浙江FOUP清洗機(jī)現(xiàn)貨

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024-03-06

提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。

我們的晶圓盒清洗機(jī)配備了高精度的傳感器和控制系統(tǒng),能夠精確控制清洗和干燥的時(shí)間和溫度,確保清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),提高生產(chǎn)效率。操作簡單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加高效! 選擇芯夢設(shè)備,讓你的生產(chǎn)更加高效!浙江FOUP清洗機(jī)現(xiàn)貨

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輔助功能和操作控制

觸摸屏安裝在前面一標(biāo)準(zhǔn)化

也可以通過安裝第二個(gè)觸摸屏在背面進(jìn)行控制一選項(xiàng)

其他特征

工藝腔室內(nèi)LED燈光照明

可安裝去靜電裝置和電陽率監(jiān)測裝置選項(xiàng)

穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子

材料的外殼一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)

設(shè)備前面帶有滑動(dòng)門一標(biāo)準(zhǔn)化為手動(dòng)/可選擇自動(dòng)

設(shè)備前面的滑動(dòng)門在做維護(hù)時(shí)可完全打開

其他種類的花籃和片盒相適應(yīng)的組件一選項(xiàng)圖形化的界面

易于操作和控制

10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口


甘肅晶圓盒清洗機(jī)江蘇芯夢期待與您共同解決晶圓盒清洗問題!

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半自動(dòng)晶圓盒/晶舟盒清洗機(jī)

(Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner)

適用場景:在密閉的空間用DIW對(duì)Foup進(jìn)行清洗和干燥

設(shè)備特點(diǎn):

1、清洗對(duì)象:12寸FOUP

2、設(shè)備主要構(gòu)成:清洗腔、真空腔、自動(dòng)充N2、上下料口、6軸機(jī)械手等機(jī)構(gòu)組成

3、清洗能力:24只FOUP/小時(shí)(依配置的清洗腔中真空腔數(shù)量而定)

4、干進(jìn)干出;

5、可與AMHS對(duì)接、可人工上料;

6、FOUP本體和Cover自動(dòng)分離和清洗;

7、Chamber具備DIW噴淋、甩干以及真空+IR干燥功能;

8、可預(yù)設(shè)多條Recipe,操作簡潔;

9、選配SECS/GEM接口;

10、實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù),多種數(shù)據(jù)分析功能;

11、可實(shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯,具有過點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能12、設(shè)備外形尺寸:L4000mmXW3600mmXH3300mm

對(duì)于晶圓加工的各個(gè)環(huán)節(jié)而言,清洗工藝都是必不可少的基本工序,隨著芯片制造工藝先進(jìn)程度的持續(xù)提升,對(duì)晶圓表面污染物的控制要求也在不斷提高,清洗工序也不斷向精細(xì)化發(fā)展,而對(duì)清洗設(shè)備的需求也在相應(yīng)增加。

據(jù)SEMI的數(shù)據(jù)預(yù)測,到2025年,中國在半導(dǎo)體行業(yè)的設(shè)備采購將達(dá)到345億美元,占全球三分之一,其中FOUP盒清洗設(shè)備采購占有很大比例,而目前國內(nèi)品牌在這一領(lǐng)域還幾乎處于空白狀態(tài),主要依靠美系和日系產(chǎn)品,可以說國內(nèi)的FOUP盒清潔設(shè)備還是一片藍(lán)海。面對(duì)巨大的機(jī)遇與挑戰(zhàn),江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司迎難而上,開發(fā)了擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的FOUP盒清潔設(shè)備,填補(bǔ)了國內(nèi)行業(yè)空白。


芯夢設(shè)備配備快速調(diào)整功能,適應(yīng)不同使用場景!

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我們提供各種半導(dǎo)體片盒、FOUP、FOSB清潔方案客戶定制清洗方案做到360度無死角清洗,并防止細(xì)菌滋生專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMIS2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,占地面積設(shè)計(jì)。

我們的晶圓盒清洗機(jī)采用智能化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間小,適合各種生產(chǎn)場景。外觀精美,質(zhì)感上乘,提升了生產(chǎn)品質(zhì)。同時(shí),我們的晶圓盒清洗機(jī)具有多種智能功能,能夠自動(dòng)識(shí)別晶圓盒類型,自動(dòng)調(diào)整清洗和干燥的參數(shù),保證清洗和干燥的效果穩(wěn)定可靠。操作簡單,維護(hù)方便,降低使用成本。選擇我們的晶圓盒清洗機(jī),讓您的晶圓生產(chǎn)更加智能化、便捷!


芯夢的設(shè)備節(jié)能,符合現(xiàn)代的生產(chǎn)理念,助你降低成本!海南半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)廠家報(bào)價(jià)

我司設(shè)備操作簡單,維護(hù)方便,降低你的生產(chǎn)成本!浙江FOUP清洗機(jī)現(xiàn)貨

全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備和半自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備之間的區(qū)別主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:操作方式:全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備是以完全自動(dòng)化的方式進(jìn)行清洗,幾乎不需要人工干預(yù)。它通常配備了自動(dòng)上料、清洗、烘干、卸料等功能,可以在一個(gè)連續(xù)的工作流程中完成整個(gè)清洗過程。相比之下,半自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備需要一定程度上的人工操作,例如手動(dòng)上料和卸料,以及手動(dòng)調(diào)整清洗參數(shù)等。清洗效率:全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備通常具有更高的清洗效率,可以在較短的時(shí)間內(nèi)完成多個(gè)FOUP的清洗。由于自動(dòng)化的特性,全自動(dòng)設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)高速、連續(xù)的操作,提高了清洗的效率和生產(chǎn)能力。半自動(dòng)設(shè)備則可能需要更多的人工操作和調(diào)整,因此清洗效率相對(duì)較低。功能和靈活性:全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備通常具備更多的功能和選項(xiàng),可以根據(jù)不同的清洗需求進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整。它們可能具有多種清洗程序、不同的清洗介質(zhì)選擇、溫度和時(shí)間控制等功能。半自動(dòng)設(shè)備的功能相對(duì)較少,可能只提供基本的清洗和烘干功能。自動(dòng)監(jiān)測和控制:全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備通常配備了自動(dòng)監(jiān)測和控制系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗過程中的參數(shù),例如溫度、壓力、流量等,并根據(jù)設(shè)定的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整和控制。這有助于確保清洗的一致性和可靠性。浙江FOUP清洗機(jī)現(xiàn)貨