7.反向電壓通電系統(tǒng)：反向電壓通電系統(tǒng)是用于在檢測(cè)過程中對(duì)硅片施加反向電壓的子系統(tǒng)。通過精確的控制電路和電源管理技術(shù)，該系統(tǒng)能夠確保硅片表面受到適當(dāng)?shù)姆聪螂妷鹤饔?。這有助于促進(jìn)表面電荷的分布和檢測(cè)，提高檢測(cè)的敏感度和準(zhǔn)確性。同時(shí)，該系統(tǒng)還配備了安全保護(hù)功能，以確保硅片的安全和穩(wěn)定檢測(cè)。
8.激光標(biāo)記圖形編輯軟件系統(tǒng)：激光標(biāo)記圖形編輯軟件系統(tǒng)是用于編輯和生成激光標(biāo)記圖形的軟件子系統(tǒng)。用戶可以通過該軟件系統(tǒng)進(jìn)行圖形設(shè)計(jì)、編輯和預(yù)覽等操作。它提供了豐富的圖形庫和編輯工具，使用戶能夠輕松地創(chuàng)建各種復(fù)雜的標(biāo)記圖形。同時(shí)，該軟件還支持多種文件格式的導(dǎo)入和導(dǎo)出，方便用戶與其他設(shè)計(jì)軟件的協(xié)同工作。 激光器處于關(guān)閉狀態(tài)；當(dāng)安全?保護(hù)開關(guān) 關(guān)閉時(shí)，設(shè)備處于正常生產(chǎn)運(yùn)行狀態(tài)。山西金屬化增強(qiáng)輔助燒結(jié)
9.設(shè)備基座及配套結(jié)構(gòu)：設(shè)備基座是整個(gè)設(shè)備的支撐結(jié)構(gòu)，采用堅(jiān)固耐用的材料制造而成。它能夠承受設(shè)備的重量和振動(dòng)等負(fù)載，確保設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。同時(shí)，設(shè)備基座還配備了各種接口和連接件，方便用戶進(jìn)行電源、控制信號(hào)和數(shù)據(jù)傳輸?shù)冗B接操作。配套結(jié)構(gòu)包括各種傳感器、驅(qū)動(dòng)器、連接件和輔助裝置等部分，它們共同協(xié)作以實(shí)現(xiàn)設(shè)備的正常運(yùn)作。這些傳感器用于監(jiān)測(cè)設(shè)備的狀態(tài)和性能參數(shù)；驅(qū)動(dòng)器則用于控制設(shè)備的運(yùn)動(dòng)部件；連接件和輔助裝置則提供各種輔助功能，如散熱、防塵等。這些部分都經(jīng)過精心設(shè)計(jì)和制造，以確保設(shè)備的可靠性和持久性。爐后輔助燒結(jié)設(shè)備采用料片堆疊方式，緩存燒結(jié)來料硅片。
激光器采用海目星自主研發(fā)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的激光器，是該硅片檢測(cè)設(shè)備的重要組件之一。這款激光器在硅片檢測(cè)過程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用，其性能和參數(shù)直接影響到檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。
首先，激光器的功率穩(wěn)定性是至關(guān)重要的參數(shù)之一。功率穩(wěn)定性的高低直接決定了激光束的輸出質(zhì)量和穩(wěn)定性，進(jìn)而影響硅片的檢測(cè)精度和重復(fù)性。該激光器的功率穩(wěn)定性≤3%，這意味著它在長時(shí)間運(yùn)行過程中能夠保持相對(duì)穩(wěn)定的輸出功率，確保硅片檢測(cè)的一致性和可靠性。
主機(jī)是整個(gè)硅片檢測(cè)設(shè)備中的重要部分，它負(fù)責(zé)了硅片的輸送、緩存、上下料、CCD定位、激光標(biāo)記、通反向電源等功能，是實(shí)現(xiàn)高效、精確和可靠的硅片檢測(cè)的關(guān)鍵。
首先，硅片輸送模組是主機(jī)中的重要組成部分，其主要功能是平穩(wěn)輕柔地將硅片從初始位置輸送到緩存機(jī)構(gòu)和加工位中。這個(gè)模組采用了皮帶輸送裝置，通過步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，配合聚氨酯定制皮帶以及主從動(dòng)輪，確保硅片在運(yùn)輸過程中的穩(wěn)定性和快速性。皮帶輸送裝置的設(shè)計(jì)考慮到了硅片的脆弱性和精確度要求，能夠避免在輸送過程中產(chǎn)生振動(dòng)或沖擊，從而減少對(duì)硅片的損壞和誤差。 所有電器、配電箱及控制箱的設(shè)計(jì)安裝，符合國家電器技術(shù)的安全標(biāo)準(zhǔn)。
5.人機(jī)界面操作系統(tǒng)及控制程序：人機(jī)界面操作系統(tǒng)及控制程序是用戶與設(shè)備之間的交互界面。通過友好的用戶界面，用戶可以輕松地進(jìn)行參數(shù)設(shè)置、設(shè)備控制和數(shù)據(jù)查看等操作。該界面采用直觀的圖標(biāo)和文字提示，使用戶能夠快速了解設(shè)備的狀態(tài)和功能。控制程序則負(fù)責(zé)設(shè)備的整體運(yùn)行和控制，確保各個(gè)子系統(tǒng)之間的協(xié)調(diào)工作。它采用先進(jìn)的控制算法和邏輯設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)高效、精確的控制效果。
6.高速振鏡掃描系統(tǒng)：高速振鏡掃描系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)激光束的高速掃描的子系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用高精度的振鏡技術(shù)和高速驅(qū)動(dòng)器，能夠?qū)崿F(xiàn)快速、準(zhǔn)確的掃描運(yùn)動(dòng)。通過高速振鏡的反射作用，激光束能夠在短時(shí)間內(nèi)覆蓋大面積的硅片表面，提高檢測(cè)效率。同時(shí)，該系統(tǒng)還配備了高精度的位置傳感器和反饋控制系統(tǒng)，以確保掃描運(yùn)動(dòng)的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 可快速來回移動(dòng)抓取硅片來滿足高產(chǎn)能的需求。廣東激光輔助燒結(jié)機(jī)
人機(jī)界面采用專業(yè)先進(jìn)的圖形用戶界面，操作簡(jiǎn)單，界面友好，易于掌握。山西金屬化增強(qiáng)輔助燒結(jié)
3.光路系統(tǒng)：光路系統(tǒng)是連接激光器和硅片的關(guān)鍵部分，負(fù)責(zé)傳輸激光束。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)和精密的光學(xué)元件，確保激光束的準(zhǔn)確傳輸和聚焦。它還配備了各種透鏡、反射鏡和分束器等光學(xué)元件，以實(shí)現(xiàn)激光束的調(diào)整、聚焦和分束等功能。此外，光路系統(tǒng)還具有高穩(wěn)定性和高精度等特點(diǎn)，能夠抵受環(huán)境溫度和振動(dòng)等因素的影響，確保長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
4.激光功率檢測(cè)系統(tǒng)：激光功率檢測(cè)系統(tǒng)是用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)激光功率的變化的子系統(tǒng)。該系統(tǒng)采用高精度的功率傳感器和測(cè)量技術(shù)，能夠準(zhǔn)確地測(cè)量激光器的輸出功率，并將其反饋給控制系統(tǒng)。如果出現(xiàn)異常情況，如激光功率過高或過低，系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)進(jìn)行調(diào)整或發(fā)出警報(bào)，以確保激光器的正常運(yùn)行和穩(wěn)定的輸出功率。 山西金屬化增強(qiáng)輔助燒結(jié)