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來自不可冷凝物汽提塔310、410的所有液氮塔底餾出物312、412提供液氮回流流318、418,該液氮回流流因來自空氣分離單元10的廢氮流93而在過冷器單元99中過冷。如上所述,經(jīng)過冷液氮回流流的部分可任選地被看作液氮產(chǎn)物317、417,作為物流348、448轉(zhuǎn)移到液氮回流冷凝器342、442或在閥319、419中膨脹,并且作為回流流360、460返回到空氣分離單元10的低壓塔74中。類似于圖2的氖氣質(zhì)量改善裝置,圖4和圖5的氖氣質(zhì)量改善裝置340、440包括液氮回流冷凝器342、442;相分離器344、444。以及氮?dú)饬髁靠刂崎y346、446。液氮回流冷凝器342、442用第二冷凝介質(zhì)348、448將含不可冷凝物排放流329、429冷凝,該第二冷凝介質(zhì)是經(jīng)過冷液氮回流流的一部分。將汽化流349、449從氖氣回收系統(tǒng)100中移除并進(jìn)料至廢物流93中。在液氮回流冷凝器342、442內(nèi)不冷凝的殘余蒸氣被作為粗氖蒸氣流350、450從液氮回流冷凝器342、442的頂部抽出?,F(xiàn)在轉(zhuǎn)到圖7和圖8,示出了不可冷凝氣體回收系統(tǒng)100的附加實(shí)施方案,該系統(tǒng)包括不可冷凝物汽提塔(nsc)510、610和冷凝器-再沸器520、620。圖7和圖8所示的不可冷凝物汽提塔510、610被構(gòu)造成接收來自高壓塔72的氮?dú)獗P架蒸氣515、615的一部分。氖的三相點(diǎn)溫度只比它的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)低約2.5K。天津Ne氖是什么
預(yù)純化單元28通常包含根據(jù)變溫和/或變壓吸附循環(huán)操作的氧化鋁和/或分子篩的兩個床,在該吸附循環(huán)中水分及其他雜質(zhì)(諸如二氧化碳、水蒸氣和烴類)被吸附。這些床中的一個床用于預(yù)純化該冷卻且干燥的經(jīng)壓縮空氣進(jìn)料,而另一個床是利用來自空氣分離單元的廢氮的一部分再生的。這兩個床定期交換功用。在設(shè)置在預(yù)純化單元28下游的粉塵過濾器中,從經(jīng)壓縮且預(yù)純化的進(jìn)料空氣中移除顆粒以產(chǎn)生經(jīng)壓縮且純化的進(jìn)料空氣流29。該經(jīng)壓縮且純化的進(jìn)料空氣流29在包括高壓塔72、低壓塔74和任選的氬塔76的多個蒸餾塔中被分離為富氧餾分、富氮餾分和富氬餾分(或氬產(chǎn)物流170)。然而,在這種蒸餾之前,通常將經(jīng)壓縮且預(yù)純化的進(jìn)料空氣流29分成多個進(jìn)料空氣流42、44和32,該多個進(jìn)料空氣流可包括鍋爐空氣流42和渦輪空氣流32。鍋爐空氣流42和渦輪空氣流32可在壓縮機(jī)41、34和36中進(jìn)一步壓縮,并且隨后在后冷卻器43、39和37中冷卻以形成經(jīng)壓縮物流49和33,這些經(jīng)壓縮物流然后被進(jìn)一步冷卻至主換熱器52中的精餾所要求的溫度。通過與包括氧氣流190的加熱流和來自蒸餾塔系統(tǒng)70的氮?dú)饬?93、195的間接換熱來在主換熱器52中完成對空氣流44、45和35的冷卻,以產(chǎn)生經(jīng)冷卻的進(jìn)料空氣流47、46和38。內(nèi)蒙古液態(tài)氖多少m3在高濃度時能稀釋空氣中的氧而起窒息作用。
因此對空氣分離單元10中其它產(chǎn)品構(gòu)成物的分離和回收的影響小。在許多方面,圖8的實(shí)施方案與圖7所示的實(shí)施方案相當(dāng)相似,對應(yīng)的元件和物流具有對應(yīng)的附圖標(biāo)號,但在圖8中以600序列標(biāo)號,在圖7中以500系列標(biāo)號。例如,圖7中由附圖標(biāo)號522、525、544、545、546、548、549和550**的項(xiàng)目分別與圖8中由附圖標(biāo)記號622、625、644、645、646、648、649和650**的項(xiàng)目相同或相似。圖7的實(shí)施方案與圖8的實(shí)施方案之間的主要差異在于來自空氣分離單元的氮?dú)膺^冷器的釜沸騰流被來自空氣分離單元10的氬冷凝器78的釜沸騰流622替代。此外。由雙級回流冷凝器-再沸器620產(chǎn)生的沸騰流625被引導(dǎo)至相分離器670,所得蒸氣流671和液體流672被返回到空氣分離單元10的低壓塔74的中間位置。實(shí)施例對于本發(fā)明的回收氖氣的系統(tǒng)和方法的各種實(shí)施方案,使用各種空氣分離單元操作模型來進(jìn)行多個工藝模擬以表征:(i)氖氣和其他稀有氣體的回收;(ii)粗氖蒸氣流的組成;以及(iii)來自蒸餾塔體系的氮的凈損失;當(dāng)使用上述和相關(guān)附圖中所示的氖氣回收系統(tǒng)和方法來操作空氣分離單元時。表1示出了針對參考圖2描述的氖氣回收系統(tǒng)和相關(guān)聯(lián)方法的基于計(jì)算機(jī)的工藝模擬的結(jié)果。如表1所示。
