江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買

來源: 發(fā)布時間:2024-03-06

    本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種拋光減薄裝置,包括:托盤,用于固定待加工部件,所述待加工部件包括inp基晶圓;噴頭,用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,以對所述待加工表面進(jìn)行拋光;磁轉(zhuǎn)子,放置在所述待加工部件的待加工表面上,用于通過旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨,對所述待加工表面進(jìn)行減薄。可選地,還包括控制部件;所述控制部件與所述磁轉(zhuǎn)子和所述噴頭相連,用于控制所述噴頭和所述磁轉(zhuǎn)子交替工作,以對所述待加工表面交替進(jìn)行拋光和減薄??蛇x地,所述磁轉(zhuǎn)子包括截面為半圓形的柱狀磁性結(jié)構(gòu)和位于所述磁性結(jié)構(gòu)底部的研磨層,以通過所述研磨層對所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨??蛇x地,所述研磨層為金屬氧化物層,所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層??蛇x地,還包括:熱板,設(shè)置于所述托盤底部,用于對所述托盤進(jìn)行加熱,以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定??蛇x地,所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法,包括:將待加工部件固定在托盤上,所述待加工部件包括inp基晶圓;通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液,來對所述待加工表面進(jìn)行拋光;通過磁轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)對所述待加工表面進(jìn)行機(jī)械研磨。減薄清洗劑,助您輕松打造高精度產(chǎn)品,滿足客戶需求。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買

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    產(chǎn)生不良次品;同時由于所述側(cè)支撐件44的移動,可帶動玻璃在所述玻璃加工治具4上的擺動,從而實現(xiàn)玻璃與噴淋液的充分均勻接觸。較佳的,所述底座41和實施支撐架42上均設(shè)置有若干流通孔,所述流通孔便于所述玻璃加工治具4上的所述噴淋液流至所述收集槽內(nèi)。實施例四所述支撐架42包括對應(yīng)設(shè)置的架體和第二架體,所述架體和所述第二架體均固定設(shè)置在所述底座41上,所述架體包括平行對應(yīng)設(shè)置的兩豎直平板421,所述第二架體為與所述豎直平板421連接的對應(yīng)兩側(cè)板422,所述架體和所述第二架體形成盛放部,玻璃設(shè)置在所述盛放部內(nèi);所述側(cè)板422和所述豎直平板421可均固定設(shè)置于所述底座41上,也可相互固定連接形成穩(wěn)定的矩形框架。所述架體和所述第二架體均設(shè)置有若干所述側(cè)支撐件44,且所述側(cè)支撐件44對應(yīng)所述底支撐件43設(shè)置。較佳的,所述架體上固定設(shè)置有若干固定孔,所述側(cè)支撐件44可根據(jù)玻璃的具體尺寸在相應(yīng)所述固定孔上固定設(shè)置;所述第二架體上設(shè)置有調(diào)節(jié)槽,對應(yīng)所述調(diào)節(jié)槽還設(shè)置有固定板423,所述固定板423的兩端分別設(shè)置在對應(yīng)兩所述側(cè)板422的所述調(diào)節(jié)槽上,并可在所述調(diào)節(jié)槽內(nèi)調(diào)節(jié)移動,從而可使所述玻璃加工治具4適用于不同尺寸的玻璃放置。一般的。南通什么是減薄用清洗劑什么價格減薄清洗劑,輕松應(yīng)對各種涂層挑戰(zhàn),讓您的工作更輕松。

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    從而在玻璃側(cè)部提供支撐效果,通過所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44實現(xiàn)玻璃在所述玻璃加工治具4上的支撐穩(wěn)定效果。較佳的,所述底支撐件43和所述側(cè)支撐件44可均采用ptfe材質(zhì)。較佳的,所述側(cè)支撐件44設(shè)置為叉狀型結(jié)構(gòu),即所述側(cè)支撐件44包括兩叉腳,所述玻璃側(cè)邊邊緣設(shè)置于兩所述叉腳間,兩所述叉腳在一端連接,兩所述叉腳間距離從連接端向非連接端的方向逐漸增大,兩所述叉腳間的大距離大于玻璃的厚度,限制玻璃兩對應(yīng)側(cè)部邊緣的兩所述側(cè)支撐件44之間的水平距離大于玻璃兩側(cè)部邊緣之間的水平距離,即當(dāng)玻璃通過兩側(cè)的所述側(cè)支撐件44進(jìn)行支撐限制時,玻璃的兩側(cè)部邊緣在兩所述叉腳間空間內(nèi)均具有一定的調(diào)整間隙,從而在所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)往復(fù)運動,玻璃的兩側(cè)部邊緣相較于所述側(cè)支撐件44進(jìn)行一定的位置移動,從而避免所述側(cè)支撐件44長期于玻璃的同一位置接觸緊貼。所述側(cè)支撐件44的結(jié)構(gòu)設(shè)置,使所述玻璃加工治具4在所述腔室31內(nèi)沿直線往復(fù)運動的過程中,所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點發(fā)生變化,從而避免所述側(cè)支撐件44與玻璃之間的接觸點因所述側(cè)支撐件44的長期接觸造成接觸點無法被噴淋液噴淋,若接觸點無法被噴淋,易造成玻璃的減薄缺陷。

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內(nèi)作往復(fù)移動,所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關(guān)于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器;當(dāng)測得玻璃厚度達(dá)到預(yù)設(shè)目標(biāo)厚度時,所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理,并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。一般的,在所述腔室31內(nèi),減薄處理的具體工藝參數(shù)為:所述玻璃加工治具4的往復(fù)運動中單程單向時間設(shè)置為~4s,來回往復(fù)一次時間設(shè)置為3s~8s,往復(fù)移動幅度設(shè)置約為180mm左右;所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設(shè)置為1500lpm~2400lpm,在所述腔室31內(nèi)的酸蝕溫度一般設(shè)置為20℃~40℃;在上述參數(shù)下,玻璃的酸蝕速率一般在μm/min~μm/min,可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2,完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內(nèi)經(jīng)減薄后初清洗后待機(jī),所述控制器進(jìn)行次減薄厚度確認(rèn)操作;具體的,通過設(shè)置于所述沖洗區(qū)2內(nèi)的所述輔助厚度測量儀,進(jìn)行檢測厚度比較,從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認(rèn)操作,當(dāng)所述減薄厚度未達(dá)到目標(biāo)厚度時,所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內(nèi)進(jìn)行再次減薄處理。s3,所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進(jìn)行減薄后終清洗。江蘇哪家公司減薄用清洗劑哪里買