無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液批量定制

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2023-04-24

    下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。圖1是實(shí)施例一中公開的儲(chǔ)存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖2是實(shí)施例二中公開的儲(chǔ)存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖3是實(shí)施例三中公開的儲(chǔ)存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖;圖4是實(shí)施例四中公開的儲(chǔ)存罐與拖車的安裝結(jié)構(gòu)圖。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。實(shí)施例一鋁蝕刻液生產(chǎn)設(shè)備,包括混合罐、過(guò)濾器和數(shù)個(gè)小型的儲(chǔ)存罐,混合罐通過(guò)液管與過(guò)濾器連接,過(guò)濾器的出液口處安裝有氣動(dòng)升降式出液管,每個(gè)儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口和出液口中安裝有一只單向液動(dòng)閥,過(guò)濾器的出液管自動(dòng)下行插入儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口中,將過(guò)濾后的鋁蝕刻液注入儲(chǔ)存罐內(nèi)暫存。請(qǐng)參閱圖1,儲(chǔ)存罐10固定在一輛液壓升降式拖車20的頂部,在過(guò)濾器的下方設(shè)置地磅30,載有空儲(chǔ)存罐的拖車置于地磅上方,過(guò)濾器的出液管自動(dòng)下行插入儲(chǔ)存罐的進(jìn)液口中,當(dāng)?shù)匕跛鶞y(cè)得的重量達(dá)到系統(tǒng)預(yù)設(shè)重量時(shí),過(guò)濾器的出液管自動(dòng)上行離開儲(chǔ)存罐。將裝滿的儲(chǔ)存罐從鋁蝕刻液生產(chǎn)車間移動(dòng)至自動(dòng)灌裝車間中,將灌裝頭的快速接頭插入儲(chǔ)存罐的出液口中便可將儲(chǔ)存罐內(nèi)的鋁蝕刻液分裝。拖車的底部具有滾輪21,即使?jié)L輪帶有剎車。蝕刻液的的性價(jià)比、質(zhì)量哪家比較好?無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液批量定制

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    使硝酸鉀儲(chǔ)罐21和其它儲(chǔ)罐的內(nèi)部形成一個(gè)密閉的空間,避免環(huán)境外部的雜質(zhì)進(jìn)入儲(chǔ)罐內(nèi),有效的提高了裝置使用的密封性;緊接著,將磷酸與醋酸在個(gè)攪拌倉(cāng)23中充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆?,然后在第二個(gè)攪拌倉(cāng)23中與硝酸充分?jǐn)嚢杌旌暇鶆蚝螅龠M(jìn)入配料罐中混合,將陰離子表面活性劑和聚氧乙烯型非離子表面活性劑在第三個(gè)攪拌倉(cāng)23混合后再進(jìn)入第四個(gè)攪拌倉(cāng)23中,與氯化鉀、硝酸鉀、去離子水一起在第四個(gè)攪拌倉(cāng)23中混合均勻,然后過(guò)濾后封裝,先檢查過(guò)濾板26進(jìn)行更換或安裝,過(guò)濾部件9的內(nèi)部?jī)蓚?cè)嵌入連接有過(guò)濾板26,常規(guī)的生產(chǎn)方法是將蝕刻液中的各組份在同一容器中一起混合,其分散混合性能差,蝕刻液雜質(zhì)含量多,過(guò)濾板26能將蝕刻液內(nèi)部的雜質(zhì)進(jìn)行過(guò)濾,使制備出的蝕刻液的雜質(zhì)被過(guò)濾板26過(guò)濾出,得到不含雜質(zhì)的蝕刻液,避免多種強(qiáng)酸直接共混有效的減小了蝕刻液制備的安全隱患;,通過(guò)過(guò)濾部件9將蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾,過(guò)濾部件9設(shè)置有一個(gè),過(guò)濾部件9設(shè)置在連接構(gòu)件11的內(nèi)側(cè),過(guò)濾部件9與連接構(gòu)件11固定連接,過(guò)濾部件9能將制備出的蝕刻液進(jìn)行過(guò)濾,且過(guò)濾部件9能將內(nèi)部的過(guò)濾板26進(jìn)行拆卸更換,將過(guò)濾部件9的內(nèi)部進(jìn)行清洗,在將過(guò)濾部件9進(jìn)行連接安裝時(shí),將滑動(dòng)蓋24向外側(cè)滑動(dòng)。無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液批量定制友達(dá)光電用的哪家的蝕刻液?

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    可以維持合適的蝕刻速度且提高sin/sio2選擇比。(b)硅烷系偶聯(lián)劑本發(fā)明的蝕刻液組合物中所包含的上述硅烷(silane)系偶聯(lián)劑作為防蝕劑可以在防止包含氧化物膜和氮化物膜的膜中的氧化物膜被上述磷酸氧化時(shí)使用。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦使上述硅烷系偶聯(lián)劑的反應(yīng)位點(diǎn)(activesite)的數(shù)量除以上述硅烷系偶聯(lián)劑的水解(hydrolysis)了的形態(tài)的分子量之后乘以,更推薦滿足。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦按照蝕刻液組合物的蝕刻程度(etchingamount,e/a)滿足以上以下的范圍的濃度來(lái)添加。上述硅烷系偶聯(lián)劑推薦為選自由原硅酸四乙酯(tetraethylorthosilicate)、雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷(bis(triethoxysilyl)methane)、雙(三乙氧基甲硅烷基)乙烷(bis(triethoxysilyl)ethane)、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇((triethoxysilyl)methanol)和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷((triethoxysilyl)methane)組成的組中的一種以上,更推薦為選自由雙(三乙氧基甲硅烷基)甲烷、(三乙氧基甲硅烷基)甲醇和(三乙氧基甲硅烷基)甲烷組成的組中的一種以上,**推薦為(三乙氧基甲硅烷基)甲烷和/或(三乙氧基甲硅烷基)甲醇。相對(duì)于組合物總重量,上述硅烷系偶聯(lián)劑的含量為~10重量%,推薦為~%。

