臺州哪里減薄用清洗劑推薦廠家

來源: 發(fā)布時間:2024-03-07

    將待加工部件固定在托盤上包括:采用光刻膠將待加工部件固定在托盤上。具體地,將待加工部件背面噴涂厚度約為2μm的光刻膠,如az4620光刻膠,然后在托盤表面噴涂厚度約為3μm的光刻膠,如az4620光刻膠,之后,將托盤光刻膠面向上放于溫度為90℃的熱板上,將待加工部件光刻膠面和托盤光刻膠面貼合,在2×10-2mabr真空下,施加1bar壓強于待加工部件上進行鍵合,鍵合時間20min。s102:通過噴頭向待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對待加工表面進行拋光;s103:通過磁轉子旋轉對待加工表面進行機械研磨,來對待加工表面進行減薄??蛇x地,本發(fā)明實施例中,s102和s103可以交替進行,也就是說,控制磁轉子旋轉一段時間后,控制磁轉子停止旋轉,并控制噴頭噴涂拋光液,停止噴涂拋光液后,再次控制磁轉子旋轉,以此類推。本發(fā)明實施例中,通過磁轉子和噴頭交替工作,實現了減薄和拋光兩種工藝交替作用,使得減薄和拋光一體化完成,整個過程穩(wěn)定,速度快,控制性好,重復度高,無粉塵污染,襯底減薄終厚度達到20μm,拋光面ra<2nm。由于減薄過程中待加工部件20如inp基晶圓本身不旋轉,因此,可以降低拋光減薄過程中對待加工部件20如inp基晶圓的擠壓應力。減薄用清洗劑的類別一般有哪些?臺州哪里減薄用清洗劑推薦廠家

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    實現玻璃與噴淋液充分均勻接觸的同時,控制玻璃的擺動幅度,提高玻璃在減薄過程中的安全性。實施例六所述主厚度測量儀32與所述蝕刻區(qū)3的內壁相鄰,并且具有滑動結構以移動到豎直容納在所述玻璃加工治具4內的玻璃之中的靠外玻璃附近,從而便于對玻璃厚度進行檢測;具體的,在所述控制器的控制下,所述主厚度測量儀32通過向玻璃發(fā)射激光束來實時測量玻璃厚度并且在玻璃正經歷滑動處理的同時將關于測得厚度的信息發(fā)送到所述控制器;所述控制器實時將預設的目標厚度與從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度進行比較。如果確定從所述主厚度測量儀32接收的測得玻璃厚度達到目標厚度,則所述控制器停止減薄處理等操作,并且將所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。較佳的,所述主厚度測量儀32可包括:發(fā)射器,其用于發(fā)射激光束;接收器,其用于接收被玻璃反射的光束;以及分析器,其用于分析接收器中接收的光束并且計算玻璃厚度。所述主厚度測量儀32還可包括空氣噴射器,用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于從發(fā)射器發(fā)射的激光束的那部分。在通過發(fā)射器發(fā)射激光束之前,所述主厚度測量儀32控制所述空氣噴射器。

    較佳的,所述沖洗區(qū)包括沖洗區(qū)、第二沖洗區(qū)和第三沖洗區(qū),所述第二沖洗區(qū)設置于所述沖洗區(qū)和所述第三沖洗區(qū)之間,所述沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述轉換區(qū)之間,所述第三沖洗區(qū)設置于所述第二沖洗區(qū)和所述蝕刻區(qū)之間。較佳的,所述沖洗區(qū)設置有輔助厚度測量儀。較佳的,所述第三沖洗區(qū)設置有第二輔助厚度測量儀。較佳的,所述轉換區(qū)設置為可升降的折疊式結構。較佳的,所述轉換區(qū)設置有裝卸臂。與現有技術比較本發(fā)明的有益效果在于:1,本發(fā)明中所述玻璃減薄生產線采用噴淋減薄的方式對豎直容納在玻璃加工治具中的玻璃進行減薄處理,可實現單次多片玻璃減薄,同時避免浸泡式減薄法中反應產物粘附在玻璃上造成不良品的問題;2,本發(fā)明中所述玻璃加工治具在減薄處理時進行往復移動使側支撐件與玻璃之間接觸點產生變化,從而避免所述側支撐件與玻璃之間的接觸點因所述側支撐件的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋而產生的不良次品問題;3,本發(fā)明通過所述側支撐件的固定結構,可實現所述側支撐件的位置調節(jié),從而使玻璃加工治具適用于不同尺寸的玻璃并可將不同尺寸的玻璃同時設置于玻璃加工治具上同時進行減薄處理。附圖說明圖1為所述玻璃減薄設備的結構示意圖。哪家的減薄用清洗劑成本價比較低?

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