所以他提議在化學(xué)元素周期表中列入一族新的化學(xué)元素,暫時讓氦和氬作為這一族的成員。他還根據(jù)門捷列夫提出的關(guān)于元素周期分類的假說,推測出該族還應(yīng)該有一個原子量為20的元素。在1896~1897年間,萊姆塞在特拉威斯的協(xié)助下,試圖用找到氦的同樣方法,加熱稀有金屬礦物來獲得他預(yù)言的元素。他們試驗(yàn)了大量礦石,但都沒有找到。他們想到了,從空氣中分離出這種氣體。但要將空氣中的氬除去是很困難的,化學(xué)方法基本無法使用。只有把空氣先變成液體狀態(tài),然后利用組成它成分的沸點(diǎn)不同,讓它們先后變成氣體,一個一個地分離出來。把空氣變成液體,需要較大的壓力和很低的溫度。而正是在19世紀(jì)末,德國人林德和英國人漢普森同時創(chuàng)造了致冷機(jī),獲得了液態(tài)空氣。1898年5月24日萊姆塞獲得漢普森送來的少量液態(tài)空氣。萊姆塞和特拉威斯從液態(tài)空氣中首先分離出了氪。接著他們又對分離出來的氬氣進(jìn)行了反復(fù)液化、揮發(fā),收集其中易揮發(fā)的組分。1898年6月12日他們終于找到了氖(neon),元素符號Ne,來自希臘文neos(新的)。氖,原子序數(shù)10,原子量為,是一種稀有的惰性氣體。1898年由英國科學(xué)家拉母賽和特拉弗斯發(fā)現(xiàn)。在大氣中的含量按體積算為。有三種同位素:氖20、氖21和氖22。氖氣可用于產(chǎn)生氖氣激光器,用于科學(xué)研究、醫(yī)療材料加工等領(lǐng)域。
包括***路基頻光源211、第二路基頻光源212、其后放置非線性晶體221和非線性晶體222,光路反射鏡231、以及光路切換裝置241。***路基頻光源211輸出的基頻光經(jīng)過非線性晶體221產(chǎn)生一路波長的激光輸出,第二路基頻光源212經(jīng)過非線性晶體222產(chǎn)生另一路波長的激光輸出,兩路波長在切換裝置處進(jìn)行切換,當(dāng)切換裝置開的時候,可實(shí)現(xiàn)兩路合并輸出,當(dāng)切換裝置關(guān)的時候,可實(shí)現(xiàn)其中一路輸出。以上裝置,一種是利用單臺基頻激光輸出,通過機(jī)械手段控制所選波長的輸出,這種采用機(jī)械裝置的方式,頻繁對器件進(jìn)行移入移出光路的操作,長時間工作不利于激光器的穩(wěn)定性。另一種是利用多路激光模塊合并的方式,即利用多個激光晶體和多個非線性晶體產(chǎn)生多路的激光波長,再將各路激光選擇性合并,這次方式增加了更多的晶體等器件,使得激光系統(tǒng)體積變大,且較多的器件提高了激光器的成本。除此之外,還有一些采用單臺激光器進(jìn)行非線性頻率變換,再利用激光的偏振特性或者光學(xué)鍍膜改變產(chǎn)生的各個波長的激光的路徑,隨后再進(jìn)行分光或合束的方法,同樣增加了激光器成本及光路的復(fù)雜性。公開內(nèi)容(一)要解決的技術(shù)問題基于上述問題,本公開提供了一種可控的多波長激光輸出裝置。氖在常溫常壓下為無色無臭無毒的惰性氣體。空氣中含氖約18ppm。不燃。貴州氖氣廠家
氖氣通電后會發(fā)出橙色的光,在所有稀有氣體中,氖氣的放電在相同的電壓和電流下是比較強(qiáng)烈的。天津Ne氖是什么
Gigaphoton限時的eTGM技術(shù)也將擴(kuò)展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。這一擴(kuò)展計(jì)劃將于2015年11月啟動。通過引進(jìn)eTGM技術(shù),KrF和ArF激光器可減少25%的氖氣用量,ArF浸沒式激光器可減少高達(dá)50%的氖氣用量。加速推出Gigaphoton的氣體回收技術(shù)hTGM。該技術(shù)適用于所有類型的激光器。hTGM預(yù)計(jì)于2016年上市。采用hTGM技術(shù)后,客戶將可以回收高達(dá)50%的消耗氣體。Gigaphoton總裁兼首席執(zhí)行官HitoshiTomaru表示:“氖氣是半導(dǎo)體制造業(yè)不可或缺的氣體,我們認(rèn)識到在當(dāng)前情況下,持續(xù)的供應(yīng)危機(jī)是一個極為嚴(yán)重的問題,將會嚴(yán)重威脅生產(chǎn)的連續(xù)性。Gigaphoton將盡一切努力來支持客戶的穩(wěn)定生產(chǎn),為此我們推出了三大措施:為氣體供應(yīng)商提供快速資質(zhì)認(rèn)證、大幅減少氣體使用及盡早推出氣體回收技術(shù)。天津Ne氖是什么