湖南碳化硅化學鍍設備

來源: 發(fā)布時間:2024-01-31

自21年4月交付,截至目前已累計交付多臺,服務得到了客戶充分的認可,2022年Q1訂單表現(xiàn)旺盛,訂單排程已經(jīng)覆蓋到22年Q4,據(jù)我們不完全統(tǒng)計預估,芯夢半導體化學鍍(ENEPIG)設備中國市場已經(jīng)排名前列?;瘜W鍍設備(ENEPIG)應用于晶圓級封裝(CSP/COPPERPILLAR),IGBT/MOSFET晶圓制造等領域。芯夢半導體推出的產(chǎn)品具有:相較于傳統(tǒng)的金屬沉積方式,化學鍍不需要掩模版,不需要復雜的工藝流程,方式更加簡單靈活。適用于不同的PAD材質(zhì),包括:Cu/Al/AlSi/AlSiCu/Pt/Au/Ag/GaN/Ge/GaAs等相較于傳統(tǒng)的沉積方式,化學鍍設備的產(chǎn)出非常之高設備能夠?qū)崿F(xiàn)多手臂的互動,精密控制制程過程中的流量、溫度、循環(huán)、PH等參數(shù)。XM中國的半導體濕法工藝設備提供商芯夢半導體持續(xù)致力于賦能客戶價值,為集成電路制造、先進晶圓級封裝制造及大硅片制造領域的濕法制造環(huán)節(jié)設備提供綜合解決方案。選擇我司化學鍍設備,讓你的生產(chǎn)更加靈活、多樣化!湖南碳化硅化學鍍設備

化學鍍在晶圓制造中有多種應用?;瘜W鍍是一種通過在晶圓表面沉積薄層金屬的過程,可以提供保護、導電和其他功能。以下是化學鍍在晶圓制造中的一些應用:保護層:化學鍍可以在晶圓表面形成一層保護層,防止晶圓受到外界環(huán)境的侵蝕和腐蝕。這有助于延長晶圓的壽命并保護其內(nèi)部電路。不同的材料可以提供不同的保護效果,如防腐蝕、耐熱等。導電層:化學鍍可以在晶圓上形成導電層,提高晶圓的電導性能。這對于晶圓內(nèi)部電路的正常運行非常重要。常用的導電材料包括銅、銀和金等?;ミB層:化學鍍可以用于形成晶圓內(nèi)部電路之間的互連層。這些互連層可以提供電信號傳輸和連接不同電路之間的功能?;瘜W鍍可以在互連層上形成金屬線路,實現(xiàn)電路之間的連接。封裝層:化學鍍可以用于晶圓的封裝層,保護晶圓內(nèi)部電路并提供機械強度。這有助于防止晶圓受到物理損傷和外界環(huán)境的侵蝕。焊接層:化學鍍可以在晶圓上形成焊接層,用于連接晶圓和其他組件。這有助于實現(xiàn)晶圓與其他電子元件的連接和集成。湖南碳化硅化學鍍設備芯夢化學鍍設備具有快速調(diào)整功能,適應不同生產(chǎn)規(guī)格!

應用于晶圓制造中的化學鍍設備是用于在晶圓表面進行化學鍍涂的設備。這些設備在半導體行業(yè)中起著重要的作用,可以實現(xiàn)對晶圓表面的鍍涂和保護。下面是對應用于晶圓制造中的化學鍍設備的介紹:

控制系統(tǒng):化學鍍設備需要配備精確的控制系統(tǒng),以監(jiān)測和控制化學鍍過程的參數(shù)。這些參數(shù)包括溫度、pH值、電流密度等??刂葡到y(tǒng)通常包括溫度控制器、pH計、電流源等設備,以確?;瘜W鍍過程的穩(wěn)定性和一致性。

廢液處理系統(tǒng):在化學鍍過程中,會產(chǎn)生一定量的廢液。為了環(huán)保和資源回收的考慮,化學鍍設備通常配備廢液處理系統(tǒng)。這些系統(tǒng)包括中和裝置、沉淀裝置和過濾裝置,用于處理和處理廢液,以確保符合環(huán)保要求。

