綿陽(yáng)銀蝕刻液蝕刻液

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-10-24

銅蝕刻液近期成為重要的微電子化學(xué)品產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于平板顯示、LED制造及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。隨著新技術(shù)的不斷進(jìn)步,對(duì)該蝕刻液也有了更高的要求。并且之前市場(chǎng)上的銅蝕刻液成分普遍存在含氟、硝酸或高濃度雙氧水的情況。在此基礎(chǔ)上我司自主進(jìn)行了無(wú)氟,無(wú)硝酸,低雙氧水濃度銅蝕刻液的研發(fā),并可兼容于不同CuMo鍍膜厚度之工藝。產(chǎn)品特點(diǎn):1.6%雙氧水濃度的銅蝕刻液lifetime可至7000ppm。2.末期銅蝕刻液工藝溫度(32)下可穩(wěn)定72H,常溫可穩(wěn)定120H;無(wú)暴沸現(xiàn)象。3.銅蝕刻液CD-Loss均一性良好,taper符合制程要求。4.銅蝕刻液可兼容MoCu結(jié)構(gòu)不同膜厚度的機(jī)種。蝕刻液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?綿陽(yáng)銀蝕刻液蝕刻液

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    以及一設(shè)置于基板下方的第二風(fēng)刀,其中***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀分別吹出一氣體至基板。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中蝕刻設(shè)備可進(jìn)一步設(shè)置有一噴灑裝置,噴灑裝置相對(duì)于風(fēng)刀裝置一端而設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)的另一端部。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中噴灑裝置噴灑一藥液至基板上。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中擋液板結(jié)構(gòu)與基板的垂直距離介于8mm至15mm之間。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中滾輪呈順時(shí)針?lè)较蜣D(zhuǎn)動(dòng),并帶動(dòng)基板由噴灑裝置下端部朝向風(fēng)刀裝置的***風(fēng)刀下端部的方向移動(dòng)。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中氣體遠(yuǎn)離***風(fēng)刀與第二風(fēng)刀的方向分別與基板的法線方向夾設(shè)有一第三夾角。如上所述的蝕刻設(shè)備,其中第三夾角介于20度至35度之間。再者,為了達(dá)到上述實(shí)施目的,本實(shí)用新型另研擬一種蝕刻方法,于一濕式蝕刻機(jī)的一槽體內(nèi)運(yùn)行;首先,設(shè)置一擋液板結(jié)構(gòu),其中擋液板結(jié)構(gòu)設(shè)置有復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔;接著,使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的輸送裝置輸送一基板,以經(jīng)過(guò)一噴灑裝置進(jìn)行一藥液噴灑;接續(xù),使用一設(shè)置于擋液板結(jié)構(gòu)下方的風(fēng)刀裝置對(duì)基板吹出一氣體,以使基板干燥;***,氣體經(jīng)由宣泄孔宣泄。如上所述的蝕刻方法。廣州BOE蝕刻液蝕刻液配方技術(shù)天馬微電子用哪家蝕刻液更多?

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    所述有機(jī)硫化合物具有作為還原劑及絡(luò)合劑(chelate)的效果。作為所述硫酮系化合物,例如可舉出硫脲、N-烷基硫脲、N,N-二烷基硫脲、N,N'-二烷基硫脲、N,N,N'-三烷基硫脲、N,N,N',N'-四烷基硫脲、N-苯基硫脲、N,N-二苯基硫脲、N,N'-二苯基硫脲及亞乙基硫脲等。烷基硫脲的烷基并無(wú)特別限制,推薦為碳數(shù)1至4的烷基。這些硫酮系化合物中,推薦使用選自由作為還原劑或絡(luò)合劑的效果及水溶性?xún)?yōu)異的硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。作為所述硫醚系化合物,例如可舉出甲硫氨酸、甲硫氨酸烷基酯鹽酸鹽、乙硫氨酸、2-羥基-4-(烷硫基)丁酸及3-(烷硫基)丙酸等。烷基的碳數(shù)并無(wú)特別限制,推薦為碳數(shù)1至4。另外,這些化合物的一部分也可經(jīng)取代為氫原子、羥基或氨基等其他基。這些硫醚系化合物中,推薦為使用選自由作為還原劑或絡(luò)合劑的效果優(yōu)異的甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所組成的群組中的至少一種。有機(jī)硫化合物的濃度并無(wú)特別限制,推薦為%至10重量%,更推薦為%至5重量%。在有機(jī)硫化合物的濃度小于%的情況下,無(wú)法獲得充分的還原性及絡(luò)合效果,有鈦的蝕刻速度變得不充分的傾向,若超過(guò)10重量%則有達(dá)到溶解極限的傾向。

