全自動晶圓盒清洗機(jī)維修價格

來源: 發(fā)布時間:2024-08-02

全自動FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的清潔設(shè)備。它憑借其精湛的工藝和創(chuàng)新的技術(shù),為FOUP帶來了前所未有的清潔體驗。該設(shè)備的噴射系統(tǒng)采用了可變壓力控制技術(shù),可以根據(jù)FOUP的污染程度和材質(zhì),自動調(diào)整噴射壓力,實現(xiàn)個性化的清洗方案。同時,它還具備紫外線消毒功能,能夠有效殺滅FOUP表面的細(xì)菌和病毒。例如,在一些對衛(wèi)生要求極高的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境中,這款清洗機(jī)的紫外線消毒功能發(fā)揮了重要作用,確保了生產(chǎn)過程的無菌化,提高了產(chǎn)品的可靠性和安全性。芯夢清洗機(jī),是您生產(chǎn)中的理想選擇!全自動晶圓盒清洗機(jī)維修價格

全自動晶圓盒清洗機(jī)維修價格,清洗機(jī)

FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造行業(yè)中一種關(guān)鍵設(shè)備,專門用于清洗和處理FOUP。FOUP是一種封閉式容器,用于存放和保護(hù)晶圓。FOUP清洗機(jī)通過自動化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性。FOUP清洗機(jī)具備多種功能,能夠去除FOUP內(nèi)的各種污染物,如油脂、有機(jī)物、化學(xué)物質(zhì)殘留和水分。它采用先進(jìn)的清洗技術(shù)和工藝參數(shù),如噴淋清洗、超聲波清洗、高溫處理等,以確保徹底去除污染物,并不會對FOUP造成損害。該設(shè)備具有高效性和自動化特點。它能夠在短時間內(nèi)完成清洗過程,提高生產(chǎn)效率。自動化控制系統(tǒng)確保清洗過程的精確執(zhí)行,減少人為操作的誤差和風(fēng)險。同時,清洗機(jī)通常配備直觀的用戶界面和操作控制面板,使操作人員能夠輕松控制和監(jiān)測清洗過程。FOUP清洗機(jī)還注重安全性和可靠性。它采用高質(zhì)量的材料和密封結(jié)構(gòu),確保清洗過程中不會對FOUP造成損害。安全控制系統(tǒng)和報警裝置能夠確保操作人員的安全。此外,清洗機(jī)通常具有數(shù)據(jù)記錄和追溯功能,方便對清洗過程進(jìn)行監(jiān)控和分析。綜上所述,F(xiàn)OUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中不可或缺的設(shè)備,通過高效、自動化的清洗過程,確保FOUP內(nèi)外的高純度和可靠性,為晶圓生產(chǎn)提供重要保障。






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FOUP清洗機(jī)是用于清洗半導(dǎo)體制造中的FOUP(FrontOpeningUnifiedPod)的設(shè)備。FOUP是用于存放半導(dǎo)體晶圓的封閉式容器,在半導(dǎo)體制造過程中起到了關(guān)鍵的作用。FOUP清洗機(jī)的主要功能是清洗FOUP,確保FOUP內(nèi)部的潔凈度,以保證半導(dǎo)體晶圓在制造過程中不受到污染。功能配置:管路配置:壓力檢測系統(tǒng)、流量檢測系統(tǒng)、溫度檢測系統(tǒng)、漏液檢測系統(tǒng)加熱系統(tǒng):閉環(huán)溫控、超溫切斷、微曲線加熱算法、宕機(jī)應(yīng)急閉環(huán)等系統(tǒng)真空與N平衡系統(tǒng):真空度檢測監(jiān)控保壓系統(tǒng)、N平配比凈化系統(tǒng)NPurge系統(tǒng):溫濕度高速檢測系統(tǒng)、平衡FOUP壓力與溫濕度算法Robot安全控制系統(tǒng):設(shè)置空間安全虛擬圍欄、曲線算法路徑空FOUP檢測系統(tǒng)。

產(chǎn)品說明 

8-12 Inch 單片晶圓dry-in/dry-out清洗平臺,適用于先進(jìn)封裝制程的particle、有機(jī)、無機(jī)、助焊劑等污染物清洗??蛇x配二流體、megasonic、超高壓噴洗、RCA 、Hot water及蒸氣等清洗方式,清洗工藝窗口寬,清洗能力強(qiáng),占地面積小,性價比高等特點。

功能說明

制程均勻度可用 recipe 調(diào)控。

良率優(yōu)于 wet bench type。

單片模式之機(jī)況可控制可追溯。

制程個別參數(shù)易于調(diào)整。

可控制之藥液量使用,能保持每片芯片之相同制程環(huán)境。

潔凈度控制優(yōu)于批次生產(chǎn)。

Footprint 較小。

適用于 wafer dry in / dry out制程。

機(jī)臺之安全性優(yōu)于 bench type。

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全自動FOUP清洗機(jī)是現(xiàn)代半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的明星設(shè)備。它以性能和高效的清洗能力,贏得了眾多企業(yè)的青睞。這款清洗機(jī)采用了模塊化設(shè)計,便于維護(hù)和升級。各個模塊之間協(xié)同工作,確保清洗過程的流暢和穩(wěn)定。其獨特的風(fēng)刀干燥系統(tǒng),能夠快速吹干FOUP表面的水分,防止水漬殘留。在實際使用中,一家國際的半導(dǎo)體制造商使用我們的清洗機(jī)后,不僅提高了產(chǎn)品質(zhì)量,還降低了設(shè)備的維護(hù)成本。由于模塊化設(shè)計,當(dāng)某個模塊出現(xiàn)故障時,可以快速更換,減少了設(shè)備停機(jī)時間,提高了生產(chǎn)效率。江蘇芯夢的設(shè)備具有多種智能功能,助你輕松應(yīng)對生產(chǎn)挑戰(zhàn)!山西全自動FOSB清洗機(jī)按需定制

芯夢設(shè)備操作簡單,維護(hù)方便,降低你的使用成本!全自動晶圓盒清洗機(jī)維修價格

FOUP清洗機(jī)特性:可清洗FOUP/FOSB/RSP/Cassettes及其他可裝載于清洗籃之制品。伺服馬達(dá)驅(qū)動,設(shè)有扭力偵測安全機(jī)構(gòu),防止人為誤操作造成損壞及危險。具備停機(jī)自動歸位功能,方便裝載清洗制品。旋干制程中除IR干燥外,運用氣流干燥,可加速去除較大水滴,增進(jìn)干燥效果;進(jìn)而提升效率。應(yīng)用范圍:該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。分類:全自動FOUP清洗機(jī)、半自動foup清洗機(jī)。4寸~12寸全尺寸兼容,快速實現(xiàn)干進(jìn)干出,30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍,更大吞吐量.





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