    本發(fā)明涉及一種用來(lái)在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦的蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法。背景技術(shù):以往,在蝕刻鈦時(shí)一直使用含有氫氟酸或過(guò)氧化氫的蝕刻液。例如專利文獻(xiàn)1中提出了一種鈦的蝕刻液,該鈦的蝕刻液是用來(lái)在銅或鋁的存在下蝕刻鈦,并且該蝕刻液的特征在于:利用由10重量%至40重量%的過(guò)氧化氫、%至5重量%的磷酸、%至%的膦酸系化合物及氨所構(gòu)成的水溶液將pH值調(diào)整為7至9。但是,含有氫氟酸的蝕刻液存在毒性高的問題,含有過(guò)氧化氫的蝕刻液存在缺乏保存穩(wěn)定性的問題?,F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1:日本特許第4471094號(hào)說(shuō)明書。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:發(fā)明所要解決的問題本發(fā)明是鑒于所述實(shí)際情況而成,其目的在于提供一種蝕刻液及使用該蝕刻液的蝕刻方法,所述蝕刻液可在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦,而且毒性低,保存穩(wěn)定性優(yōu)異。解決問題的技術(shù)手段本發(fā)明的蝕刻液是為了在銅的存在下選擇性地蝕刻鈦而使用,并且含有:選自由硫酸、鹽酸及三氯乙酸所組成的群組中的至少一種酸;以及選自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所組成的群組中的至少一種有機(jī)硫化合物。所述硫酮系化合物推薦為選自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所組成的群組中的至少一種。蝕刻液的價(jià)格哪家比較優(yōu)惠?

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    所述液位計(jì)連接有液相氣相溫度傳感器和壓力傳感器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)視鏡。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位計(jì)安裝于所述分離器的外表面。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述液位開關(guān)為控制閥,設(shè)置于所述濾液出口處。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述加熱器為盤管式加熱器。在其中一個(gè)實(shí)施例中,所述分離器底部為錐體形狀。上述,利用加熱器對(duì)含銅蝕刻液進(jìn)行加熱,使其達(dá)到閃蒸要求的溫度,將加熱好的含銅蝕刻液輸送至分離器,經(jīng)過(guò)減壓閥及真空泵減壓,含銅蝕刻液在分離器內(nèi)發(fā)生閃蒸,產(chǎn)生大量蒸汽,蒸汽中攜帶著大小不等的液滴,通過(guò)除霧組件和除沫組件可以防止大液滴從蒸汽出口飛出,減小產(chǎn)品損失。附圖說(shuō)明圖1是本實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)施例的外觀示意圖。圖中:1、液體入口;2、濾液出口;3、除霧組件;4、除沫組件;5、蒸汽出口;6、液相氣相溫度傳感器;7、液位計(jì);8、壓力傳感器;9、液位開關(guān);10、視鏡;11、加熱器;12、減壓閥;13、真空泵。具體實(shí)施方式在一個(gè)實(shí)施例中,如圖1所示,一種含銅蝕刻液氣液分離裝置,包括分離器及加熱器11,所述分離器設(shè)有液體入口1、蒸汽出口5及濾液出口2,所述液體入口1用于將加熱器11產(chǎn)生的液體輸入至分離器中。什么制程中需要使用蝕刻液。安慶鋁鉬鋁蝕刻液蝕刻液

蝕刻液的主要成分是什么?無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液批量定制

    以帶動(dòng)該基板20由該噴灑裝置50下端部朝向該風(fēng)刀裝置40的該***風(fēng)刀41下端部的方向移動(dòng)。該風(fēng)刀裝置40設(shè)置于該擋液板結(jié)構(gòu)10的一端部,該風(fēng)刀裝置40包括有一設(shè)置于該基板20上方的***風(fēng)刀41,以及一設(shè)置于該基板20下方的第二風(fēng)刀42,其中該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42分別吹出一氣體43至該基板20,以將該基板20上的一藥液51帶往與相反于該基板20的行進(jìn)方向,以使該基板20上該藥液51減少,其中該氣體43遠(yuǎn)離該***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42的方向分別與該基板20的法線方向夾設(shè)有一第三夾角θ3,且該第三夾角θ3介于20度至35度之間。此外,請(qǐng)一并參閱圖8與圖9所示,為本實(shí)用新型蝕刻設(shè)備其一較佳實(shí)施例的擋液板結(jié)構(gòu)結(jié)合風(fēng)刀裝置示意圖,以及宣泄孔的表面張力局部放大圖,其中該宣泄孔121為直通孔的態(tài)樣,當(dāng)該風(fēng)刀裝置40的***風(fēng)刀41與該第二風(fēng)刀42為了減少該基板(本圖式未標(biāo)示)上所殘留的藥液51而吹出該氣體43時(shí),該氣體43碰到該擋液板結(jié)構(gòu)10后部分會(huì)往該復(fù)數(shù)個(gè)宣泄孔121流動(dòng),并朝向該第二擋板12的該上表面123宣泄而出(如圖8所示),除了保有原有擋液板的防止該藥液51噴濺而造成的蝕刻不均現(xiàn)象,亦可達(dá)到以破真空的原理避免該氣體43在該基板20附近形成渦流而造成真空吸引問題;此外。無(wú)錫哪家蝕刻液蝕刻液批量定制

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