FOUP（FrontOpeningUnifiedPod）清洗設(shè)備是用于清洗和處理半導(dǎo)體制造中使用的FOUP（前開式統(tǒng)一載具）的設(shè)備。FOUP是一種用于運(yùn)輸和儲(chǔ)存半導(dǎo)體晶圓的載具，通常由塑料材料制成，具有前開式設(shè)計(jì)和統(tǒng)一的尺寸標(biāo)準(zhǔn)。FOUP清洗設(shè)備的作用是將FOUP清洗干凈，去除表面的污染物和顆粒，以確保在半導(dǎo)體制造過程中使用的晶圓始終保持良好的潔凈度。FOUP清洗設(shè)備通常具有以下主要組成部分：清洗艙：清洗艙是FOUP放置和清洗的區(qū)域。它通常包括一個(gè)容納FOUP的托盤或夾具，并配備噴淋裝置、超聲波清洗器、噴氣裝置等清洗裝置。氣流系統(tǒng)：氣流系統(tǒng)用于提供潔凈的氣流環(huán)境，以防止新的顆粒進(jìn)入FOUP。它通常包括高效過濾器和空氣凈化系統(tǒng)，以確保提供高質(zhì)量的潔凈氣氛?？刂葡到y(tǒng)：控制系統(tǒng)用于監(jiān)控和控制清洗設(shè)備的運(yùn)行。它包括傳感器、執(zhí)行器和計(jì)算機(jī)控制單元，用于監(jiān)測和調(diào)節(jié)清洗過程中的溫度、壓力、時(shí)間等參數(shù)。水處理系統(tǒng)：水處理系統(tǒng)用于提供清潔的水源，用于清洗FOUP。它通常包括反滲透系統(tǒng)、離子交換器和過濾器，以去除水中的離子、顆粒和有機(jī)物。江蘇芯夢的設(shè)備結(jié)構(gòu)穩(wěn)固，性能可靠，是你的生產(chǎn)好幫手！安徽全自動(dòng)片盒清洗機(jī)報(bào)價(jià)行情
產(chǎn)品介紹：FOUP清洗機(jī)是一種自動(dòng)的離心清洗機(jī)，適用于所有類型的晶圓料盒（Smif Foup 、Fosb 、Cassette ）,可以實(shí)現(xiàn)良好的清洗和干燥效果。 裝載有待清洗的foup,在Chamber的中心轉(zhuǎn)軸上安裝和固定,在封閉的清洗室內(nèi)360 正 反轉(zhuǎn)動(dòng)。由DI Water的表面張力、機(jī)械力進(jìn)行Particle清洗, 離心＋熱風(fēng)進(jìn)行烘干等工藝組成，高效率、高質(zhì)量完成foup的ParticFOUP清洗機(jī),Casstte清洗機(jī),FOSB清洗機(jī),離心清洗機(jī),晶圓清洗機(jī),清洗干燥,360正反轉(zhuǎn)動(dòng)清洗機(jī),離心熱風(fēng)洪干清洗機(jī)。河北全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)哪家便宜江蘇芯夢設(shè)備操作界面友好，易學(xué)易用，提升生產(chǎn)效率！
FOUP清洗設(shè)備是用于半導(dǎo)體制造中的FOUP（Front Opening Unified Pod）清洗的設(shè)備。FOUP清洗機(jī)是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵設(shè)備，它能夠有效地清洗FOUP，確保晶圓在制造和運(yùn)輸過程中不受到污染。FOUP是用于存儲(chǔ)和運(yùn)輸半導(dǎo)體晶圓的標(biāo)準(zhǔn)化容器。FOSB清洗設(shè)備旨在確保FOUP內(nèi)部的潔凈度，以防止污染影響晶圓生產(chǎn)。該設(shè)備通常包括洗滌、漂洗和干燥功能，能夠有效去除FOUP內(nèi)部的微粒和有機(jī)物。通過使用FOSB清洗設(shè)備，半導(dǎo)體制造廠商可以確保FOUP在使用前達(dá)到所需的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，從而減少晶圓生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險(xiǎn)。