晶圓化學鍍工藝是一種常用的半導體后端工藝,用于在晶圓表面形成金屬層。下面是對晶圓化學鍍工藝的介紹:

工藝控制:電解質(zhì)溶液:選擇合適的電解質(zhì)溶液,以確保金屬離子的穩(wěn)定性和鍍層的質(zhì)量。電流密度:控制電流密度,以調(diào)節(jié)金屬沉積速率和鍍層的均勻性。溫度和時間:控制鍍液的溫度和鍍液中晶圓的浸泡時間,以影響金屬沉積速率和鍍層的質(zhì)量。

應用:晶圓化學鍍工藝廣泛應用于半導體行業(yè),用于制造集成電路和其他電子器件中的金屬連接和導電層。它可以用于制造電容器、電感器、電阻器等被動元件,以及晶體管、二極管等主動元件。 選擇江蘇芯夢化學鍍設備,讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化!

化學鍍設備的工藝流程通常包括以下幾個主要步驟:

清洗和表面處理:首先,將待處理的工件進行清洗,去除表面的油脂、污垢和雜質(zhì)。清洗可以采用物理方法,如超聲波清洗或噴洗,也可以使用化學清洗劑。接下來,進行表面處理,如酸洗或活化處理,以提高金屬表面的粗糙度和活性,增強涂層的附著力。

鍍前處理:在進行化學鍍之前,可能需要進行鍍前處理步驟。這些處理步驟可以包括表面活化、酸洗、鈍化等,根據(jù)需要選擇適當?shù)奶幚矸椒ǎ源_保工件表面的凈化和優(yōu)化。

電解液配制:根據(jù)所需的鍍涂金屬和工藝要求,配制合適的電解液。電解液通常包含金屬鹽、添加劑和調(diào)節(jié)劑,用于提供金屬離子、調(diào)節(jié)電流密度和控制鍍層性能。

電鍍:將經(jīng)過預處理的工件放入化學鍍槽中,確保工件與電解液充分接觸。然后,施加電流使金屬離子在工件表面沉積形成金屬涂層。根據(jù)需要,可以調(diào)節(jié)電流密度、溫度和時間等參數(shù),以控制涂層的厚度和均勻性。

后處理:完成電鍍后,可能需要進行后處理步驟。后處理可以包括沖洗、中和、干燥和拋光等,以去除殘留的電解液和雜質(zhì),并提升涂層的光亮度和質(zhì)量。 江蘇芯夢期待與您共同解決化學鍍問題!河北第三代半導體化學鍍廠家報價

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ENEPIG(ElectrolessNickelElectrolessPalladiumImmersionGold)是一種常用的表面處理技術(shù),用于印制電路板(PCB)制造過程中。它由三個層次組成:化學鎳(ElectrolessNickel)、化學鈀(ElectrolessPalladium)和浸金(ImmersionGold)。ENEPIG技術(shù)在PCB行業(yè)中得到廣泛應用,因為它具有許多優(yōu)點。以下是ENEPIG設備介紹的一些關(guān)鍵信息:工藝流程:ENEPIG的制程流程與化學沉金(ENIG)類似,但在化學鎳和化學金之間加入了化學鈀槽。這個工藝要求控制好鈀槽和金槽,確保鈀層的沉積速度穩(wěn)定和均勻。優(yōu)點:高可靠性:ENEPIG具有比ENIG更高的可靠性,因為鈀層可以防止鎳和金之間的相互遷移,減少了焊錫性能的變化。防止黑鎳問題:ENEPIG可以有效防止“黑鎳問題”的發(fā)生,即晶粒邊界腐蝕現(xiàn)象。適用于多次無鉛再流焊循環(huán):ENEPIG能夠抵擋多次無鉛再流焊循環(huán),提高了焊接的可靠性。適用于多種封裝元件:ENEPIG適用于各種封裝元件,如SSOP、TSOP、QFP、TQFP、PBGA等。鍍層厚度:ENEPIG的鎳層厚度一般為2.00μm~5.00μm,鈀層厚度為0.10μm~0.20μm,金層厚度為0.03μm~0.05μm。湖南碳化硅化學鍍設備