    技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本實(shí)用新型的目的在于提供高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出密封性差,連接安裝步驟繁瑣的問(wèn)題。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:高蝕刻速率無(wú)殘留酸性鋁蝕刻液生產(chǎn)裝置,包括裝置主體、支撐腿、電源線和單片機(jī),所述裝置主體的底端固定連接有支撐腿,所述裝置主體的后面一側(cè)底部固定連接有電源線,所述裝置主體的一側(cè)中間部位固定連接有控制器,所述裝置主體的內(nèi)部底端一側(cè)固定連接有單片機(jī),所述裝置主體的頂部一端固定連接有去離子水儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部一側(cè)固定連接有磷酸儲(chǔ)罐,所述磷酸儲(chǔ)罐的底部固定連接有攪拌倉(cāng),所述攪拌倉(cāng)的內(nèi)部頂部固定連接有攪拌電機(jī),所述攪拌倉(cāng)的另一側(cè)頂部固定連接有醋酸儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部中間一側(cè)固定連接有硝酸儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部中間另一側(cè)固定連接有陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐,所述陰離子表面活性劑儲(chǔ)罐的另一側(cè)固定連接有聚氧乙烯型非離子表面活性劑儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部另一側(cè)固定連接有氯化鉀儲(chǔ)罐,所述裝置主體的頂部另一端固定連接有硝酸鉀儲(chǔ)罐,所述裝置主體的內(nèi)部中間部位固定連接有連接構(gòu)件。好的蝕刻液的標(biāo)準(zhǔn)是什么。

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    本發(fā)明涉及回收處理技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。背景技術(shù):廢銅蝕刻液含有可回收的金屬,所以需要進(jìn)行回收處理,目前通用的做法是,使用化學(xué)方法回收廢液內(nèi)的銅,或提煉成硫酸銅產(chǎn)品,工藝落后,銅回收不徹底,處理的經(jīng)濟(jì)效益不明顯,有二次污染污染物排放,一旦處理不當(dāng)往外排放,勢(shì)必對(duì)水體生態(tài)系統(tǒng)造成大的沖擊。市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境,也不能在回收結(jié)束后對(duì)裝置內(nèi)部進(jìn)行清理,為此,我們提出一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:本發(fā)明的目的在于提供一種廢銅蝕刻液的回收處理裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的市場(chǎng)上的廢銅蝕刻液的回收處理裝置只能簡(jiǎn)單的對(duì)蝕刻液進(jìn)行回收處理,不能對(duì)蝕刻液進(jìn)行循環(huán)電解,使得剩余蝕刻液中的銅離子轉(zhuǎn)化不充分,而且蝕刻液導(dǎo)入到電解池中會(huì)對(duì)電解池造成沖擊,進(jìn)而影響電解池的使用壽命,并且在回收處理中會(huì)產(chǎn)生有害氣體而影響空氣環(huán)境。蝕刻液的大概費(fèi)用大概是多少?成都ITO蝕刻液蝕刻液供應(yīng)商

銅蝕刻液的配方是什么?綿陽(yáng)銀蝕刻液蝕刻液

銅蝕刻液適用于印制版銅的蝕刻,蝕刻速度快。蝕刻速度達(dá)4~5um/min。廢液回收簡(jiǎn)單,用于印制板,線路板。本劑也可用于銅工藝品等的蝕刻。蝕刻后的板面平整而光亮。銅蝕刻液的反應(yīng)速度快、使用溫度低、溶液使用壽命長(zhǎng),后處理容易,對(duì)環(huán)境污染小。用于銅質(zhì)單面板,雙面板、首飾蝕刻,可以蝕刻出任意精美的形態(tài),有效提高蝕刻速度,節(jié)約人工水電。常常應(yīng)用于印刷線路板銅的蝕刻處理

1、蝕刻速度快,效率高。使用方便。蝕刻速度可達(dá)10微米/分鐘。2、可循環(huán)使用,無(wú)廢液排放。

1、藍(lán)色透明液體,有氣味。2、比重:1.10~1.13。3、PH值:10~11.0。

1、采用浸泡的方法即可,浸泡過(guò)程中要攪動(dòng)蝕刻液或移動(dòng)工件。蝕刻溫度為20~40℃,在通風(fēng)排氣處操作,操作時(shí)要蓋好蓋子。2、蝕刻時(shí)間可以根據(jù)蝕刻的深度確定。 綿陽(yáng)銀蝕刻液蝕刻液