產(chǎn)品介紹：全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)適用于行業(yè)主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金屬離子清洗。設(shè)備配備多級精密過濾系統(tǒng)，有效保證潔凈等級，滿足制程需求class10/100。配置多種噴淋清洗工藝，可實(shí)現(xiàn)360°清洗，保證制程的高精度清洗需求。配備真空干燥系統(tǒng)可提升效率，滿足低濕度要求，濕度實(shí)時(shí)監(jiān)控。（Option）1.支持EAP/MES/AMHS主流通訊協(xié)議，SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV設(shè)備對接。3.符合SEMIS2、S8/CE半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)及認(rèn)證。應(yīng)用范圍：該設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。江蘇省晶圓盒清洗機(jī)哪家靠譜就選江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司！
1、晶圓盒清洗機(jī)主要用于清洗附著在晶圓盒上的雜質(zhì)，如切削油、磨粒、鐵屑、塵埃、指紋等。其功能是提高產(chǎn)品的質(zhì)量，防止這些雜質(zhì)對晶圓盒造成污染，影響產(chǎn)品的性能。具體來說，晶圓盒清洗機(jī)可以去除防銹油脂、量具的清洗、機(jī)械零部件的除油除銹、發(fā)動(dòng)機(jī)及汽車零件及底盤漆前除油、除銹、磷化前的清洗、過濾器活塞配件濾網(wǎng)的疏通清洗等。對于精密機(jī)械部件、壓縮機(jī)零件、照相機(jī)零件、軸承、五金零件、模具等也有很好的清洗效果。在鐵路行業(yè)中，對列車車廂空調(diào)的除油去污、對列車車頭各部件的防銹、除銹、除油也有很好的效果。請注意，盡管晶圓盒清洗機(jī)是一種重要的設(shè)備，但是其使用需要嚴(yán)格的操作規(guī)程和注意事項(xiàng)。如有需要，可以咨詢江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司！選擇我司設(shè)備，讓你的生產(chǎn)更加靈活、多樣化！浙江全自動(dòng)FOUP清洗機(jī)按需定制
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輔助功能和操作控制
觸摸屏安裝在前面一標(biāo)準(zhǔn)化
也可以通過安裝第二個(gè)觸摸屏在背面進(jìn)行控制一選項(xiàng)
其他特征
工藝腔室內(nèi)LED燈光照明
可安裝去靜電裝置和電陽率監(jiān)測裝置選項(xiàng)
穩(wěn)定、亞光不銹鋼籠子
材料的外殼一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
PP材料的工藝腔室一可選擇符合FM4910標(biāo)準(zhǔn)
設(shè)備前面帶有滑動(dòng)門一標(biāo)準(zhǔn)化為手動(dòng)/可選擇自動(dòng)
設(shè)備前面的滑動(dòng)門在做維護(hù)時(shí)可完全打開
其他種類的花籃和片盒相適應(yīng)的組件一選項(xiàng)圖形化的界面
易于操作和控制
10“觸摸屏PLC控制器SECSIIGEM接口
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江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司專注于為襯底、集成電路和先進(jìn)封裝等領(lǐng)域提供先進(jìn)濕法制程裝備及工藝的解決方案。我們的主要產(chǎn)品涵蓋全自動(dòng)晶圓級ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)、全自動(dòng)單片清洗機(jī)、以及單片電鍍機(jī)等。芯夢始終秉持技術(shù)創(chuàng)新的理念，不斷攻克創(chuàng)新產(chǎn)品技術(shù)，踐行在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護(hù)家強(qiáng)國的企業(yè)使命。我們引以為傲的是國內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備，該設(shè)備成功打破了國外的壟斷，目前在國內(nèi)市場占有率超過80%，積累了數(shù)十個(gè)在國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的成功案例。我們還自主研發(fā)了國內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)晶圓盒清洗機(jī)，成功打破了國外的壟斷，并已在國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。