不進(jìn)行氧化：在形成P++層之后，通常需要進(jìn)行氧化工藝以保護(hù)硅片表面。但是，在TOPConSE設(shè)備中，選擇不進(jìn)行氧化操作，而是依賴P++層作為激光摻雜源。這一決策簡化了工藝流程并提高了生產(chǎn)效率。激光摻雜和氧化工藝：在形成P++層之后，TOPConSE設(shè)備使用激光技術(shù)對(duì)硅片進(jìn)行摻雜和選擇性氧化。激光能量觸發(fā)P++層中的硼原子，使其能夠有效地?fù)饺牍杌w中。同時(shí)，激光還可以選擇性地對(duì)特定區(qū)域進(jìn)行氧化，形成隧穿氧化層和多晶硅層，這是TOPCon太陽能電池的重要結(jié)構(gòu)。解決硼摻濃度問題并簡化選擇發(fā)射極的制備工藝：通過使用BSG作為摻雜源和調(diào)整工藝參數(shù)。滿足 AGV 雙通道同步上/下料，減少 AGV 對(duì)接需求及機(jī)臺(tái)數(shù)量。上海TOPCon太陽能光伏設(shè)備廠家
設(shè)備主要參數(shù)運(yùn)行模式：離線
適用硅片尺寸（mm）：182-230mm
適用硅片厚度（μm）：120-200μm
設(shè)備尺寸（mm）：?×寬×高：5989mm*2700mm*2500mm（不包含除塵機(jī)，冷水機(jī)）；寬×高：7745mm*2700mm*2500mm（包含除塵機(jī)，冷水機(jī)）
圖形精度：±15μm
對(duì)準(zhǔn)精度：±15μm
上下料方式：滿足AGV對(duì)接上下料
花籃數(shù)量：5×2+1+1
設(shè)備產(chǎn)能：182尺寸≥9000片/小時(shí)（柵線數(shù)量≤148）；182尺寸≥8600片/小時(shí)（柵線數(shù)量≤160）；210尺寸≥7600片/小時(shí)（柵線數(shù)量≤168）
碎片率：≤0.03% 湖北SE光伏聯(lián)系方式整機(jī)采用工業(yè) PC 控制、模塊化柔性化編程設(shè)計(jì)。
激光器的主要參數(shù)描述了其性能特性和技術(shù)規(guī)格，這些參數(shù)對(duì)于激光加工應(yīng)用非常重要。
1.激光M2：該參數(shù)表示激光的光束質(zhì)量。M2值越接近1，光束質(zhì)量越好，光束越窄?！?.2的M2值表明該激光器具有較好的光束質(zhì)量和聚焦性能。
2.功率穩(wěn)定性：≤2%的功率穩(wěn)定性意味著激光器的輸出功率非常穩(wěn)定，波動(dòng)很小。這有助于確保激光加工的一致性和可靠性。
3.脈沖能量穩(wěn)定性：≤2%RMS的脈沖能量穩(wěn)定性表示每個(gè)脈沖的能量都是相對(duì)穩(wěn)定的。這有助于確保加工過程中的能量一致性，從而獲得更好的加工效果。
4.光斑形狀：方形光斑意味著激光能量在光斑內(nèi)均勻分布，有助于提高加工質(zhì)量和效率。
5.線寬：70-100um的可定制線寬范圍意味著可以根據(jù)不同的加工需求調(diào)整線寬大小，實(shí)現(xiàn)精細(xì)或大面積的加工。
6.圖形重復(fù)精度：≤±15um的圖形重復(fù)精度意味著激光器能夠高精度地重復(fù)加工相同的圖形或模式，這對(duì)于高精度加工應(yīng)用至關(guān)重要。
7.掃描速度：50m/s的掃描速度非?？?，能夠大幅度提高加工效率。
硅片緩存機(jī)構(gòu)；由帶鎖緊裝置的絲杠電機(jī)構(gòu)成，可緩存 25 片硅片以上。硅片抓取上下料模組：模組采用伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，可快速來回移動(dòng)抓取硅片來滿足高產(chǎn)能的需求；抓取吸盤采用伯努利吸盤吸盤，可有效降低碎片率和減少對(duì)硅片的污染，大限度減少與工件的接觸，柔和抓取工件，同時(shí)減少吸盤的升降動(dòng)作，提升吸取速率。自動(dòng)上下料系統(tǒng)：系統(tǒng)用于花籃的上下料，可滿足AGV雙通道同步上/下料，減少AGV對(duì)接需求及機(jī)臺(tái)數(shù)量。而且可實(shí)現(xiàn)多線之間單獨(dú)激光加工，單通道異常時(shí)，不影響其他升降皮帶模組工位的激光運(yùn)行。輸送系統(tǒng)：由電機(jī)驅(qū)動(dòng)同步帶輸送花籃，上下料區(qū)采取5×2+1+1布局。與AGV對(duì)接參數(shù)：采用單側(cè)雙層雙軌對(duì)接，同時(shí)進(jìn)料10個(gè)花籃/出料10個(gè)花籃。穩(wěn)定可靠的 TOPCon SE 設(shè)備，確保生產(chǎn)連續(xù)無阻。
硼硅玻璃（BSG）作為摻雜源在TOPCon電池制造中的應(yīng)用，提供了一種有效的方法來解決硼摻雜濃度問題，并簡化了選擇發(fā)射極的制備工藝流程。通過擴(kuò)散爐將高硼表面濃度的P++層推進(jìn)，我們可以精確控制硼摻雜的濃度和分布。由于沒有進(jìn)行氧化處理，P++層保持了高摻雜的特點(diǎn)，成為激光摻雜的理想源。利用硼硅玻璃作為摻雜源，結(jié)合擴(kuò)散爐技術(shù)和激光摻雜工藝，我們能夠在解決硼摻濃度問題的同時(shí)，簡化了選擇發(fā)射極的制備工藝流程。這種方法不僅提高了TOPCon電池的性能和穩(wěn)定性，還降低了生產(chǎn)成本和能耗，為光伏行業(yè)的持續(xù)發(fā)展帶來了新的可能性。通過TOPCon激光直摻技術(shù)，光伏企業(yè)能夠快速響應(yīng)市場需求，提升產(chǎn)品競爭力，開拓更廣闊的市場空間。湖南激光摻雜光伏設(shè)備廠商
設(shè)備具有破片自動(dòng)識(shí)別和激光能量離線檢測功能。上海TOPCon太陽能光伏設(shè)備廠家
海目星激光科技集團(tuán)股份有限公司（以下簡稱“海目星”）2008年成立，2020年科創(chuàng)板上市，股票代碼688559，是業(yè)內(nèi)杰出的激光及自動(dòng)化綜合解決方案提供商，全球智能裝備先進(jìn)科技企業(yè)之一。業(yè)務(wù)涵蓋鋰電池智能制造、光伏智能制造、新型顯示智能制造、3C智能制造、鈑金智能制造等五大領(lǐng)域。 公司總部位于深圳，并在深圳、江門、常州、成都設(shè)有四大生產(chǎn)制造基地，輻射華南、華東、西南地區(qū)，同時(shí)在韓國、美國、意大利建立海外子公司。目前，海目星全球員工8000+人。 在工業(yè)4.0時(shí)代，海目星始終牢記 “改變世界裝備格局，推動(dòng)人類智造進(jìn)步”的使命，鎖定前沿技術(shù)，助力產(chǎn)業(yè)變革，與全球客戶攜手共赴智造未來。上海TOPCon太陽能光伏設(shè)備廠家