半自動(dòng)晶圓盒/晶舟盒清洗機(jī)
（Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner）
適用場(chǎng)景：在密閉的空間用DIW對(duì)Foup進(jìn)行清洗和干燥
設(shè)備特點(diǎn)：
1、清洗對(duì)象：12寸FOUP
2、設(shè)備主要構(gòu)成：清洗腔、真空腔、自動(dòng)充N2、上下料口、6軸機(jī)械手等機(jī)構(gòu)組成
3、清洗能力：24只FOUP/小時(shí)（依配置的清洗腔中真空腔數(shù)量而定）
4、干進(jìn)干出；
5、可與AMHS對(duì)接、可人工上料；
6、FOUP本體和Cover自動(dòng)分離和清洗；
7、Chamber具備DIW噴淋、甩干以及真空+IR干燥功能；
8、可預(yù)設(shè)多條Recipe,操作簡(jiǎn)潔；
9、選配SECS/GEM接口；
10、實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能；
11、可實(shí)現(xiàn)工件數(shù)據(jù)追溯，具有過(guò)點(diǎn)信息、狀態(tài)監(jiān)控、故障匯總、訂單下發(fā)等功能12、設(shè)備外形尺寸：L4000mmXW3600mmXH3300mm 芯夢(mèng)設(shè)備配備快速調(diào)整功能，適應(yīng)不同使用場(chǎng)景！甘肅半自動(dòng)FOSB清洗機(jī)怎么收費(fèi)
FOUP清洗機(jī)的工藝流程可以根據(jù)具體的設(shè)備和應(yīng)用需求有所不同，但通常包括以下基本步驟：上料：將待清洗的FOUP放置到清洗機(jī)的加載區(qū)域。如果是全自動(dòng)清洗機(jī)，可以通過(guò)自動(dòng)上料系統(tǒng)將FOUP自動(dòng)送入清洗機(jī)。預(yù)洗：在清洗的開始階段，可能會(huì)進(jìn)行預(yù)洗步驟。預(yù)洗的目的是去除表面的較大顆粒、雜質(zhì)和粉塵等，并準(zhǔn)備好FOUP的進(jìn)一步清洗。主洗：主洗是FOUP清洗的重要步驟。在主洗過(guò)程中，清洗機(jī)會(huì)使用特定的清洗介質(zhì)（如去離子水、溶劑或酸堿溶液等），通過(guò)噴淋、超聲波或噴淋刷洗等方式，徹底去除FOUP表面的污染物。漂洗：主洗后，可能需要進(jìn)行漂洗步驟。漂洗的目的是去除清洗介質(zhì)殘留物，以及進(jìn)一步凈化FOUP。漂洗通常使用純凈水或其他適當(dāng)?shù)娜軇┻M(jìn)行。烘干：在清洗完成后，需要將FOUP表面的水分徹底去除，以確保FOUP的干燥。烘干過(guò)程可以通過(guò)加熱、氣流或真空等方式實(shí)現(xiàn)。卸料：完成清洗和烘干后，清洗機(jī)會(huì)自動(dòng)或手動(dòng)將清洗好的FOUP從清洗區(qū)域移除。對(duì)于全自動(dòng)清洗機(jī)，可以通過(guò)自動(dòng)卸料系統(tǒng)將FOUP取出。青海全自動(dòng)FOSB清洗機(jī)芯夢(mèng)設(shè)備采用高效節(jié)能技術(shù)，助你節(jié)約能源開支！
從FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模發(fā)展現(xiàn)狀來(lái)看，2022年中國(guó)FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模達(dá)億元（人民幣）。針對(duì)全球FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)，貝哲斯咨詢預(yù)測(cè)，2022-2028年FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)規(guī)模將從億元增長(zhǎng)至億元，CAGR大約為%。報(bào)告通過(guò)分析涵蓋市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)因素、障礙因素、機(jī)遇、威脅以及市場(chǎng)各細(xì)分領(lǐng)域發(fā)展情況等各方面市場(chǎng)信息，旨在提供深入的FOUP清洗機(jī)市場(chǎng)評(píng)估與策略建議。就產(chǎn)品類型來(lái)看，F(xiàn)OUP清洗機(jī)行業(yè)可細(xì)分為全自動(dòng)FOUP清潔機(jī),手動(dòng)FOUP清潔機(jī)。其中是收入市場(chǎng)，2022年市場(chǎng)規(guī)模達(dá)億元，市場(chǎng)份額達(dá)%，預(yù)計(jì)到2028年市場(chǎng)份額將會(huì)達(dá)到%。從終端應(yīng)用來(lái)看，F(xiàn)OUP清洗機(jī)可應(yīng)用于IDM廠商,Foundry鑄造廠等領(lǐng)域。目前領(lǐng)域需求量，2022年占據(jù)%的市場(chǎng)份額。預(yù)計(jì)領(lǐng)域在未來(lái)幾年內(nèi)需求會(huì)逐步上升。
晶圓盒清洗機(jī)包括
FoupCleaner；
Xtrim-FC-M300/400高速型；
FouPCleaner；
Xtrim-FC-H300水平機(jī)
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自動(dòng)FOUP/FOSB清洗機(jī)Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction：
產(chǎn)品介紹：
