產(chǎn)品介紹：
全自動FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金屬離子清洗。
設(shè)備配備多級精密過濾系統(tǒng)，有效保證潔凈等級，滿足制程需求class10/100。
配置多種噴淋清洗工藝，可實(shí)現(xiàn)360°清洗，
保證制程的高精度清洗需求。
配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率，滿足低濕度要求，濕度實(shí)時監(jiān)控。
1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議，SECS/GEM200/300。
2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對接。
3.符合SEMIS2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。
應(yīng)用范圍：該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
選擇江蘇芯夢設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加智能化、自動化！安徽花籃清洗機(jī)廠家報價
晶圓盒清洗的目的是為了確保晶圓在制造和運(yùn)輸過程中不受到污染。晶圓盒是一種用于存儲和運(yùn)輸晶圓的容器，通常由聚合物或金屬制成。在制造和運(yùn)輸過程中，晶圓盒可能會受到粉塵、油脂、化學(xué)物質(zhì)等污染物的影響，這些污染物可能會影響晶圓的質(zhì)量和性能。
通過對晶圓盒進(jìn)行清洗，可以有效地去除盒內(nèi)的污染物，確保晶圓在盒內(nèi)處于干凈的環(huán)境中。這可以減少晶圓生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。此外，清洗晶圓盒還可以延長其使用壽命和維護(hù)成本，減少生產(chǎn)成本。
總之，晶圓盒清洗是半導(dǎo)體制造中非常重要的一個環(huán)節(jié)，它可以確保晶圓在生產(chǎn)和運(yùn)輸過程中不受到污染，從而保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。 浙江全自動片盒清洗機(jī)供應(yīng)商家江蘇芯夢，值得你的信賴！
產(chǎn)品介紹：FOUP清洗機(jī)是一種自動的離心清洗機(jī)，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心＋熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成，高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。
5大系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：
純水加熱PWH、高壓噴淋HPS、熱風(fēng)烘干HAD、快速甩干HSD、CDA/N2吹掃。
25組清洗：
工藝配方ProcessFormula，不同的Cassette靈活設(shè)定。
EN18822-H14：
高等級空氣過濾系統(tǒng);超純水0.1um過濾，CDA0.03um過濾。
4寸~12寸全尺寸兼容，快速實(shí)現(xiàn)干進(jìn)干出，30~60分鐘完成1次清洗工藝節(jié)拍，更大吞吐量。
2倉2基地：
蘇州+上海快速響應(yīng)備件及現(xiàn)場技術(shù)服務(wù)壽命管理lifecycleManagement配備RFID數(shù)據(jù)讀取和上傳功能+SECSGEM200通訊系統(tǒng)，方便客戶的數(shù)據(jù)管理Cassette使用情況 我司設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，性能可靠，是你的生產(chǎn)好幫手！
產(chǎn)品介紹：全自動FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金屬離子清洗。設(shè)備配備多級精密過濾系統(tǒng)，有效保證潔凈等級，滿足制程需求class10/100。配置多種噴淋清洗工藝，可實(shí)現(xiàn)360°清洗，保證制程的高精度清洗需求。配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率，滿足低濕度要求，濕度實(shí)時監(jiān)控。（Option）1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議，SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對接。3.符合SEMIS2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。應(yīng)用范圍：該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。芯夢設(shè)備具有靈活的生產(chǎn)模式，滿足你的個性化需求！甘肅晶圓盒清洗機(jī)按需定制
江蘇芯夢是您身邊專業(yè)的晶圓盒清洗設(shè)備制造商！安徽花籃清洗機(jī)廠家報價
FC-H300清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)《晶圓制造、集成電路、先進(jìn)封裝，整個芯片濕法制程階段均適用)、化合物行業(yè)、片盒制造廠。
FC-H300清洗機(jī)適用于:Shippingboxes,如SEP、Integris、KakizakiDainichiFOSB、FOUP和其他品圓尺寸產(chǎn)品，可定制清洗從50mm到300mm晶圓盒材料
FC-H300清洗機(jī)優(yōu)點(diǎn)：
超聲工藝設(shè)計(jì)，提供品圓盒(FOUP)清潔等級；
清洗操作方便，實(shí)現(xiàn)LOAD-UNLOAD全自動過程控制；
電子級的PP/PVDF/316L等材料緊湊型美觀設(shè)計(jì)低：
COO：
可靠性高：
優(yōu)點(diǎn)使用壽命:
標(biāo)準(zhǔn)10年：
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芯夢圍繞公司價值觀，服務(wù)、創(chuàng)新、奮斗、分享、團(tuán)結(jié)，始終堅(jiān)持為客戶提供技術(shù)創(chuàng)新和質(zhì)量過硬的自主可控的半導(dǎo)體設(shè)備，不斷追求質(zhì)量精益求精和環(huán)境友好，先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證和ISO140001環(huán)境管理體系認(rèn)證。我們的全自動ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動/半自動晶圓盒清洗機(jī)、全自動單片清洗機(jī)等產(chǎn)品均通過了SEMIS2、S8等國際半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證。近年來，芯夢蓬勃發(fā)展，榮獲了國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省潛在獨(dú)角獸企業(yè)、蘇錫常首臺套重大裝備、江蘇省企業(yè)工程技術(shù)研究中心、江蘇省三星級上云企業(yè)等多項(xiàng)榮譽(yù)資質(zhì)。