；對(duì)應(yīng)的，所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)設(shè)置有固定槽426，當(dāng)所述固定板423兩端各自的兩所述固定卡塊427分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的所述固定槽426內(nèi)時(shí)，設(shè)置有所述側(cè)支撐件44的端面對(duì)應(yīng)所述豎直平板421上的所述側(cè)支撐件44，且設(shè)置所述側(cè)支撐件44的所述豎直平板421和所述固定板423設(shè)置在所述底支撐件43的兩側(cè)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)所述盛放部?jī)?nèi)玻璃的支撐限位。其中，如圖3所示，所述側(cè)板422上所述調(diào)節(jié)槽的一種實(shí)施方式為，所述調(diào)節(jié)槽包括若干水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的豎直槽425，所述固定槽426設(shè)置于所述水平槽424的下邊緣，所述固定槽426對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427設(shè)置為u型槽，從而便于固定所述固定卡塊427的擺放位置。所述水平槽424和所述豎直槽425的尺寸均對(duì)應(yīng)所述固定卡塊427的尺寸設(shè)置，使所述固定卡塊427可在所述水平槽424和所述豎直槽425內(nèi)自由移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，兩所述豎直平板421中一所述豎直平板421上設(shè)置有所述側(cè)支撐件44，同一所述水平槽424多只設(shè)置一個(gè)所述固定卡塊427。哪家減薄用清洗劑的是口碑推薦？安徽清洗效果好的減薄用清洗劑費(fèi)用

    產(chǎn)生不良次品；同時(shí)由于所述側(cè)支撐件44的移動(dòng)，可帶動(dòng)玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的，所述底座41和實(shí)施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔，所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實(shí)施例四所述支撐架42包括對(duì)應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體，所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上，所述架體包括平行對(duì)應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421，所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對(duì)應(yīng)兩側(cè)板422，所述架體和所述第二架體形成盛放部，玻璃設(shè)置在所述盛放部?jī)?nèi)；所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上，也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44，且所述側(cè)支撐件44對(duì)應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的，所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔，所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置；所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽，對(duì)應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423，所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對(duì)應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上，并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動(dòng)，從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。南京市面上哪家減薄用清洗劑銷售價(jià)格減薄用清洗劑的的概費(fèi)用是多少？

    將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地，將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠，如az4620光刻膠，然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠，如az4620光刻膠，之后，將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上，將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合，在2×10-2mabr真空下，施加1bar壓強(qiáng)于待加工部件上進(jìn)行鍵合，鍵合時(shí)間20min。s102：通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行拋光；s103：通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，本發(fā)明實(shí)施例中，s102和s103可以交替進(jìn)行，也就是說(shuō)，控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，控制磁轉(zhuǎn)子停止旋轉(zhuǎn)，并控制噴頭噴涂拋光液，停止噴涂拋光液后，再次控制磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，以此類推。本發(fā)明實(shí)施例中，通過磁轉(zhuǎn)子和噴頭交替工作，實(shí)現(xiàn)了減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個(gè)過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復(fù)度高，無(wú)粉塵污染，襯底減薄終厚度達(dá)到20μm，拋光面ra＜2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力。

    來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄?？蛇x地，還包括：在所述磁轉(zhuǎn)子運(yùn)行一段時(shí)間后，更換所述磁轉(zhuǎn)子?？蛇x地，將待加工部件固定在托盤上包括：采用光刻膠將所述待加工部件固定在所述托盤上?？蛇x地，對(duì)所述待加工部件的待加工表面進(jìn)行拋光和減薄之后，還包括：對(duì)所述待加工部件進(jìn)行清洗；采用特定溶液對(duì)所述光刻膠進(jìn)行腐蝕，以將所述待加工部件與所述托盤分離。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明所提供的拋光減薄裝置和拋光減薄方法，采用托盤固定待加工部件，采用噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行拋光，采用磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對(duì)待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨，來(lái)對(duì)所述待加工表面進(jìn)行減薄，由于減薄過程中待加工部件如inp基晶圓本身不旋轉(zhuǎn)，因此，可以降低拋光減薄過程中對(duì)待加工部件如inp基晶圓的擠壓應(yīng)力，降低待加工部件如inp基晶圓的機(jī)械加工損傷。附圖說(shuō)明為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。蘇州哪家公司的減薄用清洗劑的價(jià)格比較劃算？

    圖2為所述蝕刻區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結(jié)構(gòu)正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結(jié)構(gòu)正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結(jié)構(gòu)俯視圖；圖7為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)正視圖；圖8為所述底支撐件的結(jié)構(gòu)側(cè)視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉(zhuǎn)換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測(cè)量?jī)x；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側(cè)支撐件；421-豎直平板；422-側(cè)板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明上述的和另外的技術(shù)特征和優(yōu)點(diǎn)作更詳細(xì)的說(shuō)明。實(shí)施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設(shè)備的結(jié)構(gòu)視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設(shè)備包括轉(zhuǎn)換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設(shè)置于所述轉(zhuǎn)換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個(gè)玻璃通過所述轉(zhuǎn)換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進(jìn)行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經(jīng)歷減薄處理。什么地方需要使用 減薄用清洗劑。廣東市面上哪家減薄用清洗劑費(fèi)用是多少

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動(dòng)，所述主厚度測(cè)量?jī)x32測(cè)量玻璃厚度并且將關(guān)于測(cè)得厚度的信息實(shí)時(shí)發(fā)送到所述控制器；當(dāng)測(cè)得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動(dòng)。一般的，在所述腔室31內(nèi)，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中單程單向時(shí)間設(shè)置為～4s，來(lái)回往復(fù)一次時(shí)間設(shè)置為3s～8s，往復(fù)移動(dòng)幅度設(shè)置約為180mm左右；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃～40℃；在上述參數(shù)下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min，可有效實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃的整體減薄處理。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī)，所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作；具體的，通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測(cè)量?jī)x，進(jìn)行檢測(cè)厚度比較，從而實(shí)現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作，當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時(shí)，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3，所述玻璃加工治具4移動(dòng)至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。安徽清洗效果好的減薄用清洗劑費(fèi)用