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness；
在清洗機(jī)行業(yè)超25年經(jīng)驗(yàn)；
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou；
在上海，蘇州有完善的服務(wù)和銷售團(tuán)隊(duì)
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners；
自主研發(fā)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、服務(wù)、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗；
SEMI S2認(rèn)證；
芯夢(mèng)設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式，滿足你的個(gè)性化需求！
半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)具有以下特點(diǎn)：人工操作：半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)需要一定程度上的人工操作。例如，上料和卸料通常需要操作員手動(dòng)放置和取出FOUP。這些操作可能涉及到打開和關(guān)閉清洗機(jī)的門、調(diào)整夾持裝置等。相比全自動(dòng)清洗機(jī)，半自動(dòng)清洗機(jī)需要更多的人工參與。靈活性：半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)通常具有較高的靈活性。操作員可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整和設(shè)置，例如清洗程序、清洗介質(zhì)、時(shí)間和溫度等。這使得半自動(dòng)清洗機(jī)適用于處理不同類型的FOUP和不同的清洗需求。監(jiān)控和控制：半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)通常配備了監(jiān)控和控制系統(tǒng)，用于檢測(cè)和調(diào)整清洗過(guò)程中的參數(shù)。這可以確保清洗的準(zhǔn)確性和一致性。較低的成本：相對(duì)于全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)，半自動(dòng)清洗機(jī)通常具有更低的成本。這是因?yàn)榘胱詣?dòng)設(shè)備不需要具備完全自動(dòng)化的功能，如自動(dòng)上料和卸料等。因此，半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)可以是一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的選擇，適用于預(yù)算有限的情況。適用于小規(guī)模需求：由于靈活性和較低的成本，半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)通常適用于處理小規(guī)模的FOUP清洗需求。它們可以在相對(duì)較小的空間內(nèi)進(jìn)行操作，適用于小型實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)環(huán)境或生產(chǎn)線中的小規(guī)模生產(chǎn)。我司設(shè)備采用先進(jìn)技術(shù)，助你輕松提升生產(chǎn)效率！山西半自動(dòng)FOUP清洗機(jī)報(bào)價(jià)行情
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FOUP的干燥步驟旨在將其表面的水分完全去除，以確保FOUP在后續(xù)的半導(dǎo)體制造過(guò)程中不會(huì)引入水分造成污染或其他問(wèn)題。以下是一般的FOUP干燥步驟：靜置排水：在沖洗步驟之后，F(xiàn)OUP可能會(huì)經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的靜置，以讓水自然排出。FOUP通常被放置在傾斜或垂直的位置，以便水能夠從FOUP底部排出。噴氣干燥：為了加速干燥過(guò)程，F(xiàn)OUP清洗機(jī)通常配備了噴氣裝置。噴氣裝置會(huì)通過(guò)向FOUP表面噴射干燥的氣流，將水分蒸發(fā)。氣流可以是壓縮空氣或氮?dú)?。噴氣干燥的時(shí)間和氣流的強(qiáng)度可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整。熱風(fēng)干燥：有些FOUP清洗機(jī)還配備了熱風(fēng)干燥功能。在噴氣干燥之后，F(xiàn)OUP可能會(huì)進(jìn)入一個(gè)熱風(fēng)室，其中通過(guò)加熱空氣或氮?dú)鈦?lái)加速水分的蒸發(fā)。熱風(fēng)干燥可以更徹底地去除FOUP表面的水分。真空干燥：另一種常見(jiàn)的干燥方法是利用真空環(huán)境。FOUP可能會(huì)進(jìn)入一個(gè)真空腔室，其中通過(guò)創(chuàng)建負(fù)壓，使水分在低壓下蒸發(fā)。真空干燥可以提供更快速和徹底的干燥效果。氣流凈化：在干燥過(guò)程中，清洗機(jī)通常會(huì)通過(guò)高效過(guò)濾器和空氣凈化系統(tǒng)提供干凈的氣流環(huán)境。這有助于防止新的顆粒進(jìn)入FOUP，并確保干燥過(guò)程中不會(huì)引入新的污染物。甘肅半自動(dòng)FOSB清洗機(jī)怎么收費(fèi)