南京銅鈦蝕刻液蝕刻液私人定做

來源: 發(fā)布時間:2023-08-01

一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法技術(shù)領(lǐng)域1.本技術(shù)涉及化學(xué)蝕刻技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。背景技術(shù):2.目前,電子器件的基板表面(例如顯示器件的陣列基板)通常帶有一定圖案的氧化銦錫(ito)膜,以便后續(xù)給電子器件可控通電。該ito膜通常通過化學(xué)蝕刻的方法蝕刻ito材料層形成。其中,對于多晶ito(p-ito)材料,所用蝕刻液主要包括硫酸系、王水系ito蝕刻液。王水系蝕刻液成本低,但其蝕刻速度快,蝕刻的角度難以控制,且容易對ito膜的下層金屬造成二次腐蝕。技術(shù)實現(xiàn)要素:3.有鑒于此,為克服目前存在的技術(shù)難題,本技術(shù)提供了一種ito蝕刻液及其制備方法、應(yīng)用方法。4.具體地,本技術(shù)首先方面提供了一種ito蝕刻液,所述ito蝕刻液包括以下重量份數(shù)的各組分:20-22份的鹽酸,6-7份的硝酸,0.5-3份的酸抑制劑,0.5-3份的表面活性劑,以及水;其中,所述酸抑制劑包括n,n-二異丙基乙胺、n,n-二異丙基乙醇胺中的至少一種;所述表面活性劑包括聚氧乙烯脂肪胺、聚氧乙烯脂肪二胺中的至少一種。5.通過對蝕刻液中硝酸及鹽酸的含量進行精確限定,以實現(xiàn)了對王水系蝕刻液蝕刻速度的初步調(diào)控,并在一定程度上實現(xiàn)了對蝕刻角度的控制(蝕刻角度小于35蝕刻液使用時要注意什么?南京銅鈦蝕刻液蝕刻液私人定做

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    以帶動該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請一并參閱圖8與圖9所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時,該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會往該復(fù)數(shù)個宣泄孔121流動,并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。上海江化微的蝕刻液蝕刻液私人定做哪家的蝕刻液價格比較低?

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    如前文所述,必須避免由該噴灑裝置50噴灑而出的藥液51滴入該基板20上而造成蝕刻不均的問題,因此,該復(fù)數(shù)個宣泄孔121的孔徑a0必須要足夠小,例如:孔徑a0小于3mm,即可因毛細現(xiàn)象的作用,亦即該水滴于該宣泄孔121孔洞內(nèi)的夾角θ等于該水滴與該第二擋板12的該上表面123所夾的接觸角θ4,而達到防止位于該第二擋板12的該上表面123的藥液51水滴經(jīng)由該復(fù)數(shù)個宣泄孔121滴下至該基板20上(如圖9所示)。再者,請再參閱圖10至圖12所示,為本實用新型蝕刻設(shè)備其二較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖、其三較佳實施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔與斜錐孔混合的態(tài)樣(如圖10所示),或是全部為斜錐孔的態(tài)樣(如圖11所示),其中該宣泄孔121具有一***壁面1211與一第二壁面1212,且該第二擋板12具有一下表面122,當該宣泄孔121為斜錐孔的態(tài)樣時,該***壁面1211與該下表面122的***夾角θ1不同于該第二壁面1212與該下表面122的第二夾角θ2,亦即該***壁面1211與該第二壁面1212可不互相平行,但應(yīng)避免該***夾角θ1與該第二夾角θ2差距過大而造成毛細現(xiàn)象破除;此外,當該宣泄孔121為斜錐孔態(tài)樣時。

    下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1是實施例一中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖2是實施例二中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖3是實施例三中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖4是實施例四中公開的儲存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖。具體實施方式下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。實施例一鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,包括混合罐、過濾器和數(shù)個小型的儲存罐,混合罐通過液管與過濾器連接,過濾器的出液口處安裝有氣動升降式出液管,每個儲存罐的進液口和出液口中安裝有一只單向液動閥,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,將過濾后的鋁蝕刻液注入儲存罐內(nèi)暫存。請參閱圖1,儲存罐10固定在一輛液壓升降式拖車20的頂部,在過濾器的下方設(shè)置地磅30,載有空儲存罐的拖車置于地磅上方,過濾器的出液管自動下行插入儲存罐的進液口中,當?shù)匕跛鶞y得的重量達到系統(tǒng)預(yù)設(shè)重量時,過濾器的出液管自動上行離開儲存罐。將裝滿的儲存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動至自動灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲存罐的出液口中便可將儲存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。拖車的底部具有滾輪21,即使?jié)L輪帶有剎車。維信諾用的哪家的蝕刻液?

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    使硝酸鉀儲罐21和其它儲罐的內(nèi)部形成一個密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進入儲罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個攪拌倉23中充分攪拌混合均勻,然后在第二個攪拌倉23中與硝酸充分攪拌混合均勻后,再進入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個攪拌倉23混合后再進入第四個攪拌倉23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個攪拌倉23中混合均勻,然后過濾后封裝,先檢查過濾板26進行更換或安裝,過濾部件9的內(nèi)部兩側(cè)嵌入連接有過濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進行過濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過濾板26過濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過過濾部件9將蝕刻液進行過濾,過濾部件9設(shè)置有一個,過濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過濾部件9能將制備出的蝕刻液進行過濾,且過濾部件9能將內(nèi)部的過濾板26進行拆卸更換,將過濾部件9的內(nèi)部進行清洗,在將過濾部件9進行連接安裝時,將滑動蓋24向外側(cè)滑動。銅蝕刻液的配方是什么?上海江化微的蝕刻液蝕刻液私人定做

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    上述硅烷系偶聯(lián)劑的選擇方法的特征在于,選擇上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)形態(tài)的分子量之后乘以。以下,通過實施例更加詳細地說明本發(fā)明。但是,以下的實施例用于更加具體地說明本發(fā)明,本發(fā)明的范圍并不受以下實施例的限定。實施例和比較例的蝕刻液組合物的制造參照以下表1(重量%),制造實施例和比較例的蝕刻液組合物。[表1]參照以下表2和圖5,利用實施例和比較例的蝕刻液組合物,對于包含作為氧化物膜sio2和作為上述氧化物膜上的氮化物膜sin的膜的、總厚度的膜進行如下處理。在160℃用硅烷系偶聯(lián)劑%對上述膜處理10,000秒的情況下,可以確認到,aeff值與蝕刻程度(etchingamount,e/a)呈線性相互關(guān)系。具體而言,可以判斷,作為硅烷系偶聯(lián)劑,包含aeff值處于~14的蝕刻程度(etchingamount,e/a)優(yōu)異,從而阻止氧化物膜損傷不良和因副反應(yīng)氧化物的殘留時間變長而氮化物膜未被完全去除的不良的效果優(yōu)異。另一方面,可以判斷,作為硅烷系偶聯(lián)劑,包含aeff值不處于~11的蝕刻程度不佳,從而發(fā)生氧化物膜損傷不良。[表2]例如,參照以下表3,包含雙。南京銅鈦蝕刻液蝕刻液私